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Biased Thermal Stress 인가에 의한 TSV 용 Cu 확산방지막 Ti를 통한 Cu drift 측정

  • 서승호;진광선;이한결;이원준
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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    • pp.179-179
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    • 2011
  • 관통전극(TSV, Trough Silicon Via) 기술은 전자부품의 소형화, 고성능화, 생산성 향상을 이룰 수 있는 기술이다. Cu는 현재 배선 기술에 적용되고 있고 전기적 저항이 낮아서 TSV filling 재료로 사용된다. 하지만 확산 방지막에 의해 완벽히 감싸지지 않는다면, Cu+은 빠르게 절연막을 통과하여 Si 웨이퍼로 확산된다. 이런 현상은 절연막의 누설과 소자의 오동작 등의 신뢰성 문제를 일으킬 수 있다. 현재 TSV의 제조와 열 및 기계적 응력에 관한 연구는 활발히 진행되고 있으나 Biased-Thermal Stress(BTS) 조건하의 Cu 확산에 관한 연구는 활발하지 않는 것이 실정이다. 이를 위해 본 연구에서는 TSV용 Cu 확산 방지막 Ti에 대해 Cu+의 drift 억제 특성을 조사하였다. 실험을 위해 Cu/확산 방지막/Thermal oxide/n-type Si의 평판 구조를 제작하였고 확산 방지막의 두께에 따른 영향을 조사하기 위해 Ti의 두께를 10 nm에서 100 nm까지 변화하였으며 기존 Cu 배선 공정에서 사용되는 확산 방지막 Ta와 비교하였다. 그리고 Cu+의 drift 측정을 위해 Biased-Thermal Stress 조건(Thermal stress: $275^{\circ}C$, Bias stress: +2MV/cm)에서 Capacitance 및 Timedependent dielectric breakdown(TDDB)를 측정하였다. 그 결과 Time-To Failure(TTF)를 이용하여 Cu+의 drift를 측정할 수 있었으며, 확산 방지막의 두께가 증가할수록 TTF가 증가하였고 물질에 따라 TTF가 변화하였다. 따라서 평판 구조를 이용한 본 실험의 Cu+의 drift 측정 방법은 향후 TSV 구조에서도 적용 가능한 방법으로 생각된다.

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안전밸브가 장착된 휴대용 부탄캔에 대한 안전성 평가 연구 (Safety Evaluation of Non-refillable Butane Can Equipped with Relief Valve for Prevention of Explosion)

  • 강승규;최경석
    • 에너지공학
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    • 제17권4호
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    • pp.212-217
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    • 2008
  • 본 연구는 이동식 부탄연소기에 사용되는 1회용 부탄캔의 변형 및 폭발을 방지하기 위하여, 캔에 안전밸브를 장착한 폭발방지 부탄캔에 대한 사용 중 안전성을 평가하였다. 실제 사용환경에서 설계압력의 오차 범위 내에서 안전밸브가 작동하는지, 안전밸브의 분출유량은 캔의 변형 및 폭발을 방지하기에 적정하게 설계되었는지, 그리고 안전밸브 작동으로 인하여 가스가 누출되었을 때 주변의 점화원에 의한 화재 및 폭발의 위험성 등을 평가하였다. 본 연구를 통해 개발제품이 외부열원에 의한 부탄캔의 내압상승을 방지하여 캔의 폭발을 방지하는 것으로 평가되었다.

