• Title/Summary/Keyword: 막이 거리

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A Study on Deposition of Tungsten Nitride Thin Film for X-ray mask(l) (X-ray 마스크용 $WN_x$ 박막 증착에 관한 연구(l))

  • Jang, Cheol-Min;Choi, Byung-Ho
    • Korean Journal of Materials Research
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    • v.8 no.2
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    • pp.147-153
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    • 1998
  • Tungsten nitride is very attractive as absorber for X-ray lithographic mask and as a diffusion barrier for interconnecting metallization in Si VLSI technology. Microstructure of tungsten nitride films prepared by RF magnetron sputtering has been investigated as a function of deposition parameter. The crystal structure of sputtered films on silicon nitride membrane depends strongly on the NJAr gas flow ratio(0~18%1, gas pressure(l0~43mTorr). RF power (60~150W), target-substrate distance(4~8cm). Tungsten nitride films deposited at the $N_2/Ar$ gas flow ratio(- 10%). gas pressure(~10mmTorr), RF power(~150W) and target-substrate distance(6cm) are amorphous, but at other conditions are almost rough -surfaced polycrystalline. Amorphous films are very smooth($3.1\AA$ rms) and expected to be excellent absorber for X-ray mask.

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Characterization of iron oxide scale films using radio frequency waves (전파를 이용한 철산화물 스케일 박막 특성 연구)

  • Muhn, Sung-Jin;Shin, Dong-Sik;Yun, Him-Chan;Park, Wee-Sang
    • The Journal of the Institute of Internet, Broadcasting and Communication
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    • v.9 no.3
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    • pp.55-60
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    • 2009
  • This paper deals with the analysis of characteristics of the scale non-uniformly formed on the surface of the steel during the steel production processes. The steel made at the high temperature contacts with the oxygen in the air, so forms the scale immediately. The scale has a role to protect the surface of the steel product as a oxide-layer, but the scale formed non-uniformly spoils the exterior of the steel product and occurs the problems about the next processes. There is a pickling process to remove the scale of the steel products, but the real situation is that the pickling process is not also based on the analysis of the characteristics of the scale. Therefore, this paper describe the procedures of the analysis of the scale more effectively using the radio-frequency wave. Using the radio-frequency wave, this paper introduce the experimentations to analyze the distributions of scale, the junction characteristics between the surface of steel and scale and the distributions of scale on the produced steel coil. Also, according to the simple simulations, this paper proves the proprieties about the above contents.

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Evaluation of Indium-Tin Oxide Thin Film Deposited by DC Magnetron Sputtering Method (DC 마그네트론 스퍼터링 법으로 증착한 Indium-Tin Oxide (ITO) 박막의 특성 평가)

