• 제목/요약/키워드: 반구형

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신경망을 이용한 박막공정장비의 플라즈마 전위 모델링 (Modeling of Plasma Potential of Thin Film Process Equipment by Using Neural Network)

  • 김수연;김병환
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2007년도 심포지엄 논문집 정보 및 제어부문
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    • pp.175-176
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    • 2007
  • Radial Basis Function Network (RBFN)을 이용하여 플라즈마 전위의 예측 모델을 개발하였다. RBFN의 예측성능은 Genetic Algorithm (GA)를 이용하여 최적화 하였다. 체계적인 모델링을 위해 통계적인 실험계획법이 적용되었으며, 실험은 반구형 유도 결합형 플라즈마 장비를 이용하여 수행이 되었다. $Cl_2$ 플라즈마에서의 데이터 측정에는 Langmuir probe가 이용되었다. 최적화된 GA-RBFN 모델을 일반 RBFN 모델과 비교하였으며, 15%정도 모델의 예측성능을 향상시켰다.

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레이디얼 베이시스 함수망과 유전자 알고리즘을 이용한 플라즈마 전자밀도 모델링 (Modeling of Electron Density Non-Uniformity by Using Radial Basis Function Network and Genetic Algorithm)

  • 김수연;김병환
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2007년도 제38회 하계학술대회
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    • pp.1799-1800
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    • 2007
  • Radial Basis Function Network (RBFN)을 이용하여 플라즈마 전자밀도를 모델링하였다. RBFN의 예측성능은 학습인자의 함수로 최적화하였다. 체계적인 모델링을 위해 통계적인 실험계획법이 적용되었으며, 실험은 반구형 유도 결합형 플라즈마 장비를 이용하여 수행이 되었다. 전자밀도 측정에는 Langmuir probe가 이용되었다. 최적화된 GA-RBFN모델을 일반 RBFN모델과 비교하였으며, 11%정도 모델의 예측성능을 향상시켰다.

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레이디얼 베이시스 함수망을 이용한 플라즈마 전자밀도 균일도 모델링 (Modeling of Electron Density Non-Uniformity by Using Radial Basis Function Network)

  • 김가영;김병환
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2007년도 제38회 하계학술대회
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    • pp.1938-1939
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    • 2007
  • Radial Basis Function Network (RBFN)을 이용하여 플라즈마 전자밀도를 모델링하였다. RBFN의 예측성능은 학습인자의 함수로 최적화하였다. 체계적인 모델링을 위해 통계적인 실험계획법이 적용되었으며, 실험은 반구형 유도결합형 플라즈마 장비를 이용하여 수행이 되었다. 전자밀도측정에는 Langmuir probe가 이용되었다. 최적화된 RBFN모델을 통계적인 회귀 모델과 비교하였으며, 59%정도 모델의 예측성능을 향상시켰다.

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선형하중에 의한 직교이방성 매체의 반구계에서 동적 응답 특성 (Dynamic Responses on Semi-Infinite Space Due to Transient Line Source in Orthotropic Media)

    • 소음진동
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    • 제8권5호
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    • pp.974-980
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    • 1998
  • 본 논문은 직교이방성 탄성계에서 내부 선형하중에 의한 탄성파의 거동을 고찰하였다. 첫째로, 내부 발진원에 대한 탄성과 거동식을 무한계와 반구계에서의 직교이방성 매체에서 유도하였고, 둘째로 Cargniard-DeHoop을 이용하여 순간선형하중에 대한 무한계와 반구계에서의 탄성과 거동식을 유도하였다. 반구계에서 탄성파에 대한 거동식은 무한계에서 유도한 결과와 반구의 표면에서 분산되는 반사파의 합으로 표현되고, 경계영역에서 경계조건을 만족하였다. 여러 가지 이방성 매체에 대한 수치해석 결과를 제시하였고, 이방성 매체의 특성인 bulk wave의 Lacunae 및 표면파의 영향을 고찰할 수 있었다. 본 논문의 결과는 지진연구, 복합소재 특성 연구, 지능형소재 특성연구 등에 응용될 것이다.

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건조 자생식물 종별 꽃다발 이용 가능성 검토 (Study of Dried Korean Native Plants Using for Floral Clusters)