RFID 시스템을 위한 계층적 구조 기반의 리더 충돌 방지 알고리즘 (A Reader Anti-Collision Algorithm based on Hierarchical Structure for RFID Systems)

  • 오정석;황준호;강유철;이정희;유명식
    • 한국통신학회논문지
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    • 제33권10B호
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    • pp.885-893
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    • 2008
  • RFID (Radio Frequency IDentification) 시스템에서는 다수의 리더들이 동시에 동일한 태그의 인식을 시도하는 경우 리더 충돌이 발생하게 된다. 이러한 리더 충돌은 RFID 시스템의 태그 인식 효율성 및 인식 속도를 저하시키는 주요 요인으로 작용하기 때문에 이를 방지할 수 있는 효과적인 리더 충돌 방지 알고리즘이 요구된다. 이에 본 논문에서는 리더 충돌을 방지하기 위해 관리 리더와 보조 리더로 구성된 계층적인 구조를 형성하고, 관리 리더가 보조 리더를 관리하여 리더 충돌을 방지하는 계층적 구조 기반의 리더 충돌 방지 알고리즘을 제안한다. 또한, 제안 알고리즘의 성능 평가를 위해 모의실험을 수행하였고, 리더 충돌 확률 및 태그 인식 시간 등에 대한 성능 분석을 수행하였다.

폴리아미드 6의 열 산화반응에 의한 황변 현상과 산화방지제의 효과 (Discoloration and the Effect of Antioxidants on Thermo-Oxidative Degradation of Polyamide 6)

  • 허민호;김상우;하기룡;;홍기헌
    • 폴리머
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    • 제26권4호
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    • pp.452-461
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    • 2002
  • 본 연구에서는 폴리아미드 6 (PA 6)을 70~$160^{\circ}C$에서 장시간 사용하였을 때 산화방지제의 사용유무 및 농도에 따른 열 안정성을 조사하였다. 70~$160^{\circ}C$의 온도범위내의 열 산화반응 시 모든 시료는 100시간 내에 황변 현상이 일어났다. 기계적 물성, 황변 지수, 점도측정으로 가장 적정한 산화방지제의 농도를 조사하였다. 일, 이차 산화방지제의 조성변화에 의한 산화방지효과는 미미하였다. 황변 현상의 분석은 NMR, IR, 그리고 element analysis (EA)를 사용하였다. $^{13}C$ NMR에 의해 서로 다른 카르보닐기의 존재를 확인하였으며, 산소의 소모량 측정은 EA를 사용하였다. Arrhenius식을 이용하여 산화방지제를 첨가한 시료와 그렇지 않은 시료의 lifetime을 예측하였다.

월파방지벽을 이용한 해안도시 침수저감 효과분석 (Mitigation Efficiency of Parapet Wall against Sea Wave Overtopping at Coastal Basin)

  • 김원범;손광익;정우창
    • 한국수자원학회:학술대회논문집
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    • 한국수자원학회 2019년도 학술발표회
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    • pp.268-268
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    • 2019
  • 이상기후 등 전 지구적 기후 변화로 인하여 해수면 상승과 태풍에 의한 해일고 증가로 인하여 해안지역의 침수 재해 발생빈도가 증가되고 있다. 우리나라도 지난 2002년 발생한 태풍 '루사' 와 2003년 발생한 태풍 '매미' 뿐만 아니라 2016년 태풍 '차바'로 인해 부산 및 울산 등 남부 해안지역 침수되는 등 막대한 재산과 인명피해 발생 빈도가 증가하고 있는 실정이다. 따라서 본 연구에서는 해수면 상승 또는 해일로 인하여 해안도시가 침수되는 현상을 모의하기 위하여 천수방정식을 지배방정식으로 하고 유한체적법과 well-balanced 기법이 적용된 2차원 수치모형을 개발하여 침수 모의 결과에 대한 적절성을 검토하였다. 또한 개발된 모형을 이용하여 해수침수 저감을 위한 월파 방지벽의 설치효과를 수문학적/경제학적으로 분석하여 최적의 대안을 제안하고자 하였다. 모의결과의 검증을 위해서 2003년 발생한 태풍 '매미'로 인하여 침수가 발생한 창원시의 침수흔적과 모의결과를 비교검토하였다. 또한 해수면 상승에 대한 방어적 기법으로 월파방지벽을 선정하고 다양한 월파방지벽의 높이에 따른 시공적 침수규모에 대한 분석과 함께 피해액과 시공비를 고려한 경제성 분석을 통하여 최적의 월파방지벽 규모와 그 효과를 분석하였다. 본 연구결과는 지점별 침수규모 및 최대 침수심 발생시간을 제공함으로써 침수에 따른 중장기적 구조적 대응방안 수립은 물론 초단기적 예상 해수면 상승에 따른 대피경로의 효율적 운용 등 비구조적 수재해 대응 기법을 제시하는 기초자료 제공에 활용할 수 있을 것으로 기대된다.

