• 제목/요약/키워드: 미세 채널

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RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO 박막의 투명박막트랜지스터 특성 연구

  • 김종욱;황창수;김홍배
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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    • pp.191-191
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    • 2010
  • 차세대 디스플레이를 위한 소자로 활용 가능한 Oxide Semiconductor TFT를 bottom gate 타입의 TFT 소자를 제작하였다. 투명 박막 트랜지스터 제작과 관련해서 ITO가 증착된 glass 기판을 gate 전극으로 사용하였고, 게이트 dielectric으로 $SiO_2/Si_3N_4$를 PECVD 방법을 사용해 증착하였으며, 채널 영역으로 ZnO를 RF magnetron sputtering을 이용하여 RF power 및 공정 압력에 따른 구조적, 광학적, 전기적 특성을 조사하였다. ZnO 박막의 공정 변수로 RF파워는 25W, 50W, 75W, 100W로 변화시키고, 증착 압력은 20m, 100m, 200m 300mTorr로 변화시켰다. Source/Drain 사이에 채널 형성 및 게이트 dielectric에서 누설전류가 TFT 특성에 미치는 영향을 연구하였다. ZnO 박막은 증착 파워 및 공정 압력에 따라 박막의 결정성이 현저하게 변화하는 것을 알 수 있었으며, 그러한 박막의 미세구조 가 TFT의 전기적인 특성에 크게 영향을 미치는 것으로 판단된다

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마이크로 채널내부 미세 협착 부위의 유동특성에 대한 실험적 연구 (Experimental Study on Flow Characteristics in a Micro-stenosis Inside a Microchannel)

  • 지호성;이상준
    • 대한기계학회논문집B
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    • 제30권3호
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    • pp.255-261
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    • 2006
  • Flow characteristics of DI water in a microchannel with a stenosis were investigated using .a micro PIV system with varying flow rate. The width and depth of the PDMS micro-channel were $100{\mu}m\;and\;50{\mu}m$, respectively. To Investigate flow characteristics in the micro-stenosis, the same experiment was carried out in a straight microchannel under the same flow rate. The measured mean velocity fields were almost symmetric with respect to the channel centerline. The experimental results are well agreed with the theoretical Hagen-Poiseuille profile. In the contraction part of the micro-stenosis, the oncoming flow is accelerated rapidly and the maximum velocity occurs at the throat, almost 4.99 time faster than that without the stenosis.

미세유체 제어방법을 사용한 가변 커패시터 (Characterization of Microfluidically Variable Capacitors)

  • 구치완
    • 전기전자학회논문지
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    • 제23권3호
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    • pp.839-843
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    • 2019
  • 본 연구에서는 유체를 유전체 재료로 사용하는 가변 커패시터를 시연하고, 자기 공명 현미경(MRM)의 코일에 적용 가능성을 알아보려고 하였다. 전극으로 이루어진 커패시터 구조는 마이크로 유체 채널과 통합하여 제작되었고, 커패시턴스는 채널 내의 유체 충전율을 변화시키면서 측정되었다. DI water와 미네랄 오일을 사용하여 측정된 커패시턴스는 1.7 pF에서 12 pF, 그리고 1.7 pF에서 2 pF으로 변하였고, 유체의 유전율에 따라 커패시턴스의 변화를 확인하였다.

수정된 ATSC 8-VSB 시스템을 위한 견고한 반송파 주파수 복구부 설계에 관한 연구 (A Robust Carrier Frequency Recovery Scheme for modified ATSC 8-VSB Systems)

  • 전영곤;김준태
    • 한국방송∙미디어공학회:학술대회논문집
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    • 한국방송공학회 2010년도 추계학술대회
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    • pp.47-50
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    • 2010
  • 최근 3D HDTV (3-Dimensional High Definition Television)에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 국내에서도 3D HDTV 방송 서비스를 위하여 기존의 ATSC (Advanced Television Systems Committee) 8-VSB (8-Vestigial Side Band) 시스템을 수정하려는 연구가 진행되고 있다. 그 중에서도 프레임 생성 과정에서 프레임 헤드 부분에 PN (Pseudo-Noise)심볼을 사용하는 새로운 시스템의 개념을 제안하고, 이 시스템을 수정된 ATSC 시스템이라 부를 것이다. 수정된 ATSC 시스템은 기존 ATSC 8-VSB 시스템에서 사용되던 VSB 변조방식을 사용한다. 본 논문에서는 수정된 ATSC 시스템에 적용 가능한 반송파 주파수 복구 방식을 제안한다. 제안된 반송파 주파수 복구 방식은 Fitz 알고리즘을 사용하는 거친 주파수 복구부와 간단한 PN심볼 상관 알고리즘을 사용하는 미세 주파수 복구부로 구성된다. 그리고 진폭만을 변조하여 사용하는 VSB 변조 방식의 경우 심볼 정보가 동위상 채널에만 존재하고, 직교위상 채널은 단순히 동위상 채널의 힐버트 변환된 값에 지나지 않는다. 그러므로 VSB 변조된 심볼은 QAM 변조된 심볼 처럼 일정한 배열을 가지지 않고, 반송파 주파수 옵셋에 더욱 민감하게 된다. 이를 극복하기 위하여 수신된 PN심볼에 대한 위상 보정 과정을 수행하고, 이 과정은 수정된 ATSC 시스템의 반송파 주파수 복구 시 성능을 향상 시킨다.

