• Title/Summary/Keyword: 박막 건조

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Effects of pt catalyst on the sensitivity of ZnO nanowire gas sensor (ZnO 나노선 기반의 가스센서에서 Pt 촉매가 감도에 미치는 영향)

  • Jung, Tae-Hwan;Kwon, Soon-Il;Park, Seung-Beom;Lee, Seok-Jin;Yang, Kea-Joon;Lim, Dong-Gun;Park, Jae-Hwan
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2008.11a
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    • pp.281-281
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    • 2008
  • 최근 높은 비표면적, 우수한 결정성, 나노스케일의 크기 등 다양한 물리 화학적 특성을 지닌 1차원 나노구조체를 이용한 가스센서 연구가 활발히 진행되고 있다. 가스센서는 네트워크 된 나노선들 이용하여 벌크, 박막 보다 극대화된 비표면적으로 가스 감도와 반응 속도를 향상시킬 수 있었다. 촉매 첨가를 위해 Acetylacetone 용액 7 ml에 10 mM이 되도록 Pt 분말을 첨가하여 촉매용액을 제조하였다. 마이크로피펫을 이용하여 미량을 센서의 감응체 부문에 뿌려 대기 중에서 건조한 후 센서의 감도를 측정하였다. 측정은 $250^{\circ}C$에서 일산화탄소 가스 500 ppm의 가스농도로 촉정하였을 때 촉매가 첨가된 센서가 70% 이상의 개선된 감도를 나타내었다. 이는 나노선에 분산된 촉매에 주입되는 가스가 흡착되고 다시 표면의 산소와 반응하여 전기전도도를 변화시키는 것으로 보인다. 첨가된 촉매에 대한 영향을 분석하기 위해 AES, XRD, FT-IR, TEM 등의 분석을 실시하였다.

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형광체기반 Application에서 페를린 증착 유무에 따른 광학적 농도 변화에 대한 연구

  • Kim, Gyo-Tae;Hong, Ju-Yeon;Kim, Jin-Seon;Heo, Ye-Ji;Sin, Jeong-Uk;Heo, Seung-Uk;Park, Ji-Gun;Nam, Sang-Hui
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2014.02a
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    • pp.397.1-397.1
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    • 2014
  • 최근 방사선 진단 영역에 이용되고 있는 증감지는 입사된 방사선의 감도를 증가시키기 위해 형광체를 사용하고 있으며, 외부의 에너지를 흡수하여 빛으로 방출하는 역할을 한다. 이는 방사선 검출기, 디스플레이, 의료기기 등 다양한 분야에 활용되고 있다. 필름에 X선을 노출 할 경우 형광체의 사용 유무에 따라 방사선 흡수 효율에 영향을 미치며, 이는 발광 효율 및 감도에 주요한 인자로 작용한다. 현재 상용화되어 있는 형광체는 낮은 발광 효율로 인한 한계를 가지므로, 발광 효율 향상을 위하여 제작 구조에 대한 연구가 진행되고 있다. 이 중 반사막을 활용하는 연구가 활발히 진행되고 있다. 일반적으로 형광체의 제조를 위하여 보편적으로 이용하고 있는 스크린프린팅 방법에서 건조 공정을 수행 시 균일도가 감소하는 현상이 발생한다. 이러한 현상은 반사막의 증착을 불균일하게 만드는 원인으로 작용하고 빛의 산란을 초래하는 현상을 초래한다. 이에 본 연구에서는 증착 시 투명도 저하에 따라 반사율이 증가되는 반사막 성질을 가지며, 방수성 및 절연성과 같은 보호층 특성을 지닌 유기성 투명 박막 페를린에 대하여 연구하고자 한다. 본 연구에서는 화학적 증기 증착법(Chemical Vapor Deposition, CVD)을 이용하여 투명 필름의 상단에 페를린을 코팅한 시편과 코팅하지 않은 시편으로 구분하여 제작하였고, 상단에 스크핀프린팅 방법을 활용하여 형광체를 도포 하였다. 시편 제작 후 실험은 시편을 필름 상단에 위치시키고, 일반진단에너지 대역(Model-SF 80)의 X선을 조사하였다. 이 후 현상기(model-pro14)를 통해 현상된 필름에 나타난 광학적 농도(Optical Density, O.D)를 농도계(Fluke Biomedical Nuclear Associates Densitometer)로 측정하였는데, 불확실성을 줄이기 위하여 총 5회를 측정하여 그 중 2번째로 높은 값을 도출하였다. 측정 결과, 페를린을 코팅한 형광체에서는 1.71의 O.D 값이 측정되었고, 페를린을 코팅하지 않은 형광체에서는 1.43의 O.D 값이 측정되었다. 이를 이용하여 투명도를 산출한 결과 상대적으로 약 1.76% 차이가 나타났다. 이러한 결과는 페를린 활용 시 환자의 피폭 선량 저감화 및 해상력 개선을 도모할 수 있을 것으로 사료된다.

