• Title/Summary/Keyword: 미세바늘

Search Result 26, Processing Time 0.023 seconds

Effect of high-temperature annealing on the microstructure of laterally crystallized polycrystalline Si films and the characteristics of thin film transistor (고온열처리가 측면결정화시킨 다결정 실리콘 박막의 미세구조와 박막트랜지스터 특성에 미치는 영향)

  • 이계웅;김보현;안병태
    • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
    • /
    • 2003.11a
    • /
    • pp.70-70
    • /
    • 2003
  • 금속용액을 이용하여 측면고상결정화 시킨 다결정 실리콘 박막내의 고각입계를 줄이기 위해 서 고온열처리를 실시하였다. SEM과 TEM을 이용하여 다결정 실리콘내의 바늘모양의 결정립의 폭의 증가를 관찰하였고, 결정 립내의 결함이 감소를 관찰하였다. 그리고 결정화된 다결정 실리콘의 표면 거칠기를 AFM이용하여 퍼니스에서 53$0^{\circ}C$에서 25시간 동안 결정화 시킨 시편과 이후 80$0^{\circ}C$에서 40분간 추가 고온 열처리시킨 시편을 비교한 결과 6.09$\AA$에서 4.22$\AA$으로 개선되었음을 확인할 수 있었다. 박막내의 금속에 의한 오염을 줄이기 위해 금속의 농도를 줄인 금속용액을 결정화에 사용하였다. 이때 저농도 금속용액을 사용하여 측면결정화시킨 다결정 실리콘 박막내의 소각입계를 이루는 결정립군의 크기가 고농도 금속용액을 이용하여 측면결정화시킨 경우보다 증가함을 확인 할 수 있었다. 박막트랜지스터를 제작하여 트랜지스터의 전기적특성을 살펴보았다. 전계이동도가 80$0^{\circ}C$ 고온 열처리에 의해서 53$\textrm{cm}^2$/Vsec 에서 95$\textrm{cm}^2$/Vsec 로 상승하였는데 이는 고온열처리에 의해서 측면결정화된 다결정 실리콘내의 트랩 밀도가 2.2$\times$$10^{12}$/$\textrm{cm}^2$ 에서 1.3$\times$$10^{12}$$\textrm{cm}^2$로 감소하였기 때문이다.

  • PDF

Pain and Blood Volume with Different Sampling Sites and Puncture Depths in Vacuum Assisted Auto Lancing Technique for Blood Glucose Test (혈당검사를 위한 진공자동채혈기법사용시 채혈부위와 바늘침투깊이에 따른 통증과 채혈량 분석)

  • Park, Mi-Sook;Park, Kyung-Soon;Kim, Kyung-Ah;Cha, Young-Joo;Jun, Myung-Hee;Kim, Tae-Im;Lee, Tae-Soo;Cha, Eun-Jong
    • The Journal of Korean Academic Society of Nursing Education
    • /
    • v.12 no.2
    • /
    • pp.265-271
    • /
    • 2006
  • Purpose: To analyze the newly developed vacuum assisted auto-lancing technique applied to the forearm for the purpose of obtaining an adequate blood sample for glucose test with minimal pain. Methods: Visual and facial pain measures were introduced to compare lancing pain between the forearm and fingertip in 58 normal females. Sampled blood volumes were accurately measured by computer scanning technique. Results: Visual pain measure demonstrated significant pain reduction effect of the forearm sampling compared with the traditional fingertip sampling, which was also consistent with facial pain measure results. Blood volume more than $0.5{\mu}L$, enough for blood glucose testing with modern glucometers, was collected in 399(86%) of 464 forearm samples. Conclusions: Capillary blood sampling could be performed with minimal pain on the forearm by the newly developed vacuum assisted auto-lancing technique. With some resampling when necessary, the forearm sampling seemed very useful, considering almost no pain felt by the patients.

