The spring constant of a micro coil spring was measured by uniaxial tensile test. The inner diameter of it is $35{\mu}m$ and the pitch size is about $23{\mu}m$. A suing constant measurement system was developed. It consists of control units, load cell units, linear stages and several specially designed jigs and fixtures. Load and displacement are measured using a commercial load cell of 1000g capacity and a magnetic scale of $0.5{\mu}m$ resolution. In this study, a method to measure the spring constant of micro coil spring is presented and the relationship between misalignment of specimen and measurement error is discussed.
현재 전자기기의 소형화 추세에 맞물려 수동 소자중의 하나인 트랜스포머의 소형화가 큰 이슈가 되고 있다. 본 논문에서는 실리콘 웨이퍼 위에 트랜스포머와의 절연층을 삽입 하여 기판의 에디 커런트로 오는 멤돌이 손실의 영향을 줄이고 중간 코어를 투자율이 높은 퍼멀로이로 설계하여 1차 코일과 2차 코일의 턴수의 비를 기준으로 1:1 인 트랜스포머 (3/3, 5/5, 7/7)의 인덕턴스 및 상호 인덕턴스를 시뮬레이션 하였다. 트랜스포머의 최대 크기는 $1mm\;{\times}\;1.95mm$이고 선폭과 선간 간격, post의 높이는 각각 50um 이다. 이때 삽입 손실은 10GHz에서 0.12dB의 낮은 손실 값을 나타내었다.
Recent issue of optical actuator is applying to mobile device. It leads actuator to become smaller than conventional type. This paper proposes the design of micro actuator plate spring and analysis of its vibration characteristic. Considering natural frequency of spindle motor, 1st and 2nd eigenfrequency of micro actuator must avoid its natural frequency. First, magnetic circuit is designed by using fine pattern coil and magnetic force is acquired by simulation program. Then, concept design is achieved by topology optimization. From concept design, micro actuator plate spring is embodied through DOE(design of experiment). Finally, considering vibration characteristic simultaneously, optimal plate spring design is determined by RSM(response surface method).
폴리비닐알코올(poly(vinyl alcohol), PVA) 마이크로피브릴(microfibrils)을 금속 색전코일을 대체할 수 있는 고분자 색전코일에 적용하기 위해 벌크중합으로 폴리피발산비닐(poly(vinyl pivalate), PVPi)을 제조하고 비누화 공정에서 방사공정 없이 중합도가 1100 교대배열 다이애드(diad)기 함량 60.4%인 교대배열 PVA(syndiotactic PVA, s-PVA) 마이크로피브릴을 제조하였다. 또한 별도의 조영제의 투여가 불필요한 마이크로피브릴 제조를 위해 방사선불투과성 물질인 이산화지르코늄과 황산바륨을 비누화 공정에서 첨가하여 방사성불투과성 교대배열 PVA 마이크로피브릴을 제조하였고, 무기입자 함유 s-PVA 마이크로피브릴의 computed tomography(CT) value 값 측정 결과 이산화지르코늄의 함량이 12 wt% 이상에서, 황산바륨은 6 wt% 이상에서 1000 이상의 우수한 방사선불투과성을 나타내는 것을 확인하였다.
전기도금 방법으로 유리기판 위에 제작한 코일과 영구자석을 이용하여 초소형발전기를 제작하였다. 여러 크기의 코일 구조를 설계한 마스크를 제작하고, 이를 이용하여 MEMS 코일을 제작하였다. 그 중 두께가 $7{\mu}m$ 선폭이 $20{\mu}m$ 길이가 1.6 m인 코일을 선택하여 실험하였다. 광학현미경과 SEM을 사용하여 제작된 코일의 구조를 분석하였다. 또한 모터의 회전운동을 진동운동과 유사한 선형운동으로 변환하는 진동발생시스템을 제작하였고, 자석과 코일을 진동발생장치에 설치하고 진동을 발생시키면 교류 전압이 발생한다. 0.5Hz에서 8Hz까지 진동주파수를 변화시켜 특성을 측정하였다. 발생된 전압은 3Hz에서 106mV가 발생하였고, 6Hz에서 198mV가 발생하였다. 본 연구의 목적은 쓸모없이 버려지는 진동에너지를 유용한 전기에너지로 변환하는 초소형발전기 소자를 제작하는 것이다.
본 논문에서는 UHF 대역에 적합한 준-야기 안테나 설계방법에 대해 연구하였다. 코플래너 스트립으로 급전되는 평면 다이폴과 그에 근접하는 도체 스트립 도파기는 상호결합에 의해 광대역 다이폴 특성을 갖는다. 접지면 반사기는 저주파 대역의 이득을 개선할 수 있고, 반사기를 접어서 안테나 크기를 감소시킬 수 있다. 마이크로스트립과 코플래너 스트립 간 밸런은 마이크로스트립 선로 종단을 코플래너 스트립에 단락 핀으로 연결하여 구성하였으며, 코플래너 스트립 선로와 반사기를 원형 링도체로 연결하였다. 안테나의 여러 가지 파라미터들과 밸런이 안테나 특성에 미치는 영향을 관찰하였다. 제안된 구조의 안테나를 지상파 DTV 방송 주파수대역인 470-806 MHz 대역에서 동작하도록 설계하였다.
