• 제목/요약/키워드: 밀도 부가

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증착율 개선을 위한 고주파 임펄스 플라즈마 전원장치에 대한 연구 (A study on high frequency impulse plasma power supply for improving deposition rate)

  • 반정현;김동성;한희민;서광덕;김준석
    • 전력전자학회:학술대회논문집
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    • 전력전자학회 2011년도 전력전자학술대회
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    • pp.384-385
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    • 2011
  • 산업기술이 고도화됨에 따라 다양한 계열의 박막이 필요하게 되었고 고밀도의 플라즈마를 공급하고 안정된 공정의 진행을 위해 순시적인 플라즈마 제어가 가능한 임펄스 전원장치에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 플라즈마를 이용한 박막증착에서 요구되어지는 고품질의 박막특성을 구현하기 위해 다양한 공정기술이 개발되어 사용되고 있으며, 여기에는 박막을 구현하기 위한 증착 시스템 개발과 공정기술, 그리고 플라즈마를 형성, 유지시키는 고성능의 전원장치가 필요하다. 최근 박막증착 공정이 다양화되고 박막의 고품질화와 고속화 추세에 대응하기 위해서 고밀도의 플라즈마 제어가 가능한 고출력 임펄스 전원 개발이 요구된다. 또한, 에너지 밀도 증가를 위해 고속 임펄스 전원 장치의 필요성이 제기되고 있다. 본 연구에서는 앞서 연구되어진 저압회로를 부가한 임펄스 전원장치[1]를 수정, 보완한 후속연구로써, 증착율 개선을 위한 고주파 임펄스 플라즈마 전원 장치를 제안한다.

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엔드밀 가공의 절삭력 예측 및 실험 (Prediction and Experiments of Cutting Forces in End Milling)

  • 이신영;임용묵
    • 한국공작기계학회논문집
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    • 제13권4호
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    • pp.9-15
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    • 2004
  • A reasonable analysis of cutting force in end milling may give much advantage to improvement of productivity and cutting tool life. In order to analyze cutting force, the cutting dynamics was modelled mathematically by using chip load, cutting geometry, and the relationship between cutting forces and the chip load. The specific cutting constants of the cutting dynamics model were obtained by average cutting forces, tool diameter, cutting speed, feed, axial depth, and radial depth of cut. The model is verified through comparisons of model predicted cutting forces with measured cutting forces obtained from machining experiments. The results showed good agreement and from that we could predict reasonably the cutting forces in end milling.

엔드밀 가공시 절삭조건이 비절삭력계수에 미치는 영향 (Effects of Cutting Conditions on Specific Cutting Force Coefficients in End Milling)

  • 이신영
    • 한국공작기계학회논문집
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    • 제13권6호
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    • pp.1-9
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    • 2004
  • For improvement of productivity and cutting tool lift, cutting force in end milling needs to be predicted accurately. In order to analyze cutting force, the cutting dynamics was modelled mathematically by using chip load, cutting geometry, and the relationship between cutting forces and the chip load. Specific cutting force coefficients of the cutting dynamics model were obtained by average cutting forces, tool diameter, cutting speed, fled, axial depth and radial depth of cut. The effects of the cutting conditions on the specific cutting force constants in milling were studied. The model is verified through comparisons of model predicted cutting forces with measured cutting forces obtained from machining experiments.

포물면 반사판 안테나의 복사 특성 해석 (Analysis of the Radiation Characteristics of the Parabola Reflector Antenna)

  • 조태범;류황
    • 공학논문집
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    • 제3권1호
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    • pp.147-158
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    • 1998
  • 이 논문은 포물면 반사판 안테나의 원거리에서 복사특성을 해석하는 것이다. 전원(source)에서 포물면에 복사된 파의 복사특성을 해석하기 위해서 유일정리와 등가이론을 이용하여 포물면에 반사된 전파의 등가전류밀도 및 등가자류밀도를 구하고 이것을 이용해 벡터포텐셜을 유도하여 원형의 개구면적분법을 사용해 원거리 복사 특성식을 유도한다. 이 계산결과를 가지고 포물면 안테나의 복사특성을 주파수 변화에 따른 편파특성, F/D에 의한 복사특성, 급전부에서 초점의 위치와 복사각도 조정에 따른 복사특성을 해석하였다.