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다중 와류 유동을 이용한 자기유체역학 (MHD) 마이크로 믹서 (Magnetohydrodynamic (MHD) Micromixer Using Multi-Vortical Flow)

  • 양원석;김동성
    • 대한기계학회논문집B
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    • 제34권1호
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    • pp.53-59
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    • 2010
  • 본 논문에서는, 자기유체역학(MHD)을 기반으로 마이크로 채널 내부에 다중 와류 유동을 발생시키는 새로운 형태의 카오스 마이크로 믹서를 제안한다. 제안된 마이크로 믹서의 마이크로 채널 내부에는 양측면과 바닥면에 전극들이 배치되어 있다. 배치된 전극들에 인가되는 전압 조건에 따라 다양한 형태로 로렌츠 힘이 유도되며, 이렇게 유도된 로렌츠 힘은 마이크로 채널 내부 유체의 추진 및 혼합을 야기할 수 있다. 제안된 MHD 마이크로 믹서의 혼합 양상을 평가하기 위해 3 차원 전산유체역학 시뮬레이션을 수행하였다. 이를 통해 다양한 유동 조건에 대해 MHD 마이크로 믹서의 혼합 성능을 평가하였다.

직선채널과 확대채널에서의 액적 내부 유동 가시화 (Flow Visualization of the Flow inside the Droplet Passing through a Straight and a Diverging Channel)

  • 진병주;김영원;유정열
    • 한국가시화정보학회:학술대회논문집
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    • 한국가시화정보학회 2007년도 추계학술대회
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    • pp.71-76
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    • 2007
  • Flow visualization of a droplet passing through a straight channel and a diverging channel has been carried out using micro-PIV. Diverging channel is frequently used in lab-on-a-chip and microfluidic devices, where flow pattern inside the droplet passing is quite different from that through a straight channel. In the present study, we visualized the droplet flow in three different regions. The first region is where the droplet has a wide contact area with the channel wall, the second region is characterized with a narrow contact area and the third region is where droplet is detached from the channel wall. Visualization results show that the internal flow inside the droplet passing through the straight channel moves in the opposite direction to the droplet velocity in the near wall exhibiting complex flow patterns. But in the diverging channel the internal flow inside the droplet moves in the same direction as the droplet velocity due to the shear induced by oil phase flow exhibiting rather simple flow pattern.

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흡착과 탈착 과정 동안 제습 로터의 열/물질 전달 (Heat and Mass Transfer in Hygroscopic Rotor During Adsorption and Desorption Process)

  • 신현근;박일석
    • 대한기계학회논문집B
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    • 제37권11호
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    • pp.977-984
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    • 2013
  • 흡착식 제습기에 적용되는 제습 로터는 높은 제습 성능을 달성키 위해, 흡수율이 높은 재질로 구성된 수많은 미세 채널을 포함하고 있다. 본 연구에서는 습공기 흐름에 의해 나타나는 제습 로터 내부의 반복적인 흡착/탈착 과정에 대한 수치해석 결과를 소개한다. 수치해석의 정확도와 효율성을 고려하여 흡습층 내부에서는 표면 확산(surface diffusion)만을 고려하여 해석을 수행하였다. 해석결과는 이전의 연구와 비교하였고, 온도에 대한 비교 오차는 약 2%이하인 점을 감안하여 해석결과가 매우 잘 일치하는 것을 확인하였다. 단일 채널 내부에서 유동층 (flow layer)과 흡습층 (desiccant layer) 간 열/물질전달 연계 해석을 통하여 채널 내부의 수증기 분율, 흡수된 물 분율과 온도 등에 대한 시간 및 공간적 변화를 나타내었다.

