• Journal of the KSME
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• v.32 no.7
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• pp.588-603
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• 1992

기계장치와 전자장치를 동시에 제작한 미소기계 . 전자 집적장치는 제품의 다기능화, 고성능화 및 소형화를 이룸과 동시에 생산가격의 저렴화를 통해 기술 및 산업 경쟁시장에서 제품의 경쟁력을 향상시킬 수 있다. 이러한 집적장치는 이미 의료기, 자동차, 우주 . 항공 및 군수산업에 실제 이 용되고 있으며, 광통신, 전자 . 전자 장비의 제작과 조립에는 물론 일반 제어계측기와 가전제품 등의로의 응용이 확산되고 있다. 또한 집적장치의 개발은 미소 기계 제작을 위한 신기술 및 신 소재 개발과 관련기술의 집약을 통해 광범위한 관련산업의 기술혁신을 이룰 수 있는 잠재력을 지니고 있다.

• Composites Research
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• v.21 no.4
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• pp.15-21
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• 2008

Interfacial shear strength between epoxy and carbon fiber was analyzed utilizing a hemi-spherical microbond specimens adhered onto single carbon fiber. The hemi-spherical microbond specimen showed high regression coefficient and small standard deviation in the measurement of interfacial strength as compared with a droplet and an inverse hemi-spherical one. This seemed to be caused by the reduced meniscus effects and the reduced stress concentration In the region contacting with a pin-hole loading device. Finite element analysis showed that the stress distributions along the fiber/matrix interface in the hemi-spherical specimen had a stable shear stress distribution along the interface without any stress mode change. The experimental data was also different according to the kinds of loading device such as the microvise-tip and the pin-holed plate.

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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• v.34 no.1
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• pp.73-76
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• 2010

The issue of inspection and characterization of microstructures has emerged as a major consideration in design, fabrication, and detection of MEMS devices. However, the conventional measurement techniques, including scanning electron microscopy (SEM) imaging, atomic force microscopy (AFM) scanning, and mechanical surface profiler, require often destructive process or may be difficult to measure with a wafer scale. In this paper, we characterize the surface profiles of microstructures using an optical scanner based on a DVD pick-up module. Scanning images of the microstructures are successfully generated using the intensity of reflected light from different depths of the surface profiles, based on the focus error signal (FES) from photodiodes. It is shown that the proposed optical scanner can be used as an alternative measurement system with high performance and low cost, compared to conventional measurement techniques.

• 전기의세계
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• v.42 no.11
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• pp.14-18
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• 1993

마이크로 모터는 미소기계장치에서 중요한 actuator가 될 수 있음은 물론 자체로도 여러가지 응용을 생각할 수 있다. 여컨대 밀폐시킨 캡슐내에 마이크로모터를 제작하고 그 회전수를 조절함으로써 통로를 지나는 기체나 액체증의 유량을 조절하는 미세유량조절기를 제작할 수 있을 것이다.

• Journal of the KSME
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• v.29 no.3
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• pp.317-325
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• 1989

광학시 비접촉 미소 변위 계측 장치의 응용예는 앞서 소개한 응용 외에도 여러 분야에서 많이 활용되고 있다. 즉, 주행 중인 차량 바퀴의 얼라이먼트(alignment) 계측에 이용되기도 하며, 파괴 역학 분야에서 크랙 개구단부(COD)의 변위량 측정에도 이용되며, 충격 역학 분야에서는 변위의 출력 응답 특성이 경시적으로 대단히 복잡하게 변하는 동적 파괴 현상의 원인 규명의 목적으 로도 많이 활용되고 있다. 더욱이 눈부신 발전을 거듭하고 있는 재료 요소 기술 및 센서 기술의 도움으로 앞으로는 이러한 비접촉식 미소 변위 측정 시스템이 보다 더욱 다양하게 사용되어질 것으로 기대되며, 또한 점차 성능 및 가격적 측면에서도 고성능의 계측 시스템을 손쉽게 큰 부 담이 없이 구입 가능할 수 있으리라 믿는다. 그러나 한편으로는 고정도의 물리량의 계측은 꼭 최신의 고가의 장비로만 되는 것이 아니라는 점과, 이러한 계측 시스템의 활용 시에는 기본 검출 원리 및 특성의 이해와 더불어 각 시험 경우에 따른 측정치에 대한 검증 작업을 게을리 하지 말아야 된다는 점도 아울러 당부하고자 한다.