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엔드밀의 형상에 따른 가공정밀도 해석 (Analysis on the Surface Accuracy in according to Geometry of End Mill)

  • 고성림;이상규;김용현
    • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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    • 한국정밀공학회 2000년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.1001-1004
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    • 2000
  • As tools for machining precision components, end mills and ball end mills are widely used. For the end mills have longer cylindrical shape comparing diameter, liable to deflect and induce deterioration of surface roughness. Tool geometry parameters and cutting process have complex relations with each other. So, It is hard to determine hew to select optimal tool geometry. So, to improve the stiffness, relationship between cutting process and tool geometry must be studied. In this study, relations between grinding wheel geometry, setting condition and tool geometry are revealed. For the purpose of studying relations between each parameter, the equivalent diameter of tool has been calculated assuming tool as a simple beam. By the various cutting simulations and experiments, tool geometry and cutting process has been studied.

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KSTAR NBI 이온원의 수소 및 헬륨 개스에서의 방전특성

  • 김계령;박선기;오병훈;최병호
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 1999년도 제17회 학술발표회 논문개요집
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    • pp.224-224
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    • 1999
  • KSTAR 토카막의 플라즈마 가열을 위한 NBI 장치의 대전류 이온원 방전 특성을 수소와 헬륨 개스를 사용하여 조사하였다. NBI 이온원은 빔 방향과 반대로 가속되는 전자들을 저지하는 전자덤프(electron dump), 병렬로 연결된 32개의 텅스텐 필라멘트(직경 1.5nn0, 영구자석(Nd-Fe)에 의해 만들어지는 강한 cusp 자장으로 둘러싸인 플라즈마 방전실 및 120kV의 에너지를 인가하는 가속부로 이루어지는데, 최대 빔 전류 65A에서 300초의 장시간 운전을 목표로 하고 있다. 수소와 헬륨 개스 분위기에서 안정된 플라즈마를 얻을 수 있는 필라멘트 전류의 파형을 각각 구하고, 기체압력(0.01~0.4 mbar) 및 아크 전류(100~1200A에)에 따른 플라즈마 파라메타 값들을 직경 1mm의 Langmuir probe를 이용하여 측정하였다. 또한 이온원 운전에 중요한 파라메타인 방전실 내의 플라즈마 밀도 분포와 장시간 운전 가능성에 대한 조사도 수행하였다.

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공동주택에 있어서 중앙식과 개별식 가스난방의 경제적 특성에 관한 연구

  • 홍도유
    • 월간 기계설비
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    • 통권43호
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    • pp.76-82
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    • 1994
  • 본 논문에서는 도시공해 방지를 위해 도시가스를 사용하는 경우 거주자의 생활 수준이나 단지의 밀도 및 난방부하 설정 등에 다소 차이는 있으나 소규모 고층아파트(공동주택)의 난방방식중 중앙난방 방식과 개별난방 방식의 초기 시설비, 연료비, 시설 관리비의 경제성을 검토하고 난방 시스템의 지침을 제시하였다. 전체 공사비(초기투자비)는 개별난방 방식이 중앙난방 방식 보다 약2$\%$정도 절감 되었다. 난방비와 시설관리에 따른 인건비 면에서도 난방의 경우 개별난방 방식이 중앙 난방방식에 비하여 난방과 하절기 운수만을 별도로 사용하는 경우 개별난방방식이 중앙난방방식보다 난방비가 9$\%$정도 더 들었으며, 시설관리 인건비 면에서는 중앙 난방 방식보다 개별난방 방식이 66.7$\%$ 적게 들었다. 전체적으로 중앙난방 방식보다 개별난방 방식이 초기투자비 및 유지관리 면에서 경제성이 우수함이 확인되었다. 본지에서는 삼익건설 기획관리부 홍도유 과장이 $\ulcorner$공동주택에 있어서 중앙식과 개별식 가스난방의 경제적 특성에 관한 연구$\lrcorner$ 자료를 지난 1월호엔 지면관계로 게재하지 못했음을 알려 드린다.

