Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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2009.11a
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pp.29.2-29.2
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2009
구리는 낮은 비저항, 높은 열전도도, 우수한 electromigration(EM)저항특성 등을 바탕으로 차세대 nano-scale집적회로의 interconnect application에 적합한 금속재료로서 각광받고 있다. copper interconnect는 damascene process 를주로 이용하는데 CVD를 이용하면 step coverage가우수한 seed layer얻을 수 있어 고집적 소자의 구현이 가능하다. 최근에 비 균등화 반응(disproportionationreaction)을 이용하여 고 순도 구리박막을 제조하기위해 $\beta$-diketonate Cu(I) Lewis-base의 전구체를 많이 이용하는데 그중에서 hexafluoroacetylacetonate(hfac)Cu(I)vinyltrimethylsilane (VTMS)가 널리 이용되고 있다. 그러나 (hfac)Cu(I)(VTMS) 또는 유사계열의 전구체들은 열적안정성및 보관안정성이 부족하여 실제 양산공정에 적합하지 못한 단점이 있었다. 본 연구에 이용된 2가 전구체Cu(dmamb)2는 높은 증기압($70^{\circ}C$, 0.9torr)을 가지며 종래에 주로 이용하던 1가 전구체 (hfac)Cu(VTMS)에 비해 높은 활성화 에너지(~113 kJ/mol)를가짐으로서 열적안정성 및 보관안정성이 우수하다. 다른 한편으로 2가전구체는 안정성이 우수한 만큼 낮은 증기압을 극복하기 위해 리간드에 플루오르를 주로 치환하여 증기압을 높이는데 플루오르는 성장하는 박막의 접착력을약하게 하는 단점을 가진다. 하지만 본 연구에 사용된 Cu(dmamb)2는 리간드에 플루오르를 포함하지 않으며, 따라서 고품질의 박막을 용이한성장환경에서 제조할 수 있는 장점들을 제공한다. 비활성가스 분위기에서 2가전구체는 열에너지에 의해 리간드의 자가환원에따라 금속-리간드 분해가 발생한다. 하지만 수소분위기에서는수소가 환원제로 작용하여 리간드의 분해를 용이하게 하는 특징을 가지며 따라서 비활성분위기일 때 비해 낮은 성장온도를 가진다. 또한 수소는 잔류하는 리간드 및 불순물과 결합하여 휘발성화학종들을 생성하여 고순도의 구리박막제조를 가능하게한다.
에탄올은 금속, 고무 수지를 부식시키고 열화시키기 때문에 FFV 등 알코올 대응차량이 아닌 경우 에탄올 허용도가 제한되고 있으며, 물과의 상호용해성과 흡습성으로 수분혼입에 의한 상분리가 발생하여 혼합가솔린의 유통에서의 취급에 어려움이 야기되고 있다. 또한, 에탄올은 가솔린과 혼합되면 공비현상으로 인하여 50% 유출온도가 크게 떨어지고 증기압이 7kPa 정도 상승을 초래하는 점도 간과하지 않을 수 없다. 따라서, 자동차용휘발유에 에탄올을 혼입하여 사용할 경우, 가솔린기재를 적절히 선택하여 적정품질을 유지하여야 하며 무엇보다도 에탄을 혼입농도에 따른 저장탱크와 주유기 등의 부품에의 영향과 저장시의 상분리 문제를 충분히 규명하여 유통인프라에서의 적절한 대응책이 마련되어져야 한다. 유통 인프라 대응을 위해서는 우선 생산단계에서 수분 혼입을 최소화하기 위하여 저유소의 출하지점에서 서브옥탄가솔린과 에탄올을 라인브랜딩에 의해 제조하는 방법이 가장 타당하며, 수송부문에서는 탱크로리 등의 공급라인인 파이프와 실링 재질 등에 대해서 면밀한 검토가 필요하다고 할 수 있다. 주유소에서의 대응은 에탄을 혼합연료와 직접 접촉하는 연료계 등 부품재질을 내부식성의 재질로 변환시켜야 하며, 수분혼입을 최소화하기 위한 이중탱크 설치, 지하탱크 환기구내의 대기벨브 설치 등이 필요하며, 기타, 품질 및 수분관리 대책 등도 마련되어야 할 것이다.
