• Journal of the Korean Vacuum Society
• /
• v.20 no.4
• /
• pp.258-265
• /
• 2011

A zero-dimensional global model simulator for atmospheric pressure oxygen plasmas has been developed. The simulation model considers the configurations similar to that of plasma needle device. The simulation results show that those species of O, $O_3$, $O_2*$ and ${O_2}^+$ have the highest density in sequence. Electrons dissipate most of their energy through the collisions with oxygen molecules. If the input power increases, the density of most species also increases as much as three-boy collision for the creation of ozone is weakened and hence the density of ozone decreases. The body to volume ratio also affects the plasma density.

• Journal of the Korean Vacuum Society
• /
• v.18 no.1
• /
• pp.54-59
• /
• 2009

We have measured the spatiotemporal behavior for the density of excited Xe atoms in the $1s_5$ metastable states by laser absorption spectroscopy in accordance with various shapes of ITO electrode. The maximum density of excited Xe atoms in the Is5 state in a discharge cell for fish-boned, T-shaped and squared ITO electrodes has been measured to be $3.01{\times}10^{13}\;cm^{-3}$, $2.66{\times}10^{13}\;cm^{-3}$ and $2.06{\times}10^{13}\;cm^{-3}$, respectively. Throughout this experiment, we could understand the influence of the shapes of ITO electrode of micro discharge cell on the high efficiency of AC-PDPs.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
• /
• 2005.05a
• /
• pp.131-134
• /
• 2005

PDP 방전 셀의 최적화 및 진공자외선 발광효율을 향상시키기 위한 목적으로 AC - PDP 미소방전에서 제논 여기종 원자의 밀도를 측정하는 레이저 흡수법을 개발하였다. 본 연구에서는 PDP 셀의 기체 압력을 350Torr, 제논 함량 10%로 고정하고, 전극 위에서의 여러 위치에서 준안정 준위 제논의 밀도를 흡수법으로 측정하였다. 실험 결과 제논 여기종의 밀도의 최대값은 전극의 위치(가장자리에서 안쪽으로의 거리)가 $50{\mu}m$, $120{\mu},\;150{\mu}m$ 일 때 $3.5{\times}10^{12}cm^{-3}$, $2.8{\times}10^{12}cm^{-3}$, $2.2{\times}10^{12}cm^{-3}$로 나타났다.

• Korean Journal of Optics and Photonics
• /
• v.15 no.4
• /
• pp.337-342
• /
• 2004

Laser optical power stabilization of a radio frequency excited $CO_2$ slab laser using the opto-Hertzian effect generated from the laser itself is achieved on the peak of the Doppler broadened gain curve. The opto-Hertzian signal was generated by a modulation of the optical flux circulating inside the laser cavity from a variation in the cavity length caused by the vibrations of the PZT. The opto-Hertzian signal is directly coupled from a RE discharge chamber via a loop antenna into a detector and applied to a lock-in stabilizer as an reference signal. The power stability of an RF excited slab laser is estimated to be better then 0.2%.

• Korean Journal of Optics and Photonics
• /
• v.15 no.4
• /
• pp.343-348
• /
• 2004

We report the design and basic operating characteristics of an radio frequency excited waveguide $CO_2$ laser. Four picecs of waveguide channels are placed in one laser cavity to increase a power per unit length with the form of a 2 ${\times}$ 2 matrix. Four independent optical outputs are measured from the front of output coupler, and these beams are combined to a Gaussian mode beam far from the output coupler. A 12 W output power has been obtained with $CO_2$ : $N_2$ : He : Xe = 1 : 1 : 3 : 0.2 of the gas mixture and 200 W of radio frequency.

• Proceedings of the KIEE Conference
• /
• 2000.11c
• /
• pp.543-546
• /
• 2000

본 논문에서는, 모의 진공차단기 내에서의 구리 증기입자의 공간적 및 시간적 밀도분포를 레이저유기형광법 (LIF)에 의해 계측하였다. 레이저 트리거 방전에 의해 생성된 어블레이션(ablation) 플라즈마에서의 구리입자를 324.75nm의 Nd:YAG 레이저를 이용하여 여기시키고, 이때 여기준위에서 기저준위로 천이할 때의 형광신호(510.55nm)를 분광기 및 광전자증배관을 이용하여 계측하였다. 음극점으로부터 넓은 각도를 가지고 전자가 튀어나오며, 넓은 범위에 걸쳐 전자나 이온이 존재하는 것을 알 수 있었다. 또한 음극으로부터 8mm ( x=0, y=8mm 진 위치에서 가장 강한 신호와, 2mm ( x=0, y=2mm 가장 약한 신호를 얻을 수 있었다.

• Korean Journal of Optics and Photonics
• /
• v.12 no.2
• /
• pp.115-120
• /
• 2001

In the present study, we described in detail a precise correction method of the copper emission spectra obtained from a highpressure and high-temperature pulsed plasma-jet. The pulsed plasma-jet is initiated from an electro-thermal capillary discharge through a small orifice, and expanded rapidly into an atmosphere. In order to characterize the plasma, fundamental measurements such as the plasma excitation temperature or electron number density are essential. However those spectral lines which are directly related to the excitation temperature or electron number density may be distorted by the spectral response of the optical instruments used. Therefore, in this paper, we discuss some efforts to derive precise correction methods of the copper emission spectra obtained from the pulsed plasma-jet. a-jet.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 1999.07a
• /
• pp.232-232
• /
• 1999

교류형 플라즈마 방전 표시기(AC Plasma Display Panel, AC PDP)에 사용되는 플라즈마는 그 부피가 너무 작아서 플라즈마에 변화를 일으키지 않고 그 물성을 관측하기란 쉬운일이 아니다. 그래서 주로 PDP 내의 물성을 관측하는 데 시뮬레이션에 의존하게 된다. 그 물성중에 PDP내의 전계 분포에 대한 정보는 방전의 형성 및 소멸에 대한 많은 단서를 제공하고 있다. 특히 AC PDP의 경우, 유전체에 형성되는 벽적하(wall charge)가 방전의 형성 및 PDP 구동에 중요한 역할을 하는데, 이는 PDP 내의 전계 분포를 살펴봄으로써 대략 예측할 수 있다. 본 연구에서는 시뮬레이션에 의존하지 않고, 직접 레이저 유도 형광법을 이용하여 AC PDP 내의 전계를 측정하였다. 방전 가스인 헬륨(He)의 에너지 준위는 전계의 크기에 따라 에너지 준위가 변화하여, Rydberg(n$\geq$8) 준위가 여러 개의 준위로 나누어지는 현상이 일어나는데, 이를 Stack 효과라고 한다. 따라서 전계의 세기가 커짐에 따라서 각 준위와 준위 사이 값(splitting)이 커지는데, 이를 이용하면 전계를 측정할 수 있다. 즉, 헬륨 원자를 여기시키는 레이저 파장을 변화시키면서 관측되는 레이저 유도 형광 신호를 관측하면, 준위의 splitting을 관측할 수 있다. 본 연구에서는 PDP 내의 전계의 시간적 변화를 관측하였다. 50%, 40kHz의 구형파를 PDP의 두 전극에 가하였을 때, 플라즈마가 켜진 상태뿐만 아니라 플라즈마가 꺼진 후에도 전계에 의한 Splitting 신호가 관측이 되었는데, 전계로 환산하였을 때, 그 값은 대략 수 kV/cm의 값을 갖았는데, 이는 wall charge에 의한 값으로 사료된다.결과로 생각되어진다.플라즈마의 강도값을 입력하여 플라즈마의 radiation을 검출하고, 스퍼터링 공정중 실질적인 in-situ 정보로 이용하였다. PEM을 통하여 In/Sn의 플라즈마 강도변화를 조사하였다. 초기 In/Sn의 플라즈마 강도(intensity)는 강도를 100하여, 산소를 주입한 결과, plasma intensity가 35 줄어들었고, 이때 우수한 ITO 박막을 얻을 수 있었다. Pulsed DC power를 사용하여 아크 현상을 방지하였다. PET 상에 coating 된 ITO 박막의 표면저항과 광투과도는 4-point prove와 spectrophotometer를 이용하여 분석하였고, AES로 박막의 두께에 따른 성분비를 확인하였다. ITO 박막의 광투과도는 산소의 유량과 sputter 된 In/Sn ion의 plasma emission peak에 따라 72%-92%까지 변화하였으며, 저항은 37$\Omega$/$\square$ 이상을 나타내었다. 박막의 Sn/In atomic ratio는 0.12, O/In의 비율은 In2O3의 화학양론적 비율인 1.5보다 작은 1.3을 나타내었다.로 보인다.하면 수평축과 수직축의 분산 장벽의 비에 따라 cluster의 두께비가 달라지는 성장을 볼 수 있었고, 한 축 방향으로의 팔 넓이는 fcc(100) 표면의 경우 동일한 Ed+Ep값에 대응하는 팔 넓이와 거의 동일한 결과가 나타나는 것을 볼 수 있다. 따라서 이러한 비대칭적인 모양을 가지는 성장의 경우도 cluster 밀도, cluster 모양, cluster의 양 축 방향 길이 비, 양 축 방향의 평균 팔 넓이로부터 각 축 방향의 분산 장벽을 얻어낼 수 있을 것으로 보인다. 기대할 수 있는 여러

• Proceedings of the KIEE Conference
• /
• 1995.07c
• /
• pp.1385-1387
• /
• 1995

The Monte Carlo method for studying the steady-state behavior of electrons under the influence of a electric field is described. In this simulation used a Free Flight Time technique based on determination of the increase in kinetic energy between two collisions. The electron behavior in the cathode region of a corona discharge has been analysed using this method; spatial variations of the energy and excitation, ionization, and the multiplication of electrons were discussed.

• Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
• /
• v.10 no.10
• /
• pp.1810-1814
• /
• 2006

In this paper, the brightmess from inside gas pressure, applied voltages, and operation frequency conditions was measured and the discharge characteristics in FFL(Flat Fluorescent Lamp) also were measured and discussed. The brightness and lifetime after vacuum exhaust ($350^{\circ}C$ and 1 hour) ate remarkably developed. When the gas pressure of lamp-inside is high, the brightness is also increased automatically. But for the stabilization of operation and driving voltage, the highest values of brightness at about 1000[V], 300[Torr] and 64(kHz) are measured and the results are shown as the optimized driving conditions for FFL.