• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
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• pp.91.2-91.2
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• 2016

반도체 및 디스플레이 등과 같은 전자산업분야에 플라즈마를 이용한 생산공정이 폭넓게 활용됨에 따라서 공정 결과를 예측하고 조절할 수 있는 플라즈마 변수 측정 및 진단기술의 중요성은 더욱 증가되고 있다. 플라즈마 진단을 위해 가장 많이 사용되고 있는 량뮤어 탐침(Langmuir Probe)은 수십 볼트(V)의 전압을 탐침에 인가하여 들어오는 전류(I)를 측정한 I-V curve의 해석을 바탕으로 플라즈마 변수들(전자밀도, 전자온도, 플라즈마 전위, ${\cdots}$)을 측정하는 방법으로 탐침에 인가한 전압으로 인하여 플라즈마가 영향을 받고 이로인하여 공정 결과에 변화를 줄 수 있다. 또한, 증착공정과 같이 공정과정 중에 탐침의 증착으로 인해 탐침으로 들어와야하는 전자 및 이온의 양이 감소하여 측정에 오차가 발생할 수 있어 공정 플라즈마 진단에 적합하지 않다. 따라서 공정 플라즈마의 정확한 측정을 위해서는 플라즈마에 대한 영향을 최소화하고 증착으로 인하여 탐침이 오염 되는 환경에서도 플라즈마 변수를 정확히 측정할 수 있는 진단 장치가 요구된다. 마이크로웨이브를 이용한 진단장치들은 1 mW 이하의 매우 작은 파워를 사용하기 때문에 플라즈마에 영향을 최소화하여 보다 정확한 플라즈마 진단이 가능하다. 또, 유전체 투과특성이 있는 마이크로웨이브를 이용하기 때문에 탐침이 유전체로 증착되었다 하더라도 측정에는 문제가 없어 공정 플라즈마 진단에 용이하다. 이런 장점들로 인하여 헤어핀 탐침(Hairpin probe), 컷오프 탐침(cutoff probe), 임피던스 탐침(Impedance probe) 등과 같이 마이크로웨이브를 이용하여 다양한 형태의 진단 장치들이 개발되었다. 본 발표에서는 마이크로웨이브를 이용한 다양한 형태의 진단 장치들을 소개하고 각각이 가지는 장단점을 정리하여 각 진단장치들이 측정이 적합한 영역을 소개할 예정이다.

• 마이크로전자및패키징학회지
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• 제28권2호
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• pp.39-44
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• 2021

본 논문에서는 밀리미터파 대역에서 헤어핀 타입과 인터디지털 타입 두 종류의 대역통과필터(BPF)를 LCP(Liquid Crystal Polymer)와 PTFE(Polytetrafluoroethylene) 두 종류의 기판을 이용하여 설계 하고 성능을 비교하였다. 제안된 BPF의 통과 대역은 26.5 GHz~27.3 GHz 대역이며, 필터의 차수는 3차로 선택하였다. 제안된 BPF의 성능 비교는 기판 종류와 타입에 따른 대역폭(Bandwidth)과 통과 대역 내 삽입손실(Insertion Loss)과 평탄도(in-band Flatness) 등을 비교하였다. S21이 -3 dB가 되는 대역폭을 비교하였을 때 제안된 4 개의 BPF 중 PTFE 기판에 설계된 인터디지털 타입이 7.8 GHz로 가장 넓게 설계되었으며, LCP 기판에 설계된 헤어핀 타입 BPF가 4.2 GHz로 가장 협소한 대역폭을 가지는 것으로 나타났다. 통과 대역 내 삽입손실은 PTFE 기판에 설계된 헤어핀 타입 BPF가 -0.667 dB 이상으로 가장 우수하고 LCP 기판에 설계된 헤어핀 타입 BPF가 -0.937 dB 이상으로 가장 낮았으나, 0.27 dB의 근소한 차이임을 확인했다. 통과 대역 내 평탄도의 경우 PTFE 기판에 설계된 인터디지털 타입 BPF가 0.017 dB로 가장 우수하였고, LCP 기판에 제작된 헤어핀 타입이 0.07 dB로 가장 낮았으나 0.053 dB의 근소한 차이였다. 따라서, 밀리미터파 대역에서 LCP 기판을 이용한 대역통과 필터는 PTFE 기판을 이용한 대역통과필터와 비슷한 성능을 도출할 수 있을 것으로 사료된다.

• 마이크로전자및패키징학회지
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• 제27권4호
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• pp.25-37
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• 2020

본 연구에서는 그래핀 소재의 전기전도성 및 자기적 특성을 향상시키기 위해 산화그래핀 표면상의 산소를 포함한 기능기와 열처리 환원공정을 이용하여 환원그래핀과 금속소재를 하리브리드화 하였다. 산화 그래핀 표면의 -OH, -COOH 등의 산소 포함 기능기들을 열처리 환원시킴과 동시에 금속이온을 기능기와의 이온교환법에 의해 치환 합성하는 연구를 진행하였다. 하이브리드 소재 합성에 사용된 금속은 Fe, Ag, Ni, Zn, Fe/Ag이며 SEM, TEM 및 EDS를 통해 환원 그래핀 표면 위에 균일한 크기의 금속 입자가 비교적 구형 잘 분산되었음을 확인하였다. 그래핀 표면상의 금속입자들은 모두 산화물 형태의 구조를 가지고 있었다. 하이브리드 소재의 전기적 특성을 확인하기 위해 rGO-metal hybrid 시료를 PET film에 dip-coating 방법으로 후막 필름을 형성시킨 후 면저항을 측정하였고, SEM을 통해 시편의 두께를 측정하여 비저항을 계산한 결과, 비저항의 범위는 2.14×10-5 ~ 3.5×10-3 ohm/cm범위에 있음을 확인하였다.

