• 제목/요약/키워드: 마이클슨 간섭계

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유리집적 광 센서 (Integrated-optic sensors in glass)

  • 형창희;김종헌
    • E2M - 전기 전자와 첨단 소재
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    • 제9권5호
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    • pp.518-525
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    • 1996

  • 본 고에서는 유리 집적광센서의 제작에 적합한 유리재료들의 종류와 특성을 설명하였으며, 이들 유리의 종류에 맞도록 개발되어진 제작기술 중에서 이온교환(Ion exchange)방법과 silica-on-silicon(SOS)방법을 소개하였다. 그리고 이러한 공정기술을 이용하여 제작되어진 유리 집적광센서 중에서 물체의 거리를 측정하기 위한 마이클슨 간섭계(michelson interferometer)와 물질의 농도를 측정하기 위한 화학센서(chemical sensor)들을 소개하였다.

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