절삭가공 중에서도 높은 비중을 차지하는 구멍가공은 전자제품, 공작기계 뿐만 아니라 산업 전반에 걸쳐 소형 화, 다양화, 대량생산화 함에 따라 미세화, 고속화하게 되었다. 본 연구에서는 미세드릴 가공시에 발생하는 스러스트를 측정하여 이송, 절삭속도, 피삭재 두께 변화 등 각 절삭조건이 공구수면과 가공확대오차에 미치는 문제점을 해결하기 위한 방안으로 스텝이송 방식을 채택하여 그 효과에 대한 평가를 목적으로 한다.
Recently, the needs of machining technologies of very small parts have been increasing with advent of micro-revolution. These technologies have mostly used the method applied to semi-conductor production process such as LIGA, etc. But they have serious difficulties to settle down in terms of workpiece materials, machining thickness, 3-dimensional structure. Therefore. mciro-machining technology using EDM(Electrical Discharge Machining) was proposed. It is very difficult to machine the micro-parts (microshaft, microhole) using conventional machining. Micro-machining using BDM can machine the micro-parts easily because it requires little machining force. This MEDM(Micro-EDM) need the capabilities to move a electrode and control a discharge energy precisely, and the gap control strategy to maintain the optimal discharge condition is necessary. Therefore, in this study, the new EDM machine with high precision motion stage and high-performance EDM device was developed. Using this MEDM machine, we have machined microshaft and microhole with various shapes and sizes.
Micro-EDM technology (or the manufacture of miniature parts is used to make a micro hole. Two electrode shaping methods, mechanical electrode grinding and WEDG technique, have been studied. In this study, an electrode shaping method by using previously machined hole is introduced in order to obtain an optimal hole-making condition. Key factors such as applied voltage, capacitance, feedrate, and hole-dimension have an influence on the fabricating error of electrode shaping, which are taper ratio of a hole, electrode form accuracy, and electrode surface. Therefore, we try to investigate the optimal fabricating of electrode shaping from various experiments. Results from experiments, it was able to minimize the electrode fabricating error as voltage increases, and also applied feedrate and capacitance decreases.
Micro-EDM is widely used in machining of miro-parts such as micro-shafts and micro-holes. In order to select proper machining conditions and to reduce the machining time, it is necessary to understand machining characteristics under various machining conditions. Micro-hole machining tests were performed with round shape electrodes with different capacitances and voltages of the power source. The effects of the electrode rotational speed and diameter on the machining rate were also observed. From the experimental results, it was found that capacitance and voltage have significant effects on machining rate and the machined surface integrity. With higher capacitance and higher voltage, higher machining rate was observed together with poorer surface integrity. The electrode diameter was also found to have an effect on the machining rate and electrode wear.
미세 절삭에 의한 마이크로 형상가공 및 이를 이용한 미세금형 가공기술개발을 위하여 절삭 공구를 이용한 기계적 미세 가공법에 대한 고찰과 더불어 shaping, end-milling, drilling 등의 가공이 가능한 기계적 미세 가공시스템을 구성하고 이를 이용한 미세 치형 그루브와 미세 격벽 등 미세 형상 구조의 금형 개발을 위한 가공실험을 수행하였다. 본 실험에서는 먼저 shaping 방식으로 세 종류의 다이아몬드 바이트를 사용하여 알루미늄, PMMA, Nickel, 황동 등의 소재에 pitch $150{\mu}m$, 높이 $8{\mu}m$ 내외의 미세 치형의 금형 코어를 가공하였고, 다음으로 Z축에 air spindle을 설치하여 $\phi0.2mm$의 end-mill(WC)을 사용하여 황동 소재에 깊이 $200{\mu}m$, 폭 $200{\mu}m,\;100{\mu}m,\;50{\mu}m,\;30{\mu}m$의 두께 변화를 주어 미세 격벽에 대한 가공실험을 하였다. 미세 구멍가공실험으로는 drilling 전용장비를 구성하여 $\phi0.6\~0.15mm$의 drill공구로 SM45C와 세라믹$(Si_3N_4-BN)$ 소재에 스텝이송방식에 의한 미세 구멍 가공 실험을 실시하였다.
On this study, technical aspects were reviewed to drill a series of micro holes (${\phi}$0.10) over 200 within a few micron tolerance in diameter and position on the stainless steel material. Dedicated tools & jigs were designed and manufactured and optimum cutting conditions were found. On this micro hole drilling process, guide drill and step feeding were applied to help chip discharge, prevent drill breakage and finally improve the accuracy of positioning and roundness. The processing results indicated that most holes are distributed within a few micron tolerance in diameter and position intervals.
By the localization of electro-chemical dissolution region, we succeeded in a few micrometer size hole drilling on stainless steel with the radial machining gap of about 1 ${\mu}{\textrm}{m}$. Tens of nanosecond duration voltage pulses were applied between WC micro-shaft and stainless steel in the 0.1 M $H_2SO_4$ solution. Pt balance electrode was used to drill the high aspect ratio micro-hole without generation of Cr oxide layer on the machined surface. The effects of applied voltage, pulse duration, and pulse period on localization distance were investigated according to machining time. We suggested the taper reduction technique especially brought up on blind-hole machining. High quality micro-holes with 8 ${\mu}m$ diameter with 20 ${\mu}m$ depth and 12 ${\mu}m$ diameter with 100 ${\mu}m$ depth were drilled on 304 stainless steel foil. The various hole shapes were also produced including stepped holes and taper free holes.
Micro drilling characteristics by EDM method was investigated. In detail, Micro tool electrode for EDM drilling was machined by use of WEDG method and micro hole was drilled using the machined tool electrode in SUS plate. The machining accuracy and time was compared in a different dielectric fluid. As a result, it was convinced that this method could be utilized as a fabrication technology of micro mold or micro 3 dimensional parts.
레이저 빔이갖고있는 spatial coherence 특성에 의해서 렌즈를 이용하여 집광시키면 집광부에서 고출력 밀도를 얻을 수 있다. 이와같이 집광된 레이저 빔을 재료의 표면에 조사하면 재료로 부터 미세량을 용융, 증발시키므로 일반적인 방법으로는 가공이 어려운 단단한 재료의 절단과 미세 구멍가공이 가능하게된다. 본 논문에서는 출력, 펄스 수, defoucsing, pulse on-time, 보조가스 압력등을 변화 시키면서 드릴링 실험을 수행하고, 각 실험 조건에서의 구멍 형상과 깊이를 측정함으로써 가공 변수들의 process sensitivity를 평가하였다.
Recently, the trends of industrial products grow more miniaturization, variety and mass production. Micro drilling which take high precision in cutting work is requested more micro hole and high speed working. Especially, Micro deep hole drilling is becoming more important in a wide spectrum of precision production industries, ranging from the production of automotive fuel injection nozzle, watch and camera parts, medical needles, and thick multi-layered Printed Circuit Boards(PCB) that are demanded for very high density electric circuitry. This paper shows the tool monitoring results of micro drill with tool dynamometer. And additionally, microscope with built-in monitor inspection show the relationship between burr in workpiece and chip form of micro drill machining.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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