  • 손관화;권혜진
    • 화훼연구
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    • 제16권4호
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    • pp.266-274
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    • 2008
  • 건조 후 장식용 꽃다발을 만들기 적합한 자생식물을 조사하기 위해 충남 성환을 중심으로 지리산, 설악산, 제주도 등 한국의 여러 지역을 탐사하여 70여 종류의 식물을 수집하였다. 수집한 식물을 자연건조한 후, $22{\times}22{\times}37cm$ 포장상자에 맞는 사방형 핸드타이드 반구형 꽃다발로 상품가능성이 있는 식물은 37종류였다. 조사된 37종류의 식물 중 개밀, 새, 산조풀, 오리새, 피, 왕바랭이, 띠, 참억새, 억새, 큰쥐꼬리새, 수크령, 큰조아재비, 갈대, 포아풀, 금강아지풀, 강아지풀, 나래새의 17종이 포함된 화본과 식물이 가장 많았고, 사철쑥, 인진쑥, 산쑥, 사자빌쑥, 물쑥, 감국, 각시취의 7종이 포함된 국화과 식물이 두 번째였으며, 그 외 냉이, 다닥냉이, 말냉이 3종이 포함된 십자화과와 배초향, 향유, 꽃향유의 3종이 포함된 꿀풀과가 세 번째였다. 선정된 37종류의 식물 중 꽃다발 상용가치가 높은 식물은 피, 띠, 큰쥐꼬리새, 큰조아재비, 금강아지풀, 강아지풀, 사철쑥, 산쑥, 감국, 배초향, 향유, 꽃향유, 괭이사초, 순비기나무의 14가지였다. 꽃다발, 리스, 꽃꽂이 세 가지 장식물을 모두 제작할 수 있을 것으로 예상되는 식물을 조사, 수집하여 건조시킨 후 단일 식물 재료로, 꽃다발은 $22{\times}22{\times}37cm$의 포장상자에 들어갈 수 있는 반구형으로 제작하였고, 리스는 리스틀에 식물재료를 바짝 붙이는 기본형으로 $22{\times}22{\times}6cm$의 포장상지에 들어갈 수 있는 크기로, 꽃꽂이는 $22{\times}22{\times}22cm$ 포장상자에 들어 갈 수 있는 반구형으로 제작하였다. 제작된 식물 중 상품가능성이 가장 높은 식물은 갈대, 금강아지풀, 강아지풀, 사철쑥, 산쑥, 감국, 향유, 꽃향유, 들깨풀, 순비기나무 등 10종류였다.

반구형 및 반타원형으로 텍스처링된 평면 베어링의 부하지지능력과 등가마찰계수에 대한 해석 (A Study on the Load Carrying Capacity and Equivalence Friction Coefficient of a Textured Plane Bearing with Semi-spherical Dimples and Semi-ellipsoidal Dimples)

  • 이수영;김필기;석종혁;석종원
    • 한국생산제조학회지
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    • 제21권5호
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    • pp.741-746
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    • 2012
  • The increase of energetic efficiency in plane bearing is getting more important in the transfer mechanism of semi-conductor and display panel manufacturing processes. To accomplish this objective, the technique of surface texturing on bearing surface has recently emerged as one of the most effective candidates. In this study, the effects of various pattern parameters on two bearing performance indices(load carrying capacity and effective friction coefficient) are investigated through a semi-analytic method, i.e., the 2-dimensional Reynolds equation incorporated into the finite difference scheme. Here, cavitation effect is also taken into account by employing an appropriate numerical scheme. In this study, the patterns in the textured surface are composed of a series of semi-spheres or semi-ellipsoids in shape. The effects of their size and number density on the performance indices are examined through the performance of various numerical experiments. Also, the effects of the anisotropy of the semi-ellipsoidal pattern on the bearing's lubrication characteristics are investigated and discussed.

반구형 전두부 실린더에서 발생하는 캐비테이션 유동의 압축성 효과에 대한 수치해석 연구 (NUMERICAL ANALYSIS OF CAVITATION WITH COMPRESSIBILITY EFFECTS AROUND HEMISPHERICAL HEAD-FORM BODY)

  • 박선호;이신형;신병록
    • 한국전산유체공학회지
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    • 제18권4호
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    • pp.9-16
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    • 2013
  • Cavitation on an axi-symmetric hemispherical head-form body was studied using an Reynolds-averaged Navier-Stokes equations solver based on a cell-centered finite volume method. To consider compressibility effects on the vapor phase and cavity interface, a pressure-based compressible flow CFD code was developed. To validate the developed CFD code, cavitating flow around the hemispherical head-form body was simulated using pressure-based incompressible and compressible CFD codes and validated against existing experimental data in the three-way comparison. The cavity shedding behavior, length of re-entrant jet, drag history, and Strouhal number of the hemispherical head-form body were compared between two CFD codes. The results, in this paper, suggested that the computations of cavitating flow with compressibility effects improve the description of cavity dynamics.

반구형 SIL을 이용한 미디어 내부 이층 근접장 광 기록계의 설계 (Design of Cover Layer Incident Dual-Layer Near-Field Recording Optics with Hemispherical SIL)

  • 김완진;최현;송태선;박노철;박영필
    • 정보저장시스템학회:학술대회논문집
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    • 정보저장시스템학회 2005년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.4-11
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    • 2005
  • In this paper, we propose novel optics design for media inside near-field recording (NFR) using hemispherical solid immersion lens (HMS). To obtain strong advantage of data protection and high data capacity simultaneously, HMS based near field optics using aplanatic position of super hemisphere is designed. In this design, to improve small optical tolerance of this aplanatic position, additional aspheric lens surface is added on top of the HMS and it is combined with zoom optics which composed of two single lenses having low numerical aperture (NA). Also, to compensate chromatic aberration which happens seriously in optics using blue laser diode, diffractive optical element is used. Using zoom optics, additional aspheric lens surface, and diffractive optical element together, wavefront aberration and chromatic aberration are effectively reduced in broad range of cover layer thickness and wavelength variation. In addition, In this paper, effect of gap induced aberration is investigated by analyzing different behavior of each TM and TE wave for designed media inside dual-layer NFR optics.

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