  • PDF

A Case of Granular Cell Tumor of the Breast in a Male Patient (남성유방에서 과립세포종양의 증례 보고)

  • Lee, Gyoung-Eun;Kim, Ji-Young;Kim, Jae Hyung;Jeong, Myeong Ja;Kim, Soung Hee;Kim, Soo Hyun;Kang, Mi-Jin;Lee, Ji Hae;Bae, Kyung-Eun;Kim, Tae Gyu
    • Journal of the Korean Society of Radiology
    • /
    • v.79 no.5
    • /
    • pp.259-263
    • /
    • 2018
  • A 52-year-old male complained of a painless, firm, and slow-growing mass in his right breast outer portion. The chest CT revealed a 3.3 cm-sized oval shaped, microlobulated, mild enhancing mass. Ultrasound showed a microlobulated marginated heterogeneous hypoechoic mass with internal vascularity and calcifications in the mass. On the ultrasound-guided core needle biopsy, the mass was confirmed as a benign granular cell tumor (GCT). The patient transferred to another hospital and underwent surgical removal of the lesion. GCT of the breast is uncommon and mostly benign neoplasm to originate from Schwann cell. Clinical and radiologic features of GCTs, including CT and ultrasound images, mimic malignancy and make diagnosis of GCT more difficult. The CT images of GCTs are much rarely reported. Physicians and radiologists must be aware of radiologic characteristics of this rare benign tumor for male breast, to avoid misdiagnosis this tumor for breast malignancy and overtreat.

Benign Adenomyoepithelioma of the Breast: Imaging Characteristics (유방의 양성 선근상피세포종: 영상 특징)

  • So Ra Shin;Eun Young Ko;Boo-Kyung Han;Eun Sook Ko;Ji Soo Choi;Haejung Kim
    • Journal of the Korean Society of Radiology
    • /
    • v.84 no.2
    • /
    • pp.398-408
    • /
    • 2023
  • Purpose This study aimed to evaluate the radiological and clinical characteristics of benign adenomyoepitheliomas of the breast. Materials and Methods Over the last 20 years, 120 patients were histologically diagnosed with breast adenomyoepithelioma (AME) at our institution. We excluded 43 patients who were incidentally diagnosed during mastectomy for breast cancer, 28 who underwent percutaneous biopsy without further excision, and 8 who had biopsy-confirmed benign AME and were found to have another pathology after complete excision. We retrospectively reviewed the clinical records and radiological findings of the remaining 41 patients with histologically diagnosed benign breast AMEs after complete excision. Results All 41 patients underwent US; 38 underwent mammography (MG) and US; and 18 underwent MG, US, and MRI. MG detected 38 cases with a round or oval shape (56%), and mass (89%), were non-circumscribed (62%), hyperdense (53%), and without microcalcifications (95%). Breast US revealed suspicious masses (98%) with a non-circumscribed margin (66%), hypoechogenicity (43%), and intratumoral vascularity (63%). All lesions on breast MRI showed suspicious masses (100%) with ill-defined margins (61%), and 84% showed wash-out kinetics. Benign AMEs showed suspicious features of Breast Imaging Reporting and Data System (BI-RADS) category 4 or 5 in 83%-95% of the MG, US, and MRI. Sixteen of the 41 cases were misdiagnosed on the initial core needle biopsy and two were diagnosed as malignancy. Conclusion Benign breast AME often shows suspicious radiological features mimicking a malignant mass on MG, US, and MRI. Differentiating benign AME from other pathologies might be difficult on core needle biopsy, and complete excision is needed for a correct diagnosis.

Preparation of nanocrystalline $TiO_2$ photocatalyst films by using a titanium naphthenate (티타늄 나프테네이트를 이용한 나노결정질 $TiO_2$ 광촉매 박막의 제조)