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3단계 기술개발 로드맵에 따른 광해방지 기술 발전 전략 고찰 (Strategic investigation of development of mine reclamation technology based on third-stage road map)

  • 양인재;지원현;박제현
    • 한국자원공학회지
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    • 제55권6호
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    • pp.538-545
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    • 2018
  • 광해방지사업의 효율적 추진을 위해서 중장기 로드맵에 따른 체계적인 광해방지기술개발이 필요하다. 1, 2단계 로드맵에 따른 광해방지기술개발 주요성과들을 분석해본 결과 기술개발 성과공유 확산의 필요성이 제기되었다. 본 연구에서는 대내외적 기술 수요를 포괄하는 3단계 로드맵의 과제들을 점검해봄으로써, 기술개발 성과공유 확산을 통한 지속가능한 광해방지 기술개발 전략의 발전방안에 대해서 고찰하였다.

소프트웨어 불법복제방지를 위한 보안칩 (The Secure Chip for Software Illegal Copy Protection)

  • 오명신;한승조
    • 정보보호학회논문지
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    • 제12권4호
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    • pp.87-98
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    • 2002
  • 현재는 유형적인 물질의 가치보다 무형적인 정보의 가치가 중요시되고 있는 시대이다. 특히 하드웨어보다는 소프트웨어 제품이 훨씬 급성장하고 있지만 소프트웨어 불법 복제는 정보화시대의 가장 큰 역기능으로 이슈화 되어있다. 그러나 현재 상용화되고 있는 소프트웨어 불법복제방지제품(락)들은 복제방지에 대한 강도가 약하기 때문에 쉽게 락이 크랙되어 복제방지 기능을 할 수 없는 것들이 대부분이다. 논자는 [1,2,3]에서 DES 암호알고리즘을 대체 할 수 있는 112비트 키 길이를 갖는 96비트 블록 Cipher를 제안한 바 있으며, [3.4]에서 칩으로 하였다. 따라서 본 논문은 [1,2,3]에서 제안한 96비트 블록 Cipher와 복제방지에 필요한 보안모듈을 ASIC화하여 소프트웨어 복제방지를 위한 전용 보안칩을 설계 및 구현하며, 보안칩과 연동하여 동작되는 자동블록보호기법을 설계한다.

실시간 파일 복사 유출 방지 시스템에 관한 연구 (A Study on the Real-Time File Copy Leakage Prevention System)

  • 김호윤;김효종;이준연;신승수
    • 한국정보통신학회:학술대회논문집
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    • 한국정보통신학회 2021년도 추계학술대회
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    • pp.217-219
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    • 2021
  • ICT의 발달과 함께 데이터의 양은 증가하고, 저장하고 처리하는 기술은 중요해지고 있다. 본 연구에서는 기업, 공공장소 등에서 중요 데이터 유출 방지를 위하여 실시간 파일 복사 유출 방지 시스템에 관해 연구한다. 연구 방법으로는 데이터 유출 사례와 문제점을 분석한 뒤 데이터 유출 방지를 위해 실시간으로 이벤트를 감지하는 시스템을 제안한다. 파일 유출 방지 시스템은 기존 EDLP 시스템과 비교 분석하며 제안하는 시스템은 부하를 줄이며 이벤트를 탐지한다. 향후 연구로는 네트워크 및 다양한 경로를 통한 유출 방지에 대한 연구가 필요하다.