• 한국전자파학회지:전자파기술
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• 제2권2호
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• pp.11-18
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• 1991

본 논문에서는 임의 형태를 갖는 마이크로스트립 안테나의 해석방법을 살펴보았다. 해석방법은 패치 내부 영역의 문제에 대하여 전송선로 매트릭스 표현법을 적용하였고, 패치 경계상의 문제에는 모멘트법을 적용하였다. 본 해석 방법을 이용하여 원형과 등변삼각혈 마이크로스트립 안테나의 입력임피던스 등 안테나 파라메터를 계산하였고 실험결과와 비교하였다. 모든 결과값들에 대하여 이론 및 실험결과는 좋은 일치를 보였으며, 본 해석 방법의 타당성이 입증되었다. 또한 , 본 해석방법은 단락핀이 삽입되어 있는 마이크로스트립 안테나를 해석하는데 이용될 수 있다.

• 한국기계가공학회지
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• 제14권3호
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• pp.124-130
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• 2015

The purpose of this study is to investigate friction characteristics according to micro-dimple patterns. The surface texturing of micro-dimple patterns was tested to examine the friction of pin-on-disk using flat-on-flat contact geometry. The patterns of both dimple circle and groove pattern were adopted to carry out the effect of those ones. In the low loads, such as 13.8N and 27.7N, the friction coefficients of groove pattern were lower than those of dimple circle pattern. In many other comparisons of normal loads, the groove pattern had lower friction forces, which showed the effect of surface texturing. The relationship between sliding time and friction forces showed that the increase of friction forces of groove pattern were relatively lower than those of dimple pattern. In conclusion, the dimple patterns of dimple-circle pattern and groove pattern strongly contributed to reducing the friction between contacting materials.

• Composites Research
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• 제35권2호
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• pp.98-105
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• 2022

본 연구에서는, 미세유체 시스템 기반 폴리바이닐알코올(PVA)/그래핀 옥사이드(GO)/산화철(Fe₃O₄) 자성 마이크로겔을 제조하고 겔의 염료 흡착성능을 평가하였다. 겔의 흡착성능(q_e)은 염료의 농도, pH, 및 접촉시간을 변수로 하여 평가하였다. 사용된 염료는 메틸렌 블루(MB), 크리스탈 바이올렛(CV), 말라카이트 그린(MG)이며, 마이크로겔은 메틸렌 블루에 대해 가장 높은 흡착성능(191.1 mg/g)을 나타내었다. pH에 따른 겔의 흡착성능은 염료가 가지고 있는 atomic nitrogen 이온(N⁺)의 영향으로 모든 염료에서 pH가 10일 때 가장 높은 흡착성능을 나타냈다. 등온흡착 데이터분석을 통해 Langmuir 등온선의 일치도가 높아 단분자층 흡착임을 확인하였으며, 동역학적 분석에서는 유사 1차 반응 보다 유사 2차 반응의 일치도가 높아 화학흡착임을 확인하였다. 또한, 자성 마이크로겔의 회수와 겔표면에 흡착된 염료의 탈착을 통한 재사용 성능을 평가하였는데, 흡착성능은 흡·탈착 5회동안 70% 이상의 성능을 유지하는 것으로 나타났다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2010년도 추계학술대회 논문집
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• pp.1027-1028
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• 2010

• 설비공학논문집
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• 제13권7호
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• pp.602-611
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• 2001

Experiments on the condensation heat transfer characteristics inside a smooth and a microfin tube with R410A/R22 are performed in this study. The test tubes 7/9.52 mm in outside diameters and 3m in length are used. Varying the mass flux of the refrigerant and the condensation temperatures, the average heat transfer coefficients and pressure drop are investigated. Most flows in this study are in the annular and/or wavy flow regime. It is shown that the heat transfer is enhanced and the pressure drops are larger in the microfin tube than the smooth tube. From the heat transfer enhancement coefficients and the pressure drops, it is found that the high heat transfer enhancement factors are obtained in the range of small mass flux while the penalty factors are almost equal. Experiments results show that average heat transfer coefficients of R410A is larger than that of R22 and pressure drop of R410A is less than R22.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 1996년도 하계학술대회 논문집 C
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• pp.1950-1953
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• 1996

A $1\;{\times}\;4$ micro mirror array is designed and fabricated. In contrast to other micro mirrors which utilize torsional flexure hinges or cantilevers for restoring torque and supporting purpose, we have placed a substrate hinge structure under each mirror. Each micro mirror consists of address electrode, substrate hinge consisting of pin and staple, supporter post, and mirror plate. Electrical connection between mirror plate and ground electrode is established by substrate hinge. Mirror undergoes a rotational motion due to electrostatic force when voltage difference is applied between address electrode and mirror plate. Micro mirrors with two different types of staple shape and two different pin sizes are designed and fabricated. Each mirror is designed to have ${\pm}\;10^{\circ}$ of deflection angle and have $100\;{\times}\;110\;{\mu}m^2$ of size.

• 한국공작기계학회:학술대회논문집
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• 한국공작기계학회 2004년도 추계학술대회 논문집
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• pp.500-504
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• 2004

The bio-micro pin has been usually used for the biochemistry analysis. The manufacturing capability of the micro-pin and the their array with the effective and low-cost way is very important and it gives great economical benefits to developers. The micro-pin is composed of the sample channel for holding the liquid with the fixed volume, the flat tip which determines the printing quality and the pin head for preventing the rotation of the pin in the holder. In this study, we have manufactured newly designed micro-pins by the wire-EDM process with special jigs, and analyzed liquid holding and printing characteristics with respect to the variation of the shape and the tip size of the micro-pin.