채널간 교차류가 냉각재상실사고에 미치는 영향분석 (Analysis of Inter-channel Cross Flow Effect on PWR LOCA)

  • Park, Jong-Ho;Lee, Sang-Yong;Han, Ki-In
    • Nuclear Engineering and Technology
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    • 제20권2호
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    • pp.80-87
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    • 1988
  • 소형냉각재상실사고(SBLOCA)와 대형냉각재상실사고(LBLOCA)중에 노심의 Average Channel과 Hot Channel에서의 유량분포를 예측하였다. 아울러 REALP5/MOD2 코드를 사용하여 두 채널사이의 교차류고려여부가 실제사고 분석결과에 미치는 영향을 평가하였다. 현재까지 SBLOCA계산에서는 노심을 한개의 채널로 모델하는 것이 충분하다고 판단되어 왔으나 본 계산결과에 의하면 보수적인 계산을 위해서는 Hot Channel 모델링이 필요한 것으로 밝혀졌다. 그러나 LBLOCA Blowdown Phase존에서는 교차류의 고려 여부에 상관없이 Hot Channel 이 Average Channel보다 보수적 인 결과를 가져오며, 교차류의 영향도 미세한 것으로 판명되었다.

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ZSM-5 제올라이트 복합분리막의 제조 및 $CO_2$ 분리 특성 (Synthesis and $CO_2$ Separation Characteristics of ZSM-5 Zeolite Composite Membranes)

  • 현상훈;송재권;김준학
    • 한국막학회:학술대회논문집
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    • 한국막학회 1997년도 춘계 총회 및 학술발표회
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    • pp.29-29
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    • 1997
  • ZSM-5계 제올라이트는 직경이 약 6${\AA}$인 균일한 3차원 채널 형태의 기공을 형성하므로 이를 이용한 기체 분리막은 분자체가름(molecular sieving)이나 미세기공확산(micropore diffusion) 및 표면확산(surface diffusion) 메커니즘에 의해 최근 지구 온난화의 주범으로 지목되고 있는 CO$_2$ 기체에 대해 높은 분리 효율을 기대할 수 있으므로 ZSM-5 복합분리막의 제조 및 기체 투과 특성과 CO$_2$ 분리 특성에 대해 연구하였으며 다음과 같은 결과를 얻을 수 있었다. 콜로이달 실리카 졸에 질산 알루미늄, 수산화 나트륨 및 TPABr을 첨가한 혼합졸과 물유리를 증류수로 희석한 후 TPBr을 첨가한 용액을 각각 150~180${\AA}$의 온도 범위의 오토클레이브에서 수열 처리하여 ZSM-5와 실리카라이트를 합성하였다. 합성 제올라이트의 결정 구조는 사방정이었으나 450${\AA}$에서 하소하였을 때에는 단사정으로 전이됨과 동시에 채널 속을 채우고 있던 TPABr이 제거되면서 제올라이트의 3차원 채널 형태의 기공 구조가 생성되었다. 제올라이트 결정의 형상과 크기는 실리카 공급원과 반응용액/졸의 농도에 따라 매우 민감하게 변화되었다. 하소 제올라이트의 비표면적은 약 360 m$^2$/g 이었다. 합성 제올라이트의 표면은 소수성인 반면에 높은 CO$_2$ 흡착능을 갖고 있어서 CO$_2$ 분리용 막의 재료로써 적합하였다.

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채널 내를 운행하는 초고속 지상 운행체의 공력특성에 관한 실험적 연구 (Experimental Study on the Aerodynamic Characteristics of a High-speed Ground Vehicle Moving in a Channel)

  • 최동수;김동화;조진수
    • 한국항공우주학회지
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    • 제32권8호
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    • pp.72-81
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    • 2004
  • 초고속 지상 운행체에 대한 풍동실험을 통하여 단단한 채널과 운행체 사이에 발생하는 공력 상호작용을 연구하였다. 풍동실험시 유속은 30m/see에서, 단위길이당 레이놀즈수는 $3.1{\times}10^5/m$였다. 가변지면과 안내로와 같은 실험장치들이 이 실험을 위해 사용되었다. 운행체는 지면과 운행체 사이의 거리가 가까워질수록, 안내로 사이의 간격이 좁아질수록 양력은 급격히 증가하였고, 항력은 미세하게 감소하였으며, 키놀이 모멘트는 억제되어 정안 정성을 증대시켰다. 연선을 사용한 유동가시화를 통하여 운행체가 채널 내를 운행할 때의 유동 특성을 채널이 없는 경우와 비교하였고 공력측정 결과를 뒷받침하였다. 채널 지연과 안내로의 영향으로, 운행체 하부에서의 유동은 날개의 익단판 외부로 흐르지 못하며, 이것이 운행체 양력증가의 주요 원인이 되었다.