Performance Analysis of a Linear Micro-actuator Operated by Radiometric Phenomena in Rarefied Gas Flow Field (희박기체 상태의 라디오미터릭 효과에 의해 구동되는 선형 마이크로 액추에이터의 성능해석)
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- Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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- v.26 no.10
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- pp.1394-1405
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- 2002