• 제목/요약/키워드: 변태

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스퍼터링법으로 증착된 몰리브네늄 박막 및 텅스텐 박막의 잔류 응력 제어 (Residual stress control in sputter-deposited molybdenum and tungsten thin films)

  • 최두호
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2018년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.49.2-49.2
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    • 2018
  • 스퍼터링에 의해 증착된 박막 내 기계적 응력 발생 현상을 규명하기 위하여 활발한 이론적, 실험적 접근이 있었으나, 복잡한 플라즈마 증착환경 내에서 다양한 증착 파라미터로 인해 정확한 응력 발생 메커니즘에 대해 아직도 완벽한 규명이 되지 않은 상황이다. 본 연구에서는 몰리브데늄 (Mo)과 텅스텐 (W) 박막을 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 증착 시 발생하는 잔류응력 발생 현상에 대해 논의하겠다. Mo 박막의 경우 증착압력을 2.5 mTorr와 4.1 mTorr로 고정시킨 채 기판 바이어스를 0-250 V 간격으로 변화시킨 결과, 2.5 mTorr에서는 기판바이어스가 증가할수록 압축응력이 증가하는 반면 4.1 mTorr에서는 기판바이어스가 증가할수록 인장응력이 증가하는 것이 확인되었다. 이러한 반대 경향의 잔류응력을 발생시키는 기판 바이어스 효과를 확인하기 위하여 증착 파라미터 변경에 따른 박막 성장 거동 모델을 제시한다. W 박막은 준안정상인 ${\beta}$-상이 증착 초기(2.5 nm)에 형성이 되고, 증착 과정에서 열역학적 안정상인 ${\alpha}$-상으로 상변태 하였다. 상변태에 의한 부피 변화에 따른 잔류응력 발생의 분석을 위하여 X-ray 회절피크의 비대칭성을 분석한 결과 압축응력과 인장응력이 공존하고 있는 것으로 확인되었다. 본 연구결과는 스퍼터링 공정 시 높은 에너지를 가지는 중성화된 Ar과 스퍼터된 원자가 기판과 충돌 시 atomic peening effect에 의해 압축응력이 발생한다는 일반적인 이론과 상충되는 결과로서, Mo 및 W 박막 내 잔류응력 제어를 위한 방안을 제시한다.

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플라즈마 질화 기술의 현황 및 주요응용분야 (Technical trend of Plasma Nitriding Process and Its main applications)

  • 박현준;문경일
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2014년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.29-29
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    • 2014
  • 최근 화석에너지 고갈 및 에너지 수요의 폭발적 팽창을 해결하기 위하여 경량화와 내마모 측면에서 고효율 시스템을 적용한 자동차 및 각종 성형 기기들이 개발되고 있다. 특히 장치의 고성능화라는 요구조건을 충족시키기 위해서는 금속가공산업에서 표면개질의 중요성이 부각되고 있다. 이러한 표면개질에는 일반적으로 표면의 성질을 개선하여 마모(abrasion) 및 국부 압력(local stress) 또는 피로(fatigue), 마식(wear and corrosion)에 견디게 하여 부품의 수명증대와 제품의 소형화에 기여하고 있다. 이러한 표면개질법에는 경질의 물질을 표면에 코팅시켜 재료표면의 특성을 향상시키는 방법과 금속의 표면에 다른 원소를 침투 및 확산시키는 방법으로 나눌 수 있다. 확산방법으로 침탄, 질화, 보로나이징, 크마이징 처리 방법 등이 있다. 상업적으로 가장 많이 사용되는 표면 개질법은 침탄기술로서, 고온에서 짧은 시간내에 물성 향상이 가능하지만, 강의 변태점 이상의 온도에서 진행됨으로서, 변형에 따른 문제가 발생되어 후처리를 필요로 하는 문제점을 가지고 있다. 반면, 질화법은 변태점 이하의 저온에서 철강 표면에 N을 침투시켜 강을 경화시키는 특징을 가진다. 변형이 적고 질소원자가 강내에 침투함으로 인해 내마모성, 내피로성, 내식성 등의 물리적 성질을 향상시키는 점에서 유리하여 각종 정밀 부품 및 자동차 부품, 금형 등에 많이 사용된다. 또한, 경도 향상 및 결정구조의 영향으로 코팅처리시 모재와 코팅 층의 밀착력 향상을 가져오면 이러한 이유로 코팅 층의 하지 층으로써 각광 받고 있다. 본 발표에서는 플라즈마 질화의 이해를 높이기 위해 관련 기술에 대한 전반적인 소개와 향후 플라즈마 질화 기술의 적용이 기대되는 침탄대체 적용 가능 부품, 침류질화 기술, PECVD 공정과의 접목 등 산업적은 응용 측면에서 응용 분야에 대한 소개를 진행하고자 한다.