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레이저 유기 충격파를 이용한 나노 Trench 에서의 나노입자제거

  • Kim, Jin-Su;Lee, Seung-Ho;Park, Jin-Gu
    • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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    • 2009.05a
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    • pp.25.1-25.1
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    • 2009
  • Pattern 웨이퍼 상의 오염입자 제거는 반도체 산업의 주된 과제 중 하나이다. Pattern의 선폭이 좁아짐에 따라 Pattern에 손상을 가하지 않고 오염입자를 제거 하는 것은 더욱 어려워지고 있다. 그뿐만 아니라 기존 습식세정 공정에서의 화학액에 의한 환경오염 및 박막의 손실도 문제가 되기 시작했다. 이러한 문제를 해결하기 위해 기존 세정공정에서 화학액의 농도를 낮추고 Megasonic 등을 이용하여 세정력을 보완하는 방법들이 연구되고 있다. 하지만 습식세정의 경우 강한 화학작용으로 인한 표면 손상 및 물 반점의 문제는 여전히 이슈가 되고 있다. 이러한 단점을 극복하기 위하여 건식 세정법이 제시되고 있으며 이 중 레이저 충격파는 레이저를 집속시켜 발생된 충격파를 이용하여 입자를 제거하기 때문에 국부적인 세정이 가능하며 세정력 조절이 가능하여 손상이 세정을 할 수 있다. 그러나 Pattern의 구조에 의해 전되는 세정력의 차이가 발생하고 Trench 내부의 오염입자제거 문제점이 발생할 수 있다. 시편은 Si STI Pattern을 100 nm PSL Particle (Red Fluorescence, Duke Scientific, USA) 을 50ppm 농도로 희석시킨 IPA에 dipping 하여 오염시킨 후 N2 Gas를 이용하여 건조하여 준비하였다. 그리고 레이저 충격파 세정 시스템은 최대 에너지 1.8 J까지 가능한 레이저를 발생하는 1,064 nm Nd:YAG 레이저를 이용하여 실험하였다. 레이져 충격파 실험은 충격파와 시편사이의 거리, gap distance와 에너지를 변환하여 세정효율을 관찰하였다. 세정효율은 세정 전후의 입자 감소량을 현광현미경 (LV-150, Nikon, Japan)를 이용하여 측정하였다. 그 결과, Trench 내부의 오염입자의 경우 Trench 밖의 오염입자에 비해 세정효율이 떨어지는 것으로 나타났으나 시편과 레이저 초점과의 거리가 가까워짐에 따라 Trench 내부의 오염입자에 대한 세정 효율을 증가시킬 수 있었다.

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Fabrication of Lipid Sensor Utilizing Photosensitive Water Soluble Polymer (감광성 수용성 고분자를 이용한 Lipid 센서의 제조)

  • Park, Lee-Soon;Kim, Gi-Hyeon;Sohn, Byung-Ki
    • Journal of Sensor Science and Technology
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    • v.2 no.1
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    • pp.35-40
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    • 1993
  • A FET(field effect transistor) type lipid sensor was fabricated uy immobilizing lipase enzyme on the gate of pH-ISFET($SiO_{2}/Si_{3}N_{4}$). A water soluble polymer, polyvinyl alcohol(PVA) was modified with 1-methyl-4-(formyl-styryl) pyridinium methosulfate(SbQ) to give a photosensitive membrane(PVA-SbQ) in which lipase was immobilized. The optimum photolithographic conditions were ; spin coating speed $5,000{\sim}6,000$ rpm. UV exposure time $20{\sim}30$ seconds, developing time in water $30{\sim}40$ seconds, and vacuum drying time 45 min. at room temperature with the suspension containing PVA-SbQ aqueous solution(SbQ 1mol%, 10 wt %) $200{\mu}L$, bovine serum albumin (BSA) 7.5 mg, and lipase 10 mg. The lipid sensor showed good linear calibration curve in the range of $10{\sim}100$ mM triacetin as a lipid sample.

