• 대한기계학회:학술대회논문집
• /
• 대한기계학회 2008년도 추계학술대회A
• /
• pp.1821-1824
• /
• 2008

A novel in-mold packaging process has been developed to manufacture devices with closed channels. In this unified process, fabrication of open channels and forming the rigid cover on top of them are sequentially integrated in the same mold. The entire process is comprised of two phases. In the first phase, the open channels are fabricated under an exquisitely controlled temperature and pressure using the conventional micro injection molding technology. In the second phase, the closed channels are fabricated by conducting the injection molding process using the molded structure with the open channels as a mold insert. As a result, the in-mold technology can eliminate the bonding processes such as heating, ultrasonic or chemical processes for cohesion between the channel and the cover, which have been required in conventional methods.

• 한국정밀공학회지
• /
• 제23권2호
• /
• pp.138-145
• /
• 2006

An injection molding is necessary to mass-product for micro-nano system, so micro-nano mold must be developed for injection molding. The micro-nano mold has precision and strength to overcome a surround of injection. So in this paper, two methods were used. First, after etching the Al, Ni was electroplated in etched AI. The other, LIGA method was used. A temperature and thickness of Ni are important factors in these methods. So after fabrication, the simulation was processed to find optimal thickenss of Ni and temperature.

• 한국소성가공학회:학술대회논문집
• /
• 한국소성가공학회 2008년도 춘계학술대회 논문집
• /
• pp.258-262
• /
• 2008

Micro forming is a suited technology to manufacture very small metallic parts(several $mm{\sim}{\mu}m$). In this study, the micro forming property was studied, using Al5083 superplastic alloy with micro grain, suitable for the micro forming process and Zr-BMG amorphous with pseudo-superplastic phenomena in the supercooled liquid state. Micro forming experiments under stastic load status showed that distortion by slip and spin of the grain system and slip inside the grain was observed in the Al5083 superplastic alloy. In case of Zr-BMG, because there is no grain, the distribution of the forming property was similar to the load distribution between punch and metal.

• 대한기계학회논문집A
• /
• 제31권5호
• /
• pp.556-561
• /
• 2007

The rapid thermal response(RTR) molding is a novel process developed to raise the temperature of mold surface rapidly in the injection stage and then cool rapidly to the ejection temperature by air or water. The objectives of this paper are to investigate the effect of mold temperature, pressure and thickness of micro pattern molding and to provide a optimization of RTR injection molding for micro pattern from Moldflow simulation. Optimal minimum temperature and pressure was found without shortcut according to thickness. Filling percentage was influenced by glass transition temperature with the kinds of resin. Optimal temperature is slightly higher than glass transition temperature irrespectively of pressure, thickness, the kinds of resin in the micro pattern molding.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
• /
• 한국정밀공학회 2008년도 추계학술대회 논문집
• /
• pp.261-262
• /
• 2008

• 마이크로전자및패키징학회지
• /
• 제3권1호
• /
• pp.49-56
• /
• 1996

저유전 상수와 저온 소성이 가능한 기판 재료의 제조를 위해 sol-gel법으로 borosilicate/Si3N4 Microcomposite 분말을 합성하였다. Microcomposite 분말의 조성은 borosilicate/Si3N4의 부피비로 50/50, 60/40 및 70/30을 선택하였다. Microcomposite의 성형 체는 건식가압법으로 성형하여 700~100$0^{\circ}C$에서 2시간 동안 소결하였다. Microcomposite 의 미세구조는 SEM과 TEM으로 관찰하였고 소결체의 유전 상수와 밀도를 측정하였다. Microcomposite은 85$0^{\circ}C$ 근처에서 치밀화가 일어나고 유전상수는 약 4.2였다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
• /
• 한국정밀공학회 2008년도 추계학술대회 논문집
• /
• pp.75-76
• /
• 2008

• 한국분말야금학회:학술대회논문집
• /
• 한국분말야금학회 2003년도 춘계학술강연 및 발표대회
• /
• pp.68-68
• /
• 2003

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
• /
• 한국정밀공학회 2012년도 추계학술대회 논문집
• /
• pp.465-466
• /
• 2012

• Composites Research
• /
• 제20권5호
• /
• pp.49-55
• /
• 2007

반도체 쿼츠 웨이퍼 다이싱용 블레이드는 마이크로/나노 디바이스와 부품을 제조하기 위해 고정밀도의 가공성을 요구한다. 따라서 균일한 마이크로/나노 선폭의 가공을 위해서는 블레이드의 제작 단계에서 균일한 두께와 밀도를 유지하는 것이 중요하다. 기존의 실리콘웨이퍼 가공을 위해서는 금속의 블레이드가 사용되고 있지만 쿼츠 웨이퍼 가공을 위해서는 고분자 복합재가 사용된다. 이러한 복합재는 가공성, 전기전도성, 그리고 적절한 강도와 연성 및 마모저항성이 있어야 한다. 그러나 기존의 건식성형 공정으로는 균일성을 유지하기 위해 많은 공정과 비용이 소비되고 있다. 본 연구에서는 도전성 나노 세라믹스 분말, 연마재 세라믹스 분말에 열경화성 수지, 전도성 고분자를 혼합한 복합재 분말을 습식성형 공정에 의해 제조, 평가하는 연구를 수행하였다. 먼저 복합재 분말을 액상과 혼합하여 블레이드를 제작하였으며, 액상의 종류, 액상 건조공정의 영향을 고찰하였다. 평가는 마이크로미터 측정기와 현미경을 이용하여 두께를 측정하였다. 두께편차와 기공률, 밀도, 경도, 등의 특성을 비교, 평가하였다. 그 결과 습식성형에 의해 블레이드의 두께편차를 감소시킬 수 있었으며, 경도 등의 특성을 향상시킬 수 있었다.