• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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• pp.406-406
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• 2012

반도체 공정의 대부분은 plasma를 사용한 공정이 주를 이루고 있다. 이러한 공정에서 최근 선폭의 초 미세화가 진행되면서 pulse modulation plasma에 대한 관심을 가지게 되고 있다. Pulse modulation plasma는 RF 인가 시 일정 간격으로 on, off 시켜주게 된다. 이 때, chamber 내부에서 발생하는 plasma역시 on, off 되게 되는데 이러한 현상을 이용하면 plasma 내의 전자온도가 떨어져서 식각 공정 시 선택비의 개선을 기대할 수 있다. 실제 장비회사에서는 pulse를 이용하기 위한 장비개선 연구가 한창이다. 본 연구에서는 유도결합플라즈마 chamber에서 source와 bias에 RF pulse modulation plasma를 발생시켜 기존 CW (Continuous wave) 방전시킨 plasma의 밀도와 전자온도를 측정하여 차이를 비교, 분석 해보았다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2011년도 제41회 하계 정기 학술대회 초록집
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• pp.328-328
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• 2011

전기장 E와 자기장 B가 서로 수직으로 인가된 플라즈마에서 전자와 이온의 이동 현상은 이미 널리 알려져 있다. 그런데 최근 플라즈마 응용 산업의 발달에 따라 음이온을 포함한 플라즈마에서 나노미립자의 운동에 대한 해석이 필요하다. 특히 실리콘 박막의 에칭, 스퍼터링, PECVD 등의 공정에 사용되는 실란 플라즈마에서 음이온의 발생에 따른 오염은 주요한 문제가 된다. 따라서 본 연구에서는 이러한 음이온을 제거하기 위해 E${\times}$B 드리프트 운동을 이론적으로 계산 하였다. 결과적으로 음으로 대전된 나노미립자는 E${\times}$B 드리프트 운동의 반대 방향으로 이동 하였고, 드리프트 속도는 자속밀도가 증가함에 따라 함께 증가됨을 보였다. 따라서 서로 수직으로 인가된 전자기장에 의한 E${\times}$B 드리프트 운동을 통해 음이온을 방전 공간에서 제거할 수 있음을 알 수 있었다.

• 대한전자공학회논문지
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• 제6권1호
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• pp.12-18
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• 1969

도피관내 프라즈마상태를 발생시켜 외부자계를 마이크로파 전계에 수평 및 수직되게 가하여 그 때 일어나는 마이크로파 반사전력 및 투과전계를 측정하였다. 마이크로파 전계와 외부자계가 수평인 경우 외부자속밀도가 증가할 수록 감쇠만 일어났으나 서로 수직인 경우에는 3120가우스에서 반사전력이 최대로 되어 공진현상이 일어났다.

• 한국지구과학회:학술대회논문집
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• 한국지구과학회 2010년도 춘계학술발표회 논문집
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• pp.32-33
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• 2010

달의 기조력에 의한 조석현상으로 인하여 지구의 자전속도가 늦어지고, 결과적으로 층상구조를 이루고 있는 지구의 내부는 서로 다른 각속도로 자전한다는 차등자전 개념이 최근에 도입되었다. 지구내부의 각층에서 차등자전이 일어날 경우 각층의 경계면에서는 필연적으로 마찰열과 마찰 정전기가 발생하는 바, 특히 맨틀과 외핵의 경계부분에서 발생하는 마찰전기는 방전과정에서 대규모의 자기장, 즉 지구자기장을 발생시킬 것으로 예측된다. 본 연구에서는 마찰전기를 지속적으로 발생시키는 실험 장치를 개발하고, 고감도 자기센서로 자기장의 변화를 측정하였다. 실험 결과 유의미한 자기장의 변화를 측정하였고, 지구 자기장이 차등자전으로 인한 마찰전기에 의해 발생될 수 있음을 확인하였다.

• 한국지반공학회:학술대회논문집
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• 한국지반공학회 2009년도 세계 도시지반공학 심포지엄
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• pp.1346-1353
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• 2009

In this study, a numerical study was carried out to simulate the expansion of ground borehole by pulse discharge technology using finite element analysis. Considering the mortar in the borehole as an acoustic medium and the surrounding soil as an elasto-plastic material, the strong shock wave developed by the pulse discharge was modeled using the underwater explosion model. The ground expansion was simulated based on a coupled acoustic-structural analysis with varying properties of mortar and soil, and the behavior between acoustic-structural interface.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2006년도 추계학술대회 논문집 전기물성,응용부문
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• pp.165-166
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• 2006

343 kV GIS 다빈도 조작 CB 내부에 접점이 마모되어 많은 파티클이 발생한다. 이러한 파티클이 GIS 네부에 존재할 때 어떠한 영향을 미치는지 이론적으로 근거를 제시하고, 이를 실험적으로 검증을 하였다. 현장에서 수거한 파티클을 설치 운영중인 PDMS 장비와 HAEFELY 장비를 이용하여 실험용 GIS에 삽입후 발생하는 현상들을 동시에 비교 분석하고자 한다.