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Effects of Metalized Al-2%Zn Layer on the Corrosion Behavior of Al 5083 Alloy (Al 5083 합금의 부식거동에 미치는 Al-2%Zn 용사 코팅층의 영향)

  • 김용철;김영근;이성민;고영태
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 1999.05a
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    • pp.2-2
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    • 1999
  • 금속재료의 표면 특성을 높이기 위해서 여러 표면처리 방법들이 사용되어져 오고 있다. 그 중 용사법에 의한 코팅방법이 최근의 현저한 기술적인 진보와 새로운 용사재료의 개발 등에 의해 여러 분야에 널리 응흉되고 있다. 일반적으로 이 용사법에 의한 코팅층은 다리, 선박 등의 대형 구조물에 대한 내식성 향상뿐만 아니라 자동차 및 항공기 부품, 핵 반응기 등의 코팅부에 널리 이용되고 였다. 특히 해수분위기에서 주로 사용되는 설비의 내식성을 향상시킬 목적으로 사용되 는 알루마늄 및 아연 합금의 용사 코팅층은 대부분의 경우 건조한 분위기보다는 수분이 많은 수용액 환경 하에서 사용되므로, 사용 환경 중에서 용사피막의 내식성을 조사하는 연구가 요구되고 있다. 사용되는 환경하에서의 침지시험에 의한 방법도 중요하지만, 가속화된 전기화학측정에 의한 방법 또한 이용된다. 열용사법에 의한 코팅층의 전기화학적 특성을 알아보기 위해서 3.5 % NaCI 수용액 내에서 AI 5 5083 모재와 Al-2%Zn 합금의 용사 코팅층 각각에 대한, 그리고 AI 5083 모재 위 AI-2%Zn 용사층이 코팅된 경우에 대한 분극거동과 침지시간에 따른 부식전위 및 분극저항성의 특성변화, 표면의 임피던스특성 변화 등을 측정하였다. 이 결과 모재에 대한 코팅층의 희생양극성올 판단할 수 있고, 모재/코팅 사스템의 분극거동은 혼성전위이론(mixed-potential theory)에 의해 결정되었다. 용사 코팅층이 박리되어 모재가 일부 드러난 경우를 모사한 시험편올 제작하고, 시험편 표면의 각 위치에 따라 부식전위 분포를 측정하였다. 그리고 측정 데이터를 기초로 표면의 상태변화를 모사하여 용사코팅에 의한 표면에서의 방식전위분포를 시율레이션하였다. 이와 같은 표면에서의 방식전위분포 해석을 통하여, 코팅층의 희생양극성에 의한 모재의 방식범위를 판단할 수 있다.의 비저 항을 갖는 철 박막에서도 99.9% 순도의 철을 타켓으로 하여 증착된 막은 일반 저탄소 강을 타켓으로 하여 증착된 막보다 훨씬 낮은 부식속도를 보였다.TEX>$He/O_2/Ar/N_2$의 gas를 사용 한 atmospheric pressure plasma cleaning 과 $Ar/O_2$의 gas를 사용한 ICP cleaning에서 이 차전자방출계수(SEEC)가 약 1.5~2.5배 증가된 것을 알 수 있었다. 저지능 등을 평가하여 각 실험결과를 비교분석하여 보았다. 수록 민감하여 304 의 IGSCC 와 매우 유사한 거동을 보인다. 본 강연에서는 304 와 600 의 고온 물에서 일어나는 IGSCC 민감도에 미치는 환경, 예민화처리, 합금원소의 영향을 고찰하고 이에 대한 최근의 연구 동향과 방식 방법을 다룬다.다.의 목적과 지식)보다 미학적 경험에 주는 영향이 큰 것으로 나타났으며, 모든 사람들에게 비슷한 미학적 경험을 발생시키는 것 이 밝혀졌다. 다시 말하면 모든 사람들은 그들의 문화적인 국적과 사회적 인 직업의 차이, 목적의 차이, 또한 환경의 의미의 차이에 상관없이 아름다 운 경관(High-beauty landscape)을 주거지나 나들이 장소로서 선호했으며, 아름답다고 평가했다. 반면에, 사람들이 갖고 있는 문화의 차이, 직업의 차 이, 목적의 차이, 그리고 환경의 의미의 차이에 따라 경관의 미학적 평가가 달라진 것으로 나타났다.corner$적 의도에 의한 경관구성의 일면을 확인할수 있지만 엄밀히 생각하여 보면 이러한 예의 경우도 최락의 총체적인 외형은 마찬가지로 $\ulcorner$순응$\lrcorner$의 범위를 벗어나지 않는다. 그렇기 때문에도 $\ulcorner$순응$\lrcorne

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Design considerations and field applications on inflatable structure system to protect rapidly flooding damages in tunnel (해저터널 급속차폐를 위한 팽창구조체의 설계 및 현장적용에 대한 연구)

