RF-Magnetron Sputtering법에 의해 성막된 $Ga_2O_3$ 가 혼합된 ZnO박막의 전기적 및 광학적 특성
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- Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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- 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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- pp.120-120
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- 2010