• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2009.05a
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• pp.269-270
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• 2009

본 연구는 윤활첨가제에 의한 반도체재료 가공용 다이아몬드 마이크로 블레이드의 절삭성능 향상과 수면연장을 위한 기술개발을 목표로 한다. 마이크로 블레이드와 피 절삭재 사이의 마찰특성의 향상, 그로인한 절삭성능의 향상 등에 미치는 윤활제의 종류와 그 효과를 규명하기 위하여 Cu/Sn계열 다이아몬드 마이크로 블레이드용 결합제에 흑연과 $MoS_2$를 통일한 부피분율로 첨가한 시편을 만들고, 기계적 특성평가와 순간전력소모로 평가하는 절삭성능시험, 블레이드의 마모량 측정을 통한 내구성 실험을 행하였다. 그 결과 기계적 특성과 밀접한 내마모성에 기인한 수명의 관점에서 $MoS_2$를 첨가한 경우가 흑연을 첨가한 경우보다 더 효과적으로 나타났다. 절삭할 때 필요한 순간전력소모로 평가한 절삭성능 평가에서는 동일한 부피분율의 윤활제가 첨가된 경우 차이는 비교적 미미하였다.

• Journal of Power System Engineering
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• v.5 no.1
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• pp.73-79
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• 2001

정전기력을 이용하는 마이크로가속도계 센서는 단결성 실리콘 SOI(Silicon On Insulator) 웨이퍼의 기판에 절전재료 적층과 등방성 및 이방성 부식공정으로 제작한다. 마이크로가속도 센서 개발에는 3차원 미소구조체의 제작공정에서 가열 및 냉각공정의 온도구배로 야기되는 포핑업과 같은 열변형 해석이 최적 형상설계에 중요한 요건이다. 본 연구에서는 양자역학적 현상인 턴널링전류 원리로 승용차 에어백의 검침부 역할을 하는 마이크로가속도 센서의 제조공정에서 소착현상을 방지하는 부가 비임과 턴널갭의 FIB 절단가공과 백금 적층공정의 열적 거동을 해석한다. 마이크로머시닝 공정에서 온도의존성을 고려하여 연성해석하고 유한요소법의 상용코드인 MARC K6.1로 분석한 결과를 단결정 실리콘 웨이퍼로 가공하는 마이크로가속도 센서의 최적공정 및 형상설계를 위한 기초자료로 활용될 수 있을 것으로 기대된다.

• Proceedings of the KSME Conference
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• 2001.06b
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• pp.158-163
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• 2001

Operators suffer much difficulty in manipulating micro/nano-sized objects without the assistance of human interfaces, due to the scaling effects in micro/nano world. This paper presents a micro manipulation system based on the teleoperation techniques which enables the operators to manipulate the objects with ease by transferring both human motion and manipulation skill to a micromanipulator. An experimental setup consisting of a micromanipulator operated under stereo-microscope with the help of intelligent user interface provides a tool that can be used to visualize and manipulate micro-sized 3D objects in a controlled manner. The key features of a micro manipulation system and control strategies using teleoperation techniques for handling micro objects are presented. Experimental results demonstrate the feasibility of this system in precisely controlling trapping and manipulation of micro objects based on teleoperation techniques.

• Proceedings of the KSME Conference
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• 2001.06e
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• pp.169-174
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• 2001

This paper reports on the development of high aspect ratio structure and 3-D integrated process for MEMS-based micro gas turbines. To manufacture high aspect ratio structures, Deep Reactive Ion Etching (DRIE) process have been developed and optimized. Specially, in this study, structures with aspect ratios greater than 10 were fabricated. Also, wafer direct bonding and Infra-Red (IR) camera bonding inspection systems have been developed. Moreover, using glass/silicon wafer direct bonding, we optimized the 3-D integrated process.

• Journal of the Korean Society of Manufacturing Process Engineers
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• v.21 no.4
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• pp.77-83
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• 2022

Amorphous alloys exhibit excellent mechanical properties; therefore, application technology development is being attempted in various fields. However, industrial use of application technology is limited owing to the limitations in fabrication. In this study, micropattern fabrication of an amorphous alloy was conducted using laser beam machining. Although microhole fabrication is possible without the deformation of the amorphous phase through nanosecond pulsed laser beam machining, there are limitations in the generation of recast layers and spatters. In cover plate laser beam machining (c-LBM), a cover plate is used to reduce the thermal deformation and processing area. Therefore, it is possible to fabricate holes at the level of several micrometers. In this study, it was confirmed that recast layers are hardly generated in c-LBM. Furthermore, square-shaped micropatterns were successfully fabricated using c-LBM.

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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• v.27 no.7
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• pp.901-908
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• 2003

Numerical study on stirring characteristics in a microchannel with blocks arranged periodically has been performed. Viscous flows through the microchannel is simulated three-dimensionally using a commercial code, FLUENT 6.0. Focus is given to the effect on the stirring characteristics of the geometric factors including the pitch, height and angle of the