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배추흰나비(Pieris rapae L.)의 esterase에 관한 연구 I. 변태에 따른 esterase의 활성변화 및 zymogram pattern의 변화와 정제 (Studies on Esterase of Pieris rapae L. I. Changes of Esterase Activity and Zymogram Pattern During Development and Purification)

  • 박철호;김학열;여성문
    • 한국동물학회지
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    • 제33권3호
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    • pp.330-336
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    • 1990
  • 배추흰나비의 변태에 따른 esterase의 활성변화 및 zymogram pattern의 변화를 조사하였으며 5령말 유충으로부터 3개의 esterase를 순수 분리하였다. Esterase의 활성은 5령초에서 5령말에 이르는 동안 급격히 증가하여 5령말에서 최대의 활성이 나타났으며 전기영동의 결과 whole body와 중장내 esterase band의 수나 강도는 5령말에서 최대로 나타났다. Gel filtration과 ion-exchange chromatography 및 preparative electorphoresis를 통해 정제된 각 esterase의 최종순도는 약 30-60배였다.

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SA508-cl.3강의 ICCG HAZ의 인성에 미치는 M-A Constituentsm의 영향 (Effects of M-A Constituents on Toughness in the ICCG HAZ of SA508-cl.3 Pressure Vessel Steel)

  • 권기선;김주학;홍준화;이창희
    • Journal of Welding and Joining
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    • 제17권3호
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    • pp.55-65
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    • 1999
  • Metallurgical factors influencing toughness of the Intercritically Reheated Coarse-Grained Heat Affected Zone (ICCG HAZ) of multiple welded SA508-cl.3 Reactor Pressure Vessel Steel were evaluated. The recrystallized austenite formed along the prior austenite grain boundaries and late interfaced on heating to the intercritical range was transformed to bainite and/or martensite during cooling. The newly formed martensite always included some retained austenite(M-A constituents). The characteristics(amount, hardness, density, and size) of M-A constituents were found to be strongly associated with both peak temperature and cooling time(△t8/5(2)) of last pass. Toughness in the ICCG HAZ was deteriorated with increasing amount of M-A constituents which was increased with increasing the last peak temperature within the intercritical temperature range. Meanwhile, for the same intercritical peak temperature, toughness was decreased with increasing cooling time. When cooling time was short, the dominant factor influencing toughness of the ICCG HAZ was amount of M-A constituents. However, when cooling time was lengthened, the hardness difference between M-A constituents and softened matrix(tempered martensite) was found to be the dominant factor.

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무당개구리(Bombina orientalis Boulenger)皮膚 黃色素細胞(Xanthophore)의 分化에 관한 硏究 (The Cutaneous Xanthophore Differentiation in Bombina orientalis)

  • 문명진;김우갑;김창환
    • 한국동물학회지
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    • 제29권4호
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    • pp.261-271
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    • 1986
  • 무당개구리(Bombina orientalis Boulenger)背皮의 청록색 발현에 관여하는 黃色素細胞(xanthophore)의 분화과정을 광학 및 전자 현미경으로 관찰하였다. 성체의 개구리에서 관찰되는 황색소세포는 pterinosome과 carotenoid vesicle등 2가지 색소과립을 함유하고 있으며, 진피의 다른 색소세포들과 複合體를 이루어 기저막을 따라 길게 세포질의 돌기를 뻗고 있었다. 최초의 황생소세포는 幼生期의 섭식시기를 전후하여 진피층에 나타나는 rER이 풍부한 세포와 Golgi complex가 풍부한 세포로부터 發生, 分化하며 변태의 각 단계를 거치면서 점진적으로 색소과립의 형성이 이루어진다. 변태가 완료되는 시기를 전후하여 pterinosnme의 급격한 증가현상이, 그리고 동면기 이후에는 carotenoid vesicle의 증가 현상이 관찰되는데, 이들 색소과립은 분화의 정도에 따라 여러 가지 구조를 나타내었다.