  • 이선옥;김상복;윤연흠;강보안;황규석;오정선;양순호;김병훈
    • Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
    • /
    • v.12 no.5
    • /
    • pp.240-246
    • /
    • 2002
  • $TiO_2$ films on soda-lime-silica glasses were prepared by spin coating-pyrolysis process using titanium naphthenate as a starting material. As-deposited films were pyrolyzed at $500^{\circ}C$ for 10 min in air and annealed at 500, 550 and $600^{\circ}C$ for 30 min in air. Crystallinity of the film was investigated by X-ray diffraction analysis. A field emission-scanning electron microscope and an atomic force microscope were used for characterizing the surface morphology and the surface roughness of the film. After annealing at 550 and $600^{\circ}C$, the X-ray diffraction patterns consist of only anatase peak. Films annealed at 500 and $550^{\circ}C$ exhibited flat surfaces. While with the increase in annealing temperature to $600^{\circ}C$, the $TiO_2$ film showed abnormal growth of three-dimensional needle-shaped grains. For all samples, high transmittance, above 90 % at 500 nm, was obtained at visible range. To investigate photocatalytic properties, IR absorbance associated with the C-H stretching vibrations of a thin solution-cast film of stearic acid under 365 nm (2.4 mW/$\textrm{cm}^2$) UV irradiation was estimated.

RIE기반 저결함 결정질실리콘 표면 Texturing패턴 연구

  • Jeong, Ji-Hui;Yun, Gyeong-Sik;Lee, Byeong-Chan;Park, Gwang-Muk;Lee, Myeong-Bok
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
    • /
    • 2010.02a
    • /
    • pp.283-283
    • /
    • 2010
  • 17~18% 대역의 고효율 결정질실리콘 태양전지를 양산하기 위하여 국내외에서 다양한 연구개발이 수행되고 있으며 국내 다결정실리콘 태양전지 양산에서도 새로운 구조와 개념에 입각한 공정기술과 관련 장비의 국산화에 집중적인 투자를 진행하고 있다. 주지하는 바와 같이, 태양전지의 광전효율은 표면에 입사되는 태양광의 반사를 제외하면 흡수된 광자에 의해 생성되는 전자-정공쌍의 상대적인 비율인 내부양자효율에 의존하게 된다. 실제 생성된 전자-정공쌍은 기판재료의 결정상태와 전기광학적 물성 등에 의해 일부가 재결합되어 2차적인 광자의 생성이나 열로서 작용하고 최종적으로 전자와 정공이 완전히 분리되고 전극에 포집되어 실질적인 유효전류로 작용한다. 16% 이상의 고효율 결정질 실리콘 태양전지 양산이 요구되고 있는 현실에서 광전효율 개선 위해 가장 우선적으로 고려되어야 할 변수는 입력 태양광스펙트럼에 대한 결정질 실리콘 표면반사율을 최소화하여 광흡수를 극대화하는 것이라 할 수 있다. 현재까지 다결정 실리콘 표면을 화학적으로 혹은 플라즈마이온으로 50-100nm 직경의 바늘형 피라미드형상으로 texturing 함으로 단파장대역에서 광반사율의 감소를 기대할 수 있기 때문에 결정질실리콘 태양전지효율 개선에 긍정적인 영향을 미치는 것으로 알려져 있다. 고효율 다결정실리콘 태양전지 양산공정에 적용하기 위해 마스크를 사용하지 않는, RIE기반 건식 저반사율 결정질실리콘 표면 texturing 패턴연구를 수행하였다. 마스크없이 표면 texturing이 완료된 시료들에 대하여 A1.5G 표준태양광스펙트럼의 300-1100nm 파장대역에서 반사율과 minority carrier들의 life time 분포를 측정하고 검토하여 공정조건을 최적화 하였다. 저반사율의 건식 결정질실리콘 표면 texturing에 가장 적합한 플라즈마파워는 100W 내외로 낮았고 $SF_6/O_2$ 혼합비율은 0.8~0.9 범위엿다. 본 연구에서 확인된 최적의 texturing을 위한 플라즈마공정 조건은 이온에 의한 Si표면원자들의 스퍼터링과 화학반응에 의한 증착이 교차하는 상태로서 확인된 최저 평균반사율은 ~14% 내외였고 p-형 결정질실리콘 표면 texturing 패턴과 minority carrier의 life time 상관는 단결정이 16uS대역에서 14uS대역으로 감소하는 반면에서 다결정은 1.6uS대역에서 1.7uS대역으로 오히려 미세한 증가를 보여 다결정 웨이퍼생산과정에서 발생하는 saw-damage 제거의 긍정적 효과와 texturing공정의 표면 결함발생에 의한 부정적 효과가 상쇄되어 큰 변화를 보이지 않는 것으로 해석된다.

  • PDF