  • Kim, Hyeob;Kang, Si-On;Yoo, Kwang-San;Kim, Sang-Hwan
    • Journal of Korean Tunnelling and Underground Space Association
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    • v.19 no.2
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    • pp.161-177
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    • 2017
  • This paper presents the design considerations and field applications on inflatable structure system to protect rapidly flooding damages in large section tunnel. This inflatable structure system is very valuably used to protect passively and rapidly the possibilities of tunnel damages by flooding threats and unusual leakage to be occurred during and after underground infrastructure. In particular, this system should be necessary in subsea tunnel. The predominant factors in the design of inflatable structure system are the leakage and friction characteristics between the inflater and tunnel liner. The analytical and experimental studies are performed to develop the design considerations and to examine the design parameters of the inflatable structure system. The analytical solutions are developed using membrane theory to suggest the design considerations. The relative friction tests of several fabric materials are also carried out to determine the friction characteristics according to the different friction conditions between inflater and tunnel surface. The test results show that the friction coefficients in wet surface condition are about 20% lower than the values in dry surface condition. In addition, virtual design of tunnel protection system for two virtual subsea tunnel sites which is under reviewing in Korea, is carried out based on this research. It is expected that the results of this research will be very useful to understand the inflater structure design and development the technology of tunnel protection structures in the future.

Inhibition of Cancer Cell Migration by Compounds from Garlic Extracts (마늘추출물에 의한 암세포의 이동 저하)

  • Kim, Eun-Kyoung;Yun, Sung-Ji;Ha, Jung-Min;Jin, In-Hye;Kim, Young-Whan;Kim, Sun-Gun;Park, Da-Jung;Choi, Young-Whan;Yun, Sik;Kim, Chi-Dae;Bae, Sun-Sik
    • Journal of Life Science
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    • v.21 no.6
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    • pp.767-774
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    • 2011
  • Cell migration plays a fundamental role in cancer cell invasion and metastasis as well as in many physiological responses. Here, we screened four different sources of garlic - water extract of normal and black garlic, as well as dried normal and black garlic - for the identification of anti-invasive and anti-metastatic activity on cancer cells. Inhibition of cancer cell migration was observed in the hexane extract of dried-garlic. Inhibitory activity was further purified to near homogeneity by thin layer chromatography and named $\b{i}$nhibitor of $\b{c}$ancer $\b{m}$etastasis from garlic #27 (ICMG-27). ICMG-27 completely blocked insulin-like growth factor-1 (IGF-1)-induced OVCAR-3 cell migration at 6 ${\mu}g/ml$. ICMG-27 completely blocked IGF-1-induced OVCAR-3 and NIH-3T3 cell migration whereas IGF-1-induced mouse embryonic fibroblast (MEF) cell migration was not affected byICMG-27. ICMG-27 inhibited all the tested IGF-1-induced cancer cell migration such as OVCAR-3, SKOV-3, and MDA-MB-231 cells. Finally, ICMG-27 could inhibit IGF-1-, lysophosphatidic acid (LPA)-, sphingosine-1-phosphate (S1P)-, leukotriene B4 (LTB4)-, and angiotensin II (AngII)-induced OVCAR-3 cell migration. These results indicate that ICMG-27 inhibits cancer cell migration by blocking essential steps in many agonists-induced cancer cell migrations. Unveiling an anti-invasive mechanism of ICMG-27 on cancer cells will provide a basis for cancer therapy.

Development of Immediate Face Lifting Technology for Reducing Wrinkles by Using Film-Forming Agent (피막 형성제를 이용한 즉각 리프팅 기술 개발)

  • Jun, Ji hyun;Ko, Eun ah;Han, Sang Gun;Kang, Hakhee
    • Journal of the Society of Cosmetic Scientists of Korea
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    • v.44 no.3
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    • pp.211-218
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    • 2018
  • Instant face lifting cosmetics contain various film forming agents for stretching the wrinkles on the skin surface. But, most of the film-forming polymers have sticky feels. And they are easily scrubbed out when skin is rubbed on. In this study, we focused on the influence of sodium silicate that has rapid film forming effect on skin surface and immediate wrinkle reducing effect. Sodium silicate, also known as water glass or soluble glass, is a compound containing sodium oxide and silica. Sodium silicate is a white powder that is readily soluble in water, producing an alkaline solution. Sodium silicate is stable in neutral and alkaline solutions. The sodium silicate solution hardens by drying in air and rapidly forms a thin film. When the solution is applied to the skin, the fine membrane coating is formed by water evaporation and ionic bond re-formation. It also makes the strong siloxane (Si-O) bonding on the skin surface. When these fixation properties are applied to cosmetics, they can give remarkable skin tightening effect. The sodium silicate solution can provide the lifting effect by forming a film on skin at a proper concentration. But, skin irritation may be caused with too high concentration of sodium silicate. We studied a desirable range of the sodium silicate concentration and combination with other fixatives for skin care formulation that has no sticky feels and no scrubbing out phenomenon. Immediate lifting gel was developed by using sodium silicate and various thickening systems. Among of the various thickeners, aluminum magnesium silicate showed the best compatibility with sodium silicate for rapid lifting effect. This instant physical lifting gel was confirmed as a low stimulating formula by skin clinical test.