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상변태를 고려한 탄소성 유한요소 해석 (Elasto-Plastic Finite Element Analysis in Consideration of Phase Transformations)

  • 이명규;김성준;정우창
    • 한국소성가공학회:학술대회논문집
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    • 한국소성가공학회 2009년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.334-336
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    • 2009
  • An elastic-plasticity model during the austenitic decomposition was derived and implemented to incorporate the two important deformation behaviors observed during the phase transformations: the volumetric strain and transformation induced plasticity due to the temperature change and phase transformation. To obtain transformed phase volume fractions during cooling, the fourth order Runge-Kutta method was used to solve the Kirkaldy's phase kinetics model which is function of temperature, austenitic grain size and chemical composition. The volumetric strain was calculated by considering the densities of constituent phases, while the transformation induced plasticity was based on the micro-plasticity due to the volume mismatch between soft austenitic phase and other harder phases. The constitutive equations were implemented into the implicit finite element software and a simple boundary value problem was chosen as a model problem to validate the effect of transformation plasticity on the deformation behavior of steel under cooling from high temperature. It was preliminary concluded that the transformation plasticity plays a critical role in relaxing the developed stress during forming and thus reducing the magnitude of springback.

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C-Mn-Si계 변태유기소성강의 성형성에 미치는 베이나이트 변태온도 및 응력상태의 영향 (Effects of Bainitic Transformation Temperature and Stress State on the Formability of C-Mn-Si TRIP Steels)

  • 전현조;오진후;박찬경
    • 한국소성가공학회:학술대회논문집
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    • 한국소성가공학회 2001년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.156-160
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    • 2001
  • The effects of TRansformation Induced Plasticity(TRIP) phenomena on the plastic deformation of 0.2C-1.5Si-1.5Mn multiphase steels have been investigated at various heat treatment and stress conditions. In order to estimate the formability, the hole expansion(HE) tests and the tensile tests were carried out. The formability evaluated from the uni-axial tensile tests was quite different from the formability measured from multi-axial HE-tests. Consequently, the formability in the multi-axial stress state decreased due to the extinction of the retained austenite relatively at earlier deformation stage and the production of irregular α' martensite. However, the defects of TRIP-steels were initiated exactly at the boundary between transformed martensite and ferrite matrix regardless of stress state. In addition, new experimental formula is proposed in order to predict the multi-axial formability of the TRIP steels from the results of uniaxial tensile test.

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플라즈마질화 처리에 따른 STS630합금의 특성 (The Properties of STS 630 Alloy by Plasma nitriding Treatment)

  • 정용호;송호철;정연옥
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2016년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.138-138
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    • 2016
  • 의료용 공구로 사용되는 합금은 마르텐사이트계 스테인리스강의 대표 강종인 420스테인리스강이 사용되며, 이 합금은 고온의 오스테나이트 상태에서 ?칭하면 마르텐사이트 조직으로 변태하여 현저하게 경화하는 특징을 가지고 있으며, 오스테나이트화 후 템퍼링시 우수한 기계적 성질이 얻어진다. 그러나 템퍼링 온도의 영향으로 석출탄화물이 형성되어 기계적 성질이나 내식성이 저하되는 단점이 있다. 본 연구에서는 STS 420스테인리스강의 템퍼링 온도에 의한 내식성 문제점을 개선시키기 위해 STS630 합금을 사용하여 다양한 석출 열처리 조건 및 플라즈마 질화공정을 연구하였다. 구입한 소재의 균일한 성분 조정을 통한 미세 편석 및 물성부여를 위한 균질화 조건 도출 열처리를 실시하였으며, STS630의 고용화열처리는 오스테나이트 균일조직이 되는 온도영역으로 가열하여 급냉하는 것으로 마르텐사이트 변태시키는 열처리를 진행하였으며, 열처리온도는 $1020{\sim}1060^{\circ}C$로 설정하였다. 석출경화 열처리는 $460{\sim}480^{\circ}C$$500{\sim}520^{\circ}C$의 온도에서 실시, 제품에 따른 인성을 부여하였으며, 질화공정은 플라즈마 장비를 이용하여 플라즈마 가열 ${\rightarrow}$플라즈마 이온질화를 통하여 가장 최적의 공정을 도출하였다.- 질화가 마무리 된 시료는 내식성 및 물성 평가를 통해 제품으로서의 특성을 평가하였다. 석출경화 열처리에 의해 STS420합금에 버금가는 인장강도 및 경도값이 나타났으며, 플라즈마 질화에 따라 물성 값의 향상이 나타났다. 용출실험결과 STS420합금의 경우 Fe, Cr원소의 용출이 나타나며 변색이 형성되었으나 STS630합금의 경우 그 현상이 미미하였다.