• 전기의세계
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• 제19권6호
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• pp.18-25
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• 1970

The object of this project is to manifest the mechanism of deterioration phenomena for dielectrics causing corona discharge and applies it for determine the standard corona detection technique. As the results, we observed that corona discharges may occur more strongly around cylindrical shape electrode in air than hemisphere shape electrode in vacuum, so that it depends on effects such as shape of the electrode, moisture, surface coditions, etc. According to observed the deterioration of dielectrics takes place in following stages. At first the attacked surface by an electron avalanche is uniformly eroded; then pits are formed; after that sharp channels are formed which lead to break-down as a treeing. The test are accelerated with higher frequencies by the cylindrical bar shape electrode in the pulse stright detection method more sensitive than Lissajous patterns. Lissajous patterns detection method is simple but usually insensitive and has disadvantage that the magnitude of the individual discharge is not measured.

• 전기의세계
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• 제39권10호
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• pp.28-36
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• 1990

태양광발전 시스템에서 축전지는 일조시간에 태양 전지에 의해 충전된 전력을 일몰 후와 같이 태양전지로 부터의 출력이 없을때나 흐린날, 우천시와 같이 태양 전지의 출력이 부족할 때 방전하여 부하에 전력을 공급하게 된다. 이와같이 축전지는 태양 광발전 시스템이라는 특별한 용도에 사용되기 때문에 일반적인 용도와는 달리 매우 가혹한 사용 조건하에서 가동된다. 즉, 축전지의 충전량은 기후 변화에 의해서 좌우되므로 과충전, 부족충전, 과방전이 진행되면 축전지의 노화 즉, 용량 감소는 급격히 일어나게 된다. 물론 최적의 충전 상태를 유지하기 위해서 충전기를 개량하거나, 부조일을 감안하면 축전지의 용량을 설계하거나, 디젤 보조발전기를 사용하여 일사량이 적은 경우에 충전 전기량을 보충하는 등 여러가지 개선책이 있지만, 불규칙적이며 가혹한 사용조건은 자연 현상에 의한 것이므로 근본적인 해결책은 될 수가 없다.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 1997년도 추계학술대회 논문집
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• pp.480-483
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• 1997

This paper describes dielectric characteristics and discharge development mechanisms of SF$_{6}$ gas stressed by very fast transient overvoltages in inhomogeneous electric field. Predischarge phenomena of SF$_{6}$ gas in non-uniform fields are statistically investigated with positive and negative very fast trannsient overvoltages. It was confirmed that all of the predischarges of the positive and negative polarities develop in a regime of stepwise leader extension. i.e, the predischarge developments leading to breakdown against very fast transient overvoltages are similar to the non-oscillating impulse voltages.ges.

• 전력전자학회:학술대회논문집
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• 전력전자학회 2017년도 전력전자학술대회
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• pp.54-55
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• 2017

배전계통에서 병렬아크는 전선이나 노후된 설비의 절연파괴에 따른 합선에 의하여 발생하고 직렬아크는 차단기, 소켓-플러그, 커플러 등 접속기에서 부하와 전원이 분리되는 경우에 발생한다. 이러한 아크현상에 대응하기 위해서는 아크의 특성을 해석하고 그에 따른 아크소호방법이 제시되어야 한다. 병렬아크는 1889년 발견된 Paschen의 법칙에 따르며, 평행한 금속판 사이에 아크방전이 시작되는 항복전압이 매질가스의 종류 및 압력과 개리거리에 따른 함수로 규정된다. 반면, 직렬아크는 아직까지 명확한 해석방법이 제시되어있지 못하다. 본 논문에서는 직류 차단기에서 발생하는 직렬 차단 아크의 촉발과 지속적인 발생, 소호에 대한 특성을 분석하여 3가지 특성을 기반으로 하는 직렬 차단아크전류 모델을 제안하고 실험을 통하여 검증하였다.