  • Woo, Duck-Hyun;Kim, Dae-Hyun;Ryu, Sung-Lim;Kweon, Soon-Yong
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2008.06a
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    • pp.370-370
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    • 2008
  • ITO 박막은 현재 차세대 디스플레이인 LCD, PDP, ELD 등의 평판 디스플레이의 화소전극 및 공통전극으로 가장 많이 적용되고 있는 소재이며, 최근에는 태양전지의 투명전극으로 그 용도가 더욱 증가되고 있다. 이러한 소자들의 투명 전도막으로 사용되기 위해서는 가시광선 영역에서 80% 이상의 높은 투과도와 낮은 면 저항을 가져야 한다. 광 투과도와 면 저항은 ITO 박막의 증착조건에 따라 변하게 되는데 본 연구에서는 DC 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 Indium-Tin Oxide (ITO) 박막을 제작하고, 제작된 ITO 박막의 전기적 특성과 광학적 특성을 측정하여 공정조건에 따른 박막의 특성 변화를 평가하였다. 증착 조건은 주로 기판 온도와 증착 시간을 변화시켰다. 본 실험에서는 $In_2O_3$ : $SnO_2$의 조성비가 9:1 비율의 순도 99.99% ITO 타겟을 사용하였으며, coming 1737 glass를 30$\times$30 mm 크기로 가공하여 기판온도와 증착시간을 변화시키면서 ITO 박막을 제조하였다. 예비실험을 통해 인가전력 50W, 초기 진공 $2\times10^{-6}$ Torr, 작업 진공 $3.5\times10^{-2}$ Torr, 기판과 타겟 사이의 거리를 10 cm로 고정하였다. 기판 온도는 히터를 가열하지 않은 상온 ($25^{\circ}C$)에서 $400^{\circ}C$까지의 범위에서 변화시켰고, 증착시간은 5분에서 30분까지의 범위에서 변화시켰다. 증착된 박막의 면 저항 촉정을 위해 4 point probe를 사용하였고, 홀 (hall) 계수 측정기 (HMS-300)를 이용하여 홀 계수를 측정하였으며, 또한 박막의 두께는 $\alpha$-step을 사용하여 측정하였다. ITO 박막의 상분석을 위해 XRD를 사용 하였고, SEM을 이용하여 미세구조를 관찰하였다. 실험 결과로는 기판온도 $400^{\circ}C$, 증착시간 15분 이상에서는 면 저항이 모두 $8\Omega$/$\Box$이하로 낮게 나왔으며, 투과율 또한 모두 80% 이상의 높은 투과도를 보였다. 또한 ITO박막의 전기 전도도는 캐리어 농도와 이동도의 측정을 통해 두 가지 인자들에 의해 비례되는 것을 확인하였다.

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Ge-doped Boro-Phospho-Silicate Glass Micro-lens Array Produced by Thermal Reflow (가열용융 방법에 의한 Ge-BPSG 마이크로렌즈 어레이 제작)

  • Jeong, Jin-ho;Oh, Jin-Gyeong;Choi, Jun-Seok;Choi, Gi-Seon;Lee, Hyeong-Jong;Bae, Byeong-Seong
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.16 no.4
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    • pp.340-344
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    • 2005
  • Microlens cells of Ge-doped BPSG (Boro-Phospho-Silicate Glass) are fabricated by dicing the film produced by FHD (Flame Hydrolysis Deposition). Microlens arrays of $53.4{\mu}m$ square unit are produced by the thermal reflow of the diced unit cells at $1200^{\circ}C$. The gap between the microlenses was about $70{\mu}m,$ and the thickness of the produced lens was about $28.4{\mu}m$. We analyzed the reflowed shape of the microlens cell by an image-process technique, and the focal length was about $62.2{\mu}m$. This method of fabricating a microlens is simple and inexpensive compared to the conventional method using the photolithographic process. Also, the control of the radius of curvature of the microlens is easier and a more precise microlens way of various types can be fabricated using this method.

Influences of Target-to-Substrate Distance and Deposition Temperature on a-SiOx/Indium Doped Tin Oxide Substrate as a Liquid Crystal Alignment Layer (RF 마그네트론 스퍼터링에서 증착거리와 증착온도가 무기 액정 배향막의 물리적 성질에 미치는 영향에 대한 연구)

  • Park, Jeung-Hun;Son, Phil-Kook;Kim, Ki-Pom;Pak, Hyuk-Kyu
    • Korean Journal of Materials Research
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    • v.18 no.10
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    • pp.521-528
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    • 2008
  • We present the structural, optical, and electrical properties of amorphous silicon suboxide (a-$SiO_x$) films grown on indium tin oxide glass substrates with a radio frequency magnetron technique from a polycrystalline silicon oxide target using ambient Ar. For different substrate-target distances (d = 8 cm and 10 cm), the deposition temperature effects were systematically studied. For d = 8cm, oxygen content in a-$SiO_x$ decreased with dissociation of oxygen onto the silicon oxide matrix; temperature increased due to enlargement of kinetic energy. For d = 10 cm, however, the oxygen content had a minimum between $150^{\circ}\;and\;200^{\circ}$. Using simple optical measurements, we can predict a preferred orientation of liquid crystal molecules on a-$SiO_x$ thin film. At higher oxygen content (x > 1.6), liquid crystal molecules on an inorganic liquid crystal alignment layer of a-$SiO_x$ showed homogeneous alignment; however, in the lower case (x < 1.6), liquid crystals showed homeotropic alignment.

