• Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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• v.9 no.1
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• pp.1104-1105
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• 2005

최근 에너지 위기와 함께 대형 엑시머 레이저의 효율을 향상시키고자 하는 연구가 선진 각국에서 진행되고 있다. 본 연구에서는 방전으로 여기 되는 대형 엑시머 레이저를 이론적으로 해석하기 위한 방법을 제시한다.

• The Proceedings of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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• v.1 no.1
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• pp.55-60
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• 1987

본 연구의 목적은 스펙트럼의 재흡수를 이용하여, 수은-아르곤 방전중의 63P 여기원자 농도를 결정하는 데 있다. 먼저, 평면거울을 사용한 경우의 재흡수 이론을 전개한 다음, 이를 수은-아르곤 방전에 적용시켜, 복잡한 미세구조를 갖는 수은의 visible-triplet lines에 있어서의 스펙트럼의 흡수계수와 측정된 흡수율사이의 수치적 관계를 구하였다. 이와함께, 흡수계수와 흡수원자농도사이의 관계를 이용하여, 방전관의 관벽온도를 변화시킨 경우와 방전전류를 변화시킨 경우에 있어서, 측정 흡수율에 상응하는 수은의 63P 여기원자 농도를 구하였고 다음과 같은 결과를 얻었다. ⅰ) 측정범위내에서 준안정원자의 농도는 63P1 상태의 농도보다 높다. ⅱ) 방전전류를 증가시킴에 따라 435.8[nm]의 재흡수가 급격히 증가하고, 그 결과 63P1 여기상태의 농도는 준안정원자에 비해 상대적으로 높은 증가속도를 보인다. ⅲ) 방전전류 증가시 준안정원자와 전자사이의 충돌이 빈번해져서 준안정원자의 증가속도가 둔화하는 대신 축적여기 또는 전리의 확률이 높아진다.

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.1 no.1
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• pp.33-39
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• 1990

By developing a computer simulation code for discharge excited KrF excimer laser, we analyzed mainly the effects of buffer gas for the $KrF^*$ formation. the $KrF^*$ relaxation. and the absorption of the laser radiation. The $KrF^*$ formation efficiency were found to be 7.5%, 19% and the $KrF^*$ relaxation kinetic reactions were found to be 45%, 30% at the charging voltage of 30 KV and He. Ne buffer gas. respectively. But the absorption of the 248 nm laser radiation were less than 10% by the buffer gas.er gas.

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 1990.02a
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• pp.3-8
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• 1990

방전여기 방식의 KrF 엑사이머 레이저의 컴퓨터 시뮬레이션 프로그램을 개발하여 방전중의 KrF 형성, 탈여기 및 흡수채널에서 완충가스의 영향을 이론적으로 해석하였다. 생성효율은 Ne 완충가스에서 He보다 2.2배 정도 높았으며, KrF의 탈여기는 He과 Ne 완충가스에서 각각 50%, 30% 정도의 비율을 차지하였다. 그러나 흡수 과정에서는 완충가스의 영향이 크지 않은 것을 알 수 있었다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.415-415
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• 2010

면방전 구조의 AC-PDP는 페닝 혼합 기체 중에서 Xe 플라스마에서 발생되는 VUV (Vacuum Ultra Violet) 에 의해 들뜬 형광체로부터 가시광이 발생된다. Xe 여기종은 828 nm의 공명준위를 거쳐 147 nm의 진공자외선을 방출하며 823 nm의 준안정준위에서 분자선을 거쳐 173 nm의 진공 자외선을 낸다. 이러한 Xe 여기종의 밀도를 측정하기 위해서는 828 nm와 823 nm의 레이저를 외부에서 인위적으로 조사하여 측정하면 IR (Infrared)의 흡수전과 흡수후의 빛의 세기로 Xe 여기종의 밀도 및 분포를 계산할 수 있다. 본 실험에서는 823 nm에 초점을 두었으며 LAS (Laser Absorption Spectroscopy) 기법을 통하여 He-Ne-Xe(15%, 20 %, 30%) 400Torr의 3종 기체의 Xe 함량에 따른 시공간의 Xe($1s_5$) 여기종 밀도 분포와 방전효율을 관측하였다. 최근 3전극 면방전형 AC-PDP 효율 향상을 위해 3종 기체의 Xe함량비의 방전기체에 대한 연구가 수행되고 있다. 이러한 기초 데이터는 혼합기체 조건에 따른 면방전 구조의 3전극 AC-PDP의 발광 효율을 개선하는 데 유용한 자료로 활용될 것이다.