PCB제작방법으로 제작한 4층 사각코일과 Nd 영구자석을 이용하여 초소형발전기를 제작하였다. 선폭이 $100{\mu}m$로 제작된 4층 사각코일의 크기는 두께가 1.6 mm 면적이 $1{\times}1cm^2$ 와 $2{\times}2cm^2$이다. 진동발생장치를 제작하고 코일위에서 Nd 영구자석을 수평으로 움직여 교류전압을 발생시켰다. 진동수를 0.5 Hz에서 7 Hz까지 변화시키면서 전압 값을 측정하였다. 5.5 Hz의 진동을 발생시켜 $1{\times}1cm^2$의 크기의 코일에서 62 mV의 교류전압이 발생하였고 $2{\times}2cm^2$의 크기의 코일에서 245 mV의 교류전압이 발생하였다. 7 Hz의 진동수에서 $2{\times}2cm^2$의 크기의 코일에서 320 mV의 교류전압이 발생하였고 채배정류회로를 이용할 때는 7 Hz의 진동수에서 400 mV의 직류전압이 발생하였다.
본 논문에서는 한국의 전파환경을 도시 계획법에서 지정한 지역세분을 기초로 4개의 대분류와 8개로 소구분하여 Kor-231 모델을 제안하였다. 전파전파 특성을 측정하기 위해 슬라이딩 코릴레이션 기법을 이용한 대역확산 송${\cdot}$수신 방식으로 구현하여 수신전력, 평균 초과지연 그리고 RMS 지연확산을 가장 도시계획적으로 개발된 공업 지역과 주거지역에서 직선 도로에 마이크로셀을 배치하여 도로를 따라 진행하는 LOS와 건물들로 둘러쌓인 N-LOS에서 측정된 데이터를 분석하여 한국의 전파환경에서 잘 적용됨을 확인 하였다.
회전기기의 운전 상태에서 on-line 부분 방전시험은 고정자 권선의 절연상태를 검사, 평가 할 수 있는 중요한 수단으로서 이러한 부분방전시험을 통하여 회전기기 시스템의 사고예방을 위한 진단을 할 수 있다. 기존의 비접촉식 센서인 SSC는 부분방전 측정을 위하여 권선의 웨지 아래에 설치하는 방식으로 개발되어 [1], 설치가 불편하고 Global VPI 방식으로 제작된 소형 회전기에는 설치할 수 없는 단점이 있다. 본 논문에서는 소형 회전기에 사용가능한 저, 고주파용 부분방전 센서를 제안하였다. 웨지 위에 설치 가능한 SSC 형태의 마이크로스트립 센서 및 전송선로 이론을 이용한 2선 평행 전송선로 센서는 값이 싸고 소형 회전기에 설치할 수 있을 정도의 크기를 지니며, 기본적으로 센서의 구조가 고주파 웨이브가이드로서 고주파용 센서로 적합하다. 또한 저주파 신호를 검출하기 위한 센서로 로고우스키 코일 형태의 U 타입 센서는 와전류를 검출하는 센서로서 슬롯 외부에 설치 되어야 한다. 이러한 U 타입 센서와 마이크로스트립 센서 또는 2선 평행 전송선로를 동시에 설치할 경우 저, 고주파를 효과적으로 검출할 수 있다.
This paper describes a MEMS-based micro-fluxgate magnetic sensing element using Ni$\_$0.8/Fe$\_$0.2/ film formed by electroplating. The micro-fluxgate magnetic sensor composed of a thin film magnetic core and micro-structured solenoids for the pick-up and the excitation coils, is developed by using MEMS technologies in order to take advantage of low-cost, small size and lower power consumption in the fabrication. A copper with 20um width and 3um thickness is electroplated on Cr(300${\AA}$)/Au(1500${\AA}$) films for the pick-up(42turn) and the excitation(24turn) coils. In order to improve the sensitivity of the sensing element, we designed the magnetic core into a rectangular-ring shape to reduce the magnetic flux leakage. An electroplated permalloy film with the thickness of 3 $\mu\textrm{m}$ is obtained under 2000Gauss to induce magnetic anisotropy. The magnetic core has the high DC effective permeability of ∼1,100 and coercive field of -0.1Oe. The fabricated sensing element using rectangular-ring shaped magnetic film has the sensitivity of about 150V/T at the excitation frequency of 2MHz and the excitation voltage of 4.4Vp-p. The power consumption is estimated to be 50mW.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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