Design of new green flashing signal system using the Lenticular technique (렌티큘러 기법을 적용한 새로운 녹색점멸신호 시스템 디자인)

  • Lee, Hyun-Uk;Oh, Kwang-Myung
    • Journal of the Korea Convergence Society
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    • v.10 no.9
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    • pp.111-117
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    • 2019
  • Green light flashing signals of pedestrian lights can cause lots of confusion for pedestrians, resulting in serious road traffic problems. In this study, a new signalling lamp was proposed using the Lenticular technique to make the signals of pedestrians entering and not entering crosswalks look different. In order to review the possibility of introducing this signal, we conducted a cognitive test on the signal of the Lenticular. As a result of the experiment, the subjects were able to distinguish red and green flashing signals according to the distance. Based on this, we found the possibility of introducing lenticular signals that could prevent pedestrian accidents and prevent excessive crossings. In the future, we will manufacture and experiment with real traffic lights and actively examine the introduction plan.

Introduction of the Best Practices in the Pakistan Gulpur HEPP (파키스탄 Gulpur 수력발전 현장의 Best Practices 소개)

  • JANG, Ock Jae;HONG, Won Pyo;CHAE, Hee Moon
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2022.05a
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    • pp.216-217
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    • 2022
  • Gulpur 수력발전 프로젝트는 전력난을 겪고 있는 파키스탄에 102 MW 규모의 수력발전소를 건설하여 30년 동안 운영 관리한 후 파키스탄 정부로 양도하는 IPP(Independent Power Producing) 형식의 투자사업이다. 남동발전과 DL E&C, 롯데건설이 Sponsor로서 출자한 자본금과, ADB, IFC, K-EXIM 등의 대주단로부터의 차입금을 재원으로 하여 소요 사업비를 조달하고 사업을 개발하였다. DL E&C와 롯데건설이 EPC(Engineering, Procurement, Construction)를 수행하였고, 이산이 Design consultant의 역할을 수행하였다. Gulpur 수력발전 프로젝트의 발전형식은 수로식(run-of-river)으로 201 m3/s의 발전유량과 102 MW의 발전 시설용량을 이용하여 연평균예상발전량은 398 GWh이다. 주요 구조물로는 설계 재현빈도 1년의 유수전환시설(가물막이댐 & 가배수터널)과 콘크리트 중력식댐(H 67 m, L 205 m), 도수터널(D 6.7 m, L 215 m, 2기), 옥외형 발전소 (H 51 m, W 60 m, L 38 m, Kaplan 2기)가 있으며, 2015년 10월 착공하여 2020년 3월 상업발전을 시작하였다. 