Proceedings of the Korean Society for Agricultural Machinery Conference
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2003.02a
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pp.406-411
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2003
에탄올과 같은 저온 상변화물질의 팽창과 응축과정에서 발생하는 압력과 진공상태를 이용하여 물을 양수하는 물펌프는 태양열과 같이 에너지강도는 약하지만 그 자원이 무한하고 청정한 에너지원을 이용하기에 매우 이상적인 장치이다. 이와 관련한 국내 연구로서는 김 등(2002)에 의한 펜탄의 증기압을 이용한 물펌프장치의 에너지변환실험과 작동사이클 과정에서의 열역학적인 해석을 통한 성능분석이 있다. 장치의 설계와 관련하여 Kwant 등(1981)은 작동물질의 응축액을 가열부측으로 되돌리기 위한 방법으로 응축부와 물탱크, 공기탱크를 분리하여 설계한 바 있고, 온도변화에 따른 탱크효율에 대해 분석하였다. (중략)
Proceedings of the Korean Institute of Industrial Safety Conference
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2003.05a
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pp.462-467
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2003
Organic solvent를 원료로 한 액상 세척제는 가전제품, 컴퓨터용품, 전기기구 세척등의 민수 용품과 산업용 정밀 기계부품과 같은 대상물 세척 등에 사용되고 있다. 그러나 일반 유기용제를 주성분으로 한 유기용제형 세척제의 경우 장기 오염물질에 따른 세척력 저하, 공정상 VOC(Volatile Organic Compound)가 과도 발생할 뿐만 아니라 비생분해성, 높은 증기압, 화재 및 폭발 위험성, 냄새 성분 발생 등 안전 및 보건상 치명적인 결함이 있다.(중략)
The purpose of this study is to suggest how to use the phase diagram for water to explain the evaporation and sublimation in the atmospheric condition. In principle, the phase diagram for water represents a one component system so it cannot be applied to the water contact with the air. When the liquid or solid phase of water exists in the air, always water vapor also exists in the air. In this case, we cannot present this state as a single point on the phase diagram because the pressure of the liquid or solid is different from that of the vapor in the air. However, since the saturation vapor pressure of liquid or solid is altered by negligible amount due to the presence of air, the evaporation and sublimation in the atmospheric condition can be explained using the vapor pressure line and sublimation line on the phase diagram.
Proceedings of the Membrane Society of Korea Conference
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1996.10a
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pp.88-89
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1996
투과증발 시스템은 막 분리 기술의 일종으로 액체 혼합물 중의 한 성분에 대해 친화적인 비다공성 막을 사용하여 그 성분을 선택적으로 투과시켜 혼합물을 분리하는 기술이다. 투과증발 시스템에서는 Feed가 비교적 높은 온도에서 액상 형태로 막의 Feed side에 공급되어 막을 투과한 물질(Permeate)은 Permeate side에서 기화된 후 냉각기로부터 공급되는 Cold brine에 의하여 응축되며, 이는 투과증발막 투과 구동력이 각 성분의 증기압 차이기 때문에 이를 크게 유지하기 위함이다. 현재 투과증발 시스템이 상업적으로 적용되고 있는 공정은 유기물 탈수 공정으로, 이 공정에서는 물에 대한 용해도 및 투과 속도가 우수한 친수성 막을 이용하여 유기물과 물의 혼합물로부터 물을 제거하여 유기물을 농축하며, 대표적인 유기물은 에탄올, Isopropyl alcohol(IPA), 아세톤, MIBK, Ethyl acetate, THF 등의 중성 유기물이다.
For the treatment of reactive phenolic resin waste, a simulation model of pervaporative dehydration process has been developed through hollow fiber membrane module. Some of basic parameters were determined directly from dehydration of the waste liquid through a flat sheet membrane to get realistic values. The simulation model was verified by comparing the simulated values with experimental data obtained from hollow fiber membrane module. Hollow fiber membranes with active layer coated on inside fiber were used, and feed flew through inside hollow fiber. Feed flow rate affected membrane performances and reaction by providing a corresponding temperature distribution of feed along with fiber length. Feed temperature is also a crucial factor to determine dehydration and reaction behavior by two competing ways; increasing temperature increases permeation rate as well as water formation rate. Once the permeate pressure is well below the saturated vapor pressure of feed, permeate pressure had a slightly negative effect on permeation performance by slightly reducing driving force. As the pressure approached the vapor pressure of feed, dehydration performances declined considerably due to the activity ratio of feed and permeate.
Journal of The Korean Association For Science Education
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v.25
no.7
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pp.773-786
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2005
This study investigated high school student and chemistry teacher perceptions on the effect of water vapor in the air on evaporation and boiling of water by a questionnaire. In science textbooks evaporation and the boiling of water are related to the vaporization concept, boiling is related to vapor pressure and air pressure, and vapor pressure is related to the vapor concept in the air. High school student and chemistry teacher perceptions on these linkages were compared. Science textbooks were also analyzed for reasons behind these diverse perceptions. Results revealed that a majority of students conceptualized that vapor in the air was related to evaporation and boiling, but were unable to distinguish the evaporation phenomena at the macroscopic level and the evaporation of water molecules at the microscopic level. They also thought that vapor in the air affected vapor pressure and boiling. Although the percentage of teacher scientific conception was higher, a great number of teachers had diverse perceptions on evaporation and boiling just as students had. Common explanations of evaporation and boiling phenomena in science textbooks were at the macroscopic level. Moreover, there were few connections of concepts even if the explanations were at the microscopic level.
A theory of liquid water is developed by assuming that the molecules in the liquid state have solid-like and gas-like degrees of freedom. The spectroscopic data are used in assigning the vibrational frequencies of solid-like molecules. The calculated values of molar volume, vapor pressure, entropy, entropy of vaporization, expansion coefficient, compressibility, heat capacities at constant volume and at constant pressure, surface tension and critical point properties are all in excellent agreement with the observed data.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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