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생체재료용 Ti-Nb-Ge합금의 초탄성 특성 및 기계적 성질에 미치는 집합조직의 영향

  • 김한솔;김원용
    • 한국재료학회:학술대회논문집
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    • 한국재료학회 2009년도 춘계학술발표대회
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    • pp.48.1-48.1
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    • 2009
  • Ti합금은 생체적합성이 우수하여 생체재료로 널리 사용되어 왔으며, 특히 Nitinol로 알려진 Ti-Ni합금은 형상기억특성 및 초탄성특성을 지녀 치열교정용 와이어나 혈관확장용 스텐트 등으로 사용되어 왔다. 최근 Ni과 같은 세포독성 합금원소의 용출가능성이 문제가 되어 Ni을 함유하지 않는 Ti합금이 주목받고 있다. 본 연구에서는 Ti-Nb-Ge 합금의 집합조직과 초탄성 및 기계적 특성의 관계를 고찰함으로써, 사용목적이나 요구특성에 부합되는 가공열처리방법을 도출하고자 하였다. 비소모전극식 진공아크용해장치를 이용하여 Ti-Nb-Ge 합금 버튼을 만들고, 이를 $1000^{\circ}C$에서 30분간 유지 후 얼음물에 급랭처리하였다. 이후 집합조직 제어를 위해 등속압연 및 이속압연의 두가지 방법으로 냉간압연한 후, $850^{\circ}C$에서 30분~2시간까지 열처리하였다. 광학현미경과 투과전자현미경을 이용하여 미세조직을 관찰하고, X-선 회절분석법을 이용하여 집합조직을 분석하였다. 또한 순환식 인장시험을 통해 시편의 초탄성 특성 및 기계적 성질을 평가하였다. 등속압연재는 {001}<110>에서 {111}<110>에 이르는 $\alpha$-fiber가 발달하는 한편, 이속압연재는 {001} 및 {111}가 발달하는 것으로 나타났다. 또한 압연방향으로 <110>이 평행한 집합조직이 발달할수록 초탄성 특성이 높게 나타났다. 이는 응력유기 마르텐사이트 변태 시 $\beta$의 <110>방향이 $\alpha$" <010>방향으로 변할 때 길이가 증가하므로, 시편에 인장방향으로 <110>이 평행한 집합조직이 발달할수록 응력유기 마르텐사이트 변태가 용이해지기 때문인 것으로 사료된다.

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역변태 Fe-Cr-Mn계 변태유기소성 스테인레스강의 결정립 크기에 따른 상온인장변형 거동 (Grain Size Dependence of Tensile Deformation at Room Temperature of a Reversely Transformed Fe-Cr-Mn Transformation Induced Plasticity aided Stainless Steel)

  • 최점용;박경태
    • 소성∙가공
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    • 제32권2호
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    • pp.53-60
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    • 2023
  • A wide range of grain size was achieved in a Fe-Cr-Mn austenitic stainless steel (STS) by cold rolling and reversion annealing. The tensile characteristics of the STS were analyzed in terms of the dependence of strain induced martensitic (SIM) transformation on the grain size. In the ultrafine grain regime, the steel showed a high yield strength over 1 GPa, a discontinuous yielding, and a prolonged yield point elongation followed by considerable strain hardening. By increasing the grain size, the discontinuous yielding diminished and the yield point elongation decreased. The microstructural examination revealed that these tensile characteristics are closely related to the suppression of SIM transformation with decreasing the grain size. Especially, the prolonged yield point elongation of the ultrafine grained STS was found to be associated with development of unidirectional ε martensite bands. Based on the microstructural examination of the deformed microstructures, the rationalization of the grain size dependence of SIM transformation was suggested.