본 프로젝트는 DL E&C의 첫 번째 EPC 해외수력발전 프로젝트이다. 따라서 프로젝트의 성공적 수행을 위한 경제적 설계, 시공의 효율성 및 안정성 확보 등을 위하여 많은 연구를 수행하는 과정에서 다양한 기술 개선을 이룰 수 있었다. 본고에서는 Gulpur 프로젝트를 통하여 도출된 성공 사례들을 소개 및 공유하고자 한다. 첫 번째로 콘크리트 중력식댐 시공을 위한 유수전환시설의 최적 설계빈도를 산정하였다. 일반적으로 유수전환시설의 규모는 설계기준에 제시된 설계 재현빈도를 이용하는데, 해외 설계기준에서는 10년, 국내 설계기준에서는 1~2년으로 다르게 제시되어 있는 문제점이 있다. 유수전환시설의 규모는 프로젝트의 경제성에 큰 영향을 미치기 때문에 최적 설계빈도의 결정이 필요하며, 위험도분석기법(Risk Analysis)과 기대화폐가치법(Expected Monetary Value)을 이용하여 유수전환시설의 최적 설계 재현빈도와 이에 영향을 미치는 인자를 분석하였다. 위험도는 몬테카를로 시뮬레이션으로 산정된 가물막이댐 파괴확률과 재현빈도를 이용하여 산정된 가물막이댐 월류확률을 고려하였으며, 비용 및 피해액으로는 유수전환시설의 공사비, 가물막이댐 파괴시의 재건설비용과 지체보상금, 가물막이댐 월류시의 복구비용을 고려하였다. 이에 대한 연구결과로, 유수전환시설의 사용기간과 월류시의 복구비용이 유수전환시설의 설계 재현기간 결정에 가장 큰 영향을 미치는 것으로 나타났고, 특히 월류시의 복구비용이 작을수록 낮은 설계 재현빈도를 선택하는 것이 타당한 것으로 나타났다. 예를 들어, 유수전환시설의 사용기간이 3 ~ 5년, 복구비용이 0.5 ~ 1.0 mil USD 이하인 조건에서 가물막이시설의 최적 설계빈도는 1년 ~ 2년인 것으로 나타났다. 또한, 유수전환시설의 사용기간은 본댐의 규모와 시공기간 등을 고려하여 결정되는 사항으로 설계자가 임의 조정할 수 없지만, 복구비용은 시공 관리자에 따라 결정되는 부분으로, 적극적 홍수 피해 저감 및 복구방안을 마련하는 것이 프로젝트의 경제성을 향상시킬 수 있다는 것을 알 수 있었다. 두 번째로 프로젝트의 경제성 향상, 홍수기 댐 시공시의 안전성 확보를 위하여 홍수 조기경보시스템(Early Warning System)을 개발 및 활용하였다. 수로식(Run-of-river) 수력발전댐은 대부분 산악지역에 위치하기 때문에 국지성 강우 및 급한 지형 경사로 인하여 돌발홍수(flash flood)의 발생 가능성이 높다. 따라서 시공 중 홍수(월류) 발생을 미리 감지하고 현장에 전파할 수 있는, 수로식(Run-of-river) 수력발전댐 현장을 위한 홍수 조기경보시스템이 필요하며, 이를 리스크 인식, 모니터링 및 경보, 전파 및 연락, 반응 능력 향상의 4가지 부분으로 나누어 구축하였다. 리스크 인식 부분에서는 가물막이댐 월류 발생 상황에 대한 위험도, 취약성, 리스크를 제시하였으며, 모니터링 및 경보 부분에서는 상류 측정수위에서 유도된 현장 예상수위와 실제 현장 측정 수위를 대상으로 경보홍수위와 위험홍수위로 나누어 관리하였다. 전파 및 연락 부분에서는 현장 시공 조직을 활용하여 홍수시를 대비한 비상연락체계도(Emergency communication flow chart)를 운영하였으며, 반응 능력 향상을 위해 비상연락체계도의 팀별 Action plan을 상세화 하였다. 세 번째로 현장의 지질특성과 50여 차례 발파시험으로 현장 고유의 발파진동감쇄곡선을 도출하였으며, 이를 통해 현장의 시공성과 콘크리트 품질 확보를 동시에 달성할 수 있는 방안을 제시하였다. 콘크리트댐 공사에서는 제한된 공기 내에 공사를 완료하기 위해 사면부 굴착과 콘크리트 타설이 동시에 수행될 수밖에 없는 문제점을 가지고 있다. 그러나 신규 콘크리트 타설면 근처에서 발파를 수행하는 경우 발파로 발생되는 탄성파가 일정 수준을 초과하게 되면, 콘크리트 양생에 영향을 주게 된다. 따라서 다수의 현장 발파시험을 통해 발파거리와 최대진동속도의 상관관계 즉, 발파진동감쇄곡선을 도출함으로써 현장의 발파진동특성을 도출할 수 있었다. 또한, 기존 연구 논문들을 통해 콘크리트 재령기간 별 안전진동속도를 선정하고, 해당 안전진동속도를 초과하지 않는 범위에서 콘크리트 타설면과 발파위치의 거리에 따라 1회 발파 가능한 장약량을 산정하여 적용하였다. 이와 같은 체계적인 접근을 통해 콘크리트 타설과 발파 작업 동시 수행에 대한 논란을 해소할 수 있었다.