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공동주택에 있어서 중앙식과 개별식 가스난방의 경제적 특성

  • 홍도유
    • 월간 기계설비
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    • 통권44호
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    • pp.90-101
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    • 1994
  • 본 논문에서는 도시공해 방지를 위해 도시가스를 사용하는 경우 거주자의 생활 수준이나 단지의 밀도 및 난방부하 설정 등에 다소 차이는 있으나 소규모 고층아파트(공동주택)의 난방방식중 중앙난방 방식과 개별난방 방식의 초기 시설비, 연료비, 시설 관리비의 경제성을 검토하고 난방 시스템의 지침을 제시하였다. 전체 공사비(초기투자비)는 개별난방 방식이 중앙난방 방식 보다 약2$\%$정도 절감 되었다. 난방비와 시설관리에 따른 인건비 면에서도 난방의 경우 개별난방 방식이 중앙 난방방식에 비하여 난방과 하절기 운수만을 별도로 사용하는 경우 개별난방방식이 중앙난방방식보다 난방비가 9$\%$정도 더 들었으며, 시설관리 인건비 면에서는 중앙 난방 방식보다 개별난방 방식이 66.7$\%$ 적게 들었다. 전체적으로 중앙난방 방식보다 개별난방 방식이 초기투자비 및 유지관리 면에서 경제성이 우수함이 확인되었다. 본지에서는 삼익건설 기획관리부 홍도유 과장이 $\ulcorner$공동주택에 있어서 중앙식과 개별식 가스난방의 경제적 특성에 관한 연구$\lrcorner$ 자료를 이번 3월호를 끝으로 게재한다.

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제작성을 고려한 철심형 선형 전동기의 디텐트력 저감 (Reduction of Detent Force in Permanent Magnet Linear Synchronous Motor under the consideration of Manufacturing Feasibility)

  • 최호용;정현교
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2002년도 추계학술대회 논문집 전기기기 및 에너지변환시스템부문
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    • pp.30-32
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    • 2002
  • 선형동기전동기는 고추력, 고정밀 운전을 요하는 시스템에 많이 사용되고 있는데, 추력 증가에 따른 추력 리플의 증가는 고정밀 위치제어에 어려움을 주기도 한다. 철심형 선형동기전동기에서는 자석 배열과 철심 치형상의 상호 관계에 의해 발생하는 디텐트력의 영향이 매우 크므로 이를 저감하기 위한 철심 구조의 설계가 필요하다. 본 논문에서는 실제 제작성을 고려하여 치와 철심부의 챔퍼링, 길이 변경, 자석 배열의 스큐 적용 등을 통해 선형동기전동기의 디텐트력을 저감하기위한 설계법을 제시하고 그 효과를 시험기의 제작 및 실험을 통해 증명하였다.

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고출력 레이저 용접 시스템 제어기술 (The Technology of Laser Welding System Controller)

  • 김도열;최흥근;유석준;이승태
    • Journal of Welding and Joining
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    • 제14권3호
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    • pp.20-28
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    • 1996
  • 고밀도 에너지를 열원으로 이용하는 고출력 레이저로는 CO$_{2}$레이저와 Nd;YAG 레이저가 있다. 레이저는 열가공임에도 불구하고 빔의 스폿경을 작게하여 높은 에너지 밀도($10^{6}$ W/cm$_{2}$ 이상)을 얻을 수 있으므로 열영향이 작고 작은 변형범위내에서 용접을 할 수 있고 입력 에너지의 제어성이 좋아서 미세한 용접이 가능하게 하고, 빔폭 대비 용입깊이가 커서 깊은 용접 비드가 형성되며, 자동화가 용이하다는 장점이 있다. 특히 Nd;YAG 레이저의 경우는 광 섬유를 이용하므로서 에너 지의 시간 분할 및 에너지 분할을 할 수 있는 등 분기 및 배치가 용이하며 펄스의 활 용을 극대화 할 수 있는 장점이 있다. 그러나, 결점으로도 맞대기 용접의 경우 갭의 여유가 판두께, 초점위치, 빔모드에 따라 변화하는데 이는 빔 스폿이 작음에 따른 장점이 단점으로 작용하는 경우이다. 레이저 용접부의 비드 폭이 좁기 때문에 인장 강도가 모재의 인장강도보다 밑도는 것도 겹쳐서 용접된 이음 부분의 인장강도에 있 어서 단점이 되고 있다.

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