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers
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• v.9 no.3
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• pp.373-378
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• 1985

본 연구에서는 He-Ne레이저를 광원으로 하는 시준기 교정용 레이저 각도 간섭 계를 설계 제작하였으며 이 장치의 계통적 오차(systematic error)를 분석하였다. 또 간섭계의 반사경으로 사용된 두 코너큐브(corner cube) 중심 사이의 간격측정을 위 한 새로운 방법을 연구하였으며 이 측정의 정확도를 실험적으로 검사하였다.

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers
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• v.11 no.5
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• pp.828-836
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• 1987

The inclusion of thermophoresis in particle deposition studies has often been treated separately from deposition due to flow characteristics. Also previously reported experimental results on thermophoresis have been studied in the regions of relatively small temperature gradients. In this study, using real-time laser light reflectivity method, we measured the angular dependence of the deposition rates of particles of the cylindrical collector surface, which immerged in laminar flow of a hot gas suspension of small particles. And we extended the previous narrowband results of thermophoretic deposition rates to the regions of large temperature gradients between the hot gas stream and the collector surface. Based on the obtained data, the cylinder's forward stagnation-point region is considerably enriched in particle 'phase' density owing to the compressibility effect, which leads to locally enhanced deposition while the downstream region from the stagnation point inertial force acts in the opposite direction, which tends to centrifuge particles away from the wall, thus the local deposition rates by thermophoresis are reduced.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2003.06a
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• pp.1211-1214
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• 2003

The film is prepared by electron cyclotron resonance chemical vapor deposition (ECRCVD) employing CH$_4$ and H$_2$ gases. It is deposited by the control of microwave plasma power, gas flow ratio, deposition pressure, and In-situ thermal treatment temperature. The structure of a-C:H (hydrogenated amorphous carbon) thin film is analysed by FT-IR spectroscopy. The fraction sp$^3$ versus sp$^2$ bonding is very important to clear up the surface and interrace of a-C:H film properties such as nano-scale friction behavior. The sp$^3$ versus sp$^2$ bonding of a-C:H thin film is dependent on the deposition conditions, therefore. nano-scale friction behavior is dependent on the deposition conditions.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2012.05a
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• pp.187-188
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• 2012

본 연구에서는 자동차 연료분사 장치의 내마모성 및 내구성 개선을 목적으로 이온빔 증착법을 이용하여 DLC 코팅을 증착하고 특성을 평가하였다. 특히 $CH_4/C_2H_2$ 분압비에 따라 DLC 박막의 표면조도, 밀착력, 경도등에 미치는 영향을 조사하였으며 DLC 박막의 구조 변화를 관찰하였다. 제조된 박막의 표면조도는 AFM (Atomic Force Microscopy)을 이용하였으며 박막의 밀착력은 스크래치 시험기를 이용하였고 미소 경도는 나노 인덴테이션을 이용하였으며 구조분석은 Raman spectroscopy를 이용하였다. 표면조도 결과 $C_2H_2$ 주입량을 증가함에 따라 표면조도와 경도값은 급격하게 증가하였고 $C_2H_2$만 주입했을 경우 Ra값이 90 nm, 미소 경도값은 2291 Hv로 최대값을 나타내었다.

• Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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• v.30 no.7
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• pp.90-97
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• 2002

Wall slip models are essential to the study of nonequilibrium gas transport in rarefied and microscale condition that can be found in gas flows associated with aerospace vehicle, propulsion system, and MEMS. The Maxwell slip model has been used for this type of problem, but it has difficulty in defining the so-called accommodation coefficient and has not been very effective in numerical implementation. In the present study, on the basis of Langmuir's theory of the adsorption of gases on metals, a physical slip model is developed. The concept of the accommodation coefficient and the difference of gas particles are clearly explained in the new model. It turned out that the Langmuir model recovers the Maxwell model in the first-order approximation. The new models are also applied to various situations including internal flow in a microchannel. Issues of validation of models are treated by comparing analytic results with experiment.