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Synthetic Trajectory Generation Tool for Indoor Moving Objects (실내공간 이동객체 궤적 생성기)

  • Ryoo, Hyung Gyu;Kim, Soo Jin;Li, Ki Joune
    • Journal of Korean Society for Geospatial Information Science
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    • v.24 no.4
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    • pp.59-66
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    • 2016
  • For the performance experiments of databases systems with moving object databases, we need moving object trajectory data sets. For example, benchmark data sets of moving object trajectories are required for experiments on query processing of moving object databases. For those reasons, several tools have been developed for generating moving objects in Euclidean spaces or road network spaces. Indoor space differs from outdoor spaces in many aspects and moving object generator for indoor space should reflect these differences. Even some tools were developed to produce virtual moving object trajectories in indoor space, the movements generated by them are not realistic. In this paper, we present a moving object generation tool for indoor space. First, this tool generates trajectories for pedestrians in an indoor space. And it provides a parametric generation of trajectories considering not only speed, number of pedestrians, minimum distance between pedestrians but also type of spaces, time constraints, and type of pedestrians. We try to reflect the patterns of pedestrians in indoor space as realistic as possible. For the reason of interoperability, several geospatial standards are used in the development of the tool.

Studies on the Transport of Acetic Acid by Electrodialysis (전기투석에 의한 초산의 이동특성 연구)

  • 최동민;구윤모
    • KSBB Journal
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    • v.11 no.3
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    • pp.360-366
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    • 1996
  • Electrodialysis of acetic acid was studied to find out the trend of the transport of organic acids through ultrafiltration and ion exchange membranes. The net transport rate of acetic acid was determined from the electro-migration velocity relative to the electro-osmotic flow rate through the membrane. Electro-osmosis flows through ultrafiltration membranes were from the anodic side to the cathodic side in the presence of electric field. The surface of ultrafiltration membrane was measured by the electro-osmotic flow to be charged negatively. Different transport behaviors of acetic acid were found with the ultrafiltration membranes of different materials. In general, regenerated cellulose membranes (YM series) were more effective than polysulfone membranes (PM series) for the transport of acetic acid. The transport of acetic acid was affected by electric strength, distance between the electrodes, surface area of electrode, temperature, and pore size of membrane. The transport rate through the ion exchange membrane was 1.5 to 3 times of those through the ultrafiltration membranes at the constant current of 150 mA in the experimental ranges. The transport rate of acetic acid through the ion exchange membrane increased by 10% with a pulse electric field of 10 sec/hr.

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Impacts of Combined Hydrogeological and Chemical Heterogeneities on the Transport of Leachate through Landfill Sites (수리지질학적, 화학적 특성의 복합 불균질성이 매립지반 내 침출수 이동에 미치는 영향)

  • Lee, Kun-Sang
    • Journal of Korean Society of Environmental Engineers
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    • v.31 no.4
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    • pp.300-307
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    • 2009
  • The transport of landfill leachate in the subsurface formations of unlined landfill sites is considered. The impacts of hydrogeological and chemical heterogeneities on the leachate transport are assessed by examining the results from a series of Monte-Carlo simulations. The landfill system simulated in this study is hypothetically represented with three levels of spatial variability for the hydrogeological and chemical parameter; (1) homogeneous hydraulic conductivity (K) and distribution coefficient ($K_d$), (2) K heterogeneity only, and (3) combined heterogeneities of K and $K_d$. To calculate the transport of leachate through negatively-correlated random hypothetical K-$K_d$ fields generated using geostatistical input parameters, a saturated flow model is linked with a contaminant transport model. Point statistic values such as mean, standard deviation, and coefficient of variation of the concentration were obtained from 100 Monte-Carlo trials. Results of point statistics show that the heterogeneities of K and $K_d$ in the landfill site prove to be an important parameter in controlling leachate concentrations. Consideration of combined K and $K_d$ heterogeneities results in enhancing the variability of contaminant transport. The variability in the leachate concentration for different realizations also increases as the distance between source and monitoring well increase.