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이온빔 나노 패터닝을 위한 양극산화 알루미나의 이온빔 투과 (Ion Transmittance of Anodic Alumina for Ion Beam Nano-patterning)

  • 신상원;이종한;이성구;이재용;황정남;최인훈;이관희;정원용;문현찬;김태곤;송종한
    • 한국진공학회지
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    • 제15권1호
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    • pp.97-102
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    • 2006
  • 양극 산화된 알루미나 (anodized aluminum oxide : AAO)는 균일하고 일정한 크기의 나노기공 패턴을 지니고 있다. AAO를 이온빔 나노 patterning을 위한 이온조사 시 마스크로서 이용하기 위해 AAO 나노 기공을 통과하는 이온빔의 투과율(AAO에 입사한 이온에 대한 투과이온의 양의 비)을 측정하였다. Al bulk foil을 양극 산화하여 두께가 $4{\mu}m$이고 종횡비(두께와 기공의 지름의 비)가 각각 200:1, 100:1 인 AAO를 Goniometer에 부착하여 500 keV의 $O^{2+}$ 이온빔에 대해 나노기공을 정렬시킨 후, 기울임 각에 따른 투과율을 측정한 결과, 종횡비가 200:1, 100:1 일 때 투과율은 각각 약 $10^{-8},\;10^{-4}$로 거의 이온빔이 투과하지 못하였다. 반면에 $SiO_2$ 위에 증착된 Al 박막으로 양극산화하여 종횡비가 5:1인 AAO의 이온빔 투과율은 0.67로 투과율이 현저히 향상되었다. 높은 종횡비를 갖는 AAO의 경우에는 범과 AAO 기공의 정렬이 쉽지 않은데다 알루미나의 비전도성으로 인한 charge-up 현상으로 인해 이온빔이 극히 투과하기 어렵기 때문이다. 실제로 80 keV의 Co 음이온을 종횡비 5:1인 AAO에 조사시킨 후에는 AAO 나노기공과 동일한 크기의 나노 구조체가 형성됨을 주사전자현미경(scanning electron microscopy: SEM) 관찰을 통하여 확인하였다.

한국산(韓國産) 주요수피(主要樹皮)의 해부학적(解剖學的) 연구(硏究) - 제2보(第二報) 참나무속(屬) 수피(樹皮)의 해부(解剖) (Anatomical Studies of Major Tree Barks Grown in Korea - II. Anatomy of Quercus Barks)

  • 이화형;이필우
    • Journal of the Korean Wood Science and Technology
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    • 제5권1호
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    • pp.3-8
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    • 1977
  • 수피(樹皮)는 원목체적(原木體積)의 약 10~20%를 차지하고 있으며 일반적(一般的)으로 운반(運搬), 제거(除去), 처리(處理)에 따른 비용에 비(比)해 효용가치(效用價値)는 적다. 뿐만아니라 세계적(世界的)으로 임산자원(林産資源)의 부족(不足)함에 따라 Full tree Utilization의 개념(槪念)이 점고(漸高)되면서 수피(樹皮)의 이용(利用)에 많은 관심(觀心)을 갖게 되었다. 본(本) 연구(硏究)는 국내(國內) 참나무속(屬) 수피(樹皮)의 해부학적(解剖學的) 성질(性質)과 그 구조(構造)를 밝혀 수피(樹皮)의 가능(可能)한 이용책(利用策)을 위(爲)한 기본적(基本的) 성질(性質)을 구명(究明)하고자 하는 바이다. 해부학적(解剖學的) 성질(性質)은 일반적(一般的) 특성(特性)으로서 표피(表皮)의 색(色), 탈락의 형태(形態), 주피(周皮)의 색(色)과 배열형태(配列形態), 수피(樹皮) 두께등(等)을 다루었고 현미경적(顯微鏡的) 특성(特性)으로 사관절(篩管節), 반세포(伴細胞), 사부유세포(篩部柔細胞), 사부섬유(篩部纖維), 방사조직(放射組織), 주피조직(周皮組織), 석세포(石細胞)의 유무(有無), 보강세포(保强細胞)의 유무(有無)와 크기, 결정체등(結晶體等)에 대(對)하여 조사(調査) 연구(硏究)하였다. 본(本) 연구(硏究)에서 얻은 결론(結論)은 다음과 같다. 1. 일반적(一般的)으로 수피(樹皮)의 박락(剝落)은 어렵고 내피(內皮)와 외피(外皮)가 쉽게 분리(分離)되지 않으며 수피내(樹皮內)의 보강세포(保强細胞)는 쉽게 육안(肉眼)으로 관찰(觀察)된다. 2. 참나무속(屬) 주피조직(周皮組織)에서 콜크형성층(形成層)과 콜크피층(皮層)의 구별(區別)이 명확(明確)치 않고 굴참나무는 콜크조직(組織)이 가장 잘 발달(發達)되어 있으며 상수리나무 수피(樹皮)는 박막(薄膜)콜크조직(組織)과 후막(厚膜)콜크조직(組織)으로 구성(構成)되어 있다. 3. 참나무속수피(屬樹皮) 사관절(篩管節), 반세포(伴細胞), 사부섬유(篩部纖維)와 보강세포(保强細胞) 및 결정체등(結晶體等)을 가지고 있으며 특(特)히 보강세포(保强細胞)는 소나무속(屬)이나 사시나무속(屬)고 달리 가장 잘 발달(發達)되어 있어 많이 분포(分布)되어 있고 사부섬유(篩部纖維)보다 더 많은 체적점유율을 보이고 있다. 4. 방사조직(放射組織)은 보통 1~3열(列) 조직(組織)이고 간혹 15~20열(列)의 다층방사조직(多層放射組織)이 나타난다. 5. 유세포(柔細胞) 및 보강세포내(保强細胞內)에 다각형(多角形)의 결정체(結晶體)와 생기(生氣)있는 유세포내(柔細胞內)에 괴상화형결정체(塊狀花形結晶體) 존재(存在)한다.

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