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고화방지제의 첨가가 참다래 동결건조분말의 물리화학적 특성에 미치는 영향 (Effects of Anticaking Agents on the Physicochemical Properties of Freeze-dried Kiwifruit Powders)

  • 오현정;임자훈;이주연;오영주;임상빈
    • 한국조리학회지
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    • 제20권1호
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    • pp.178-188
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    • 2014
  • 제주에서 육성된 참다래(한라골드)의 식품 소재화를 위한 방안으로 과육에 고화방지제를 첨가한 분말형 시제품을 제조하였다. 즉, 참다래 과육 페이스트 100%(대조구), 참다래 과육 페이스트 95%+polydextrose 5%, 참다래 과육 페이스트 95%+dextrin 5% 등 3개 시료를 제조한 다음, 동결건조 후 분말화한 각 시제품에 대하여 품질특성을 조사하였다. 참다래 분말 수율은 고화방지제 첨가구가 대조구에 비해 유의적으로 높았다. 수분함량, 산도, 총페놀 함량은 고화방지제 첨가구가 대조구에 비해 유의적으로 낮았다. 비타민C 함량은 고화방지제 첨가구가 대조구에 비해 유의적으로 높은 반면, 고화방지제 첨가구 간에는 차이가 없었다. 유리당(fructose, glucose, total sugar) 및 유기산(oxalic acid, lactic acid, total organic acid)의 함량은 고화방지제 첨가구간에 차이가 없었다. 전반적으로 색도는 모든 시험군에서 높은 L값과 낮은 a값을 나타내었으며, 고화방지제 종류에 따른 갈변도의 차이는 나타나지 않았다. 과육 분말의 용해도(59.57~64.84%)및 팽윤력은 시료간에 유의적인 차이가 없었으나, 시간에 따른 흡습성은 고화방지제 첨가구가 대조구에 비하여 유의적으로 낮음을 보였다. 위의 결과로부터 고화방지제 첨가(5% 수준) 과육 분말은 무첨가 과육분말에 비하여 비타민C의 유지율이 높고, 수분함량이 낮고, 시간에 따른 흡습성이 낮아 우수한 분말 품질 특성을 보였다.

해양오염방지관리인 교육의 현황과 전망 I. 선박 오염방지관리인 교육 (The Present State and Future Prospect of the Education for Marine Pollution Prevention Manager in Korea I. Marine Pollution Prevention Manager on Board Ship)

  • 김광수;조동오;윤종휘;조현서
    • 해양환경안전학회:학술대회논문집
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    • 해양환경안전학회 2009년도 춘계학술발표회
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    • pp.105-111
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    • 2009
  • 국내에서는 해양오염을 예방하기 위하여 해양오염방지관리인 제도를 운영하고 있다. 국적 선박의 증가와 해양환경관리법의 시행으로 인하여 선박 오염방지관리인 교육 제도에 변화가 예상된다. 2011년부터는 해양오염방지관리인 교육과정을 해양환경관리공단에서 운영하기 때문에 교육 수요에 영향을 미치는 요인을 분석하여 교육계획을 수립하여야 한다. 선박 해양오염방지관리인의 교육 현황을 알아보고 교육수요에 영향을 미칠 수 있는 주요요인을 분석하였다. 현재 한국해양수산연수원에서 시행하고 있는 선박 해양오염방지관리인 교육과정은 정규과정의 경우 3일간 21시간, 재교육의 경우 2일간 18시간, 유해액체물질 교육의 경우 2일간 17시간 교육하고 있다. 2008년의 연간 교육생 숫자는 정규과정의 경우 516명, 재교육과정의 경우 1085명, 유해액체물질 교육과정의 경우 135명이었다. 선박의 증가율이 선박의 해양오염방지관리인수에 영향을 미치는 주요변수로 나타남에 따라 연도별 예상선박발주량을 근거로 선박의 오염방지관리인수를 전망하였으나, 해운시황 변화, 조선 산업 변동 등의 주요요인에 따라 크게 변할 수 있다.

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