• Journal of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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• v.20 no.1
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• pp.19-26
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• 2006

The ccrf-discharge has in comparison with the hollow-cathode discharge and DC-discharge some advantages: Simple design of the tube and homogeneous plasma. The ccrf-discharge was researched with the goal, to use on the excitation of the gas laser. In this work a rf-exciting system was planned and developed. With it a homogeneous discharge was produced in the cw operation. To supply the rf-power with the frequency 13.56[MHz] effectively in the discharge, laser tube were used with inner diameter of 5[mm] and the specially developed rf-electrodes. A matching circuit was composed also. Thereby the impedance of the discharge tube was adjusted to the 50[$\Omega$] output resistance of the rf-source.

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 1990.02a
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• pp.9-12
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• 1990

본 연구는 KrF 엑사이머 레이저 증폭을 하기 위하여 먼저 능동매질을 N도 사용하여 발전기와 증폭기의 시간적인 동기회에 주 목적을 두었고 안정한 증폭기의 출력을 얻기 위해 방전관 에너지의 5%를 예비전리로 최적화 시켰으며 방전에 사용되는 Spark Gap Switch의 내부 인덕턴스를 고찰하였다.

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 1988.06a
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• pp.17-25
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• 1988

방전여기 엑사이머 레이저의 방전특성을 해석하기 위하여 레이저 발진 장치를 개발, 실험을 하였다. 실험결과 가스혼합비 Kr/F2/He=4/0.2/05.8%, 총기압 2기압, 가압전압 30kV에서 최대출력 80mj, 가압 전압 20kV에서 최대효율 0.5%를 얻었다. 또한 대출력, 고효율화를 위하여 실험조건과 동일하게 방전특성을 해석한 결과 레이저 방전관 부의 저항값과 인덕턴스가 적을수록 레이저 방전관에 입력하는 에너지가 커지므로 이들의 값을 적게 히여야만 대축력 꾀할 수 있음을 알 수 있었다.

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.16 no.5
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• pp.450-455
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• 2005

We have studied on operational characteristics of the nitrogen laser with sliding discharge and longitudinal excitation. We could observe radiation of nitrogen laser excited by a sliding discharge along the surface of a dielectric. The shape of the beam was a ring type which had 2 mm or 4mm in diameter depending on the sliding discharge tube shape. In this experiment, We show the possibilities to make other shapes of laser beam, for example, rectangle, ellipse, and to excite another gas laser system like an excimer laser.

• The Proceedings of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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• v.14 no.2
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• pp.78-84
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• 2000

마이크로파 방전 무전극 황전등은 마그네트론에서 발생된 마이크로파로 이원자 황을 여기하여 방출되는 빛을 조명에 사용하는 차세대 조명기구이다. 이원자 황에서 방출된 빛은 자외선과 적외선이 매우 적고 가시광선 영역에서 연속적인 분광 분포를 가지며 발광 효율은 100[1m/W] 이상으로 매우 높다 본 논문에서는 전력연구원에서 국내 최초로 개발한 마이크로파 여기형 무전극 방전등을 소개한다. 방전구의 회전, 방전전력과 압력의 조정, 및 Na 등의 첨가를 통해 전등의 상관색온도를 가변(2,500 - 10,000 K 범위)하였다. 아울러 연색성 평가수를 90 이상으로 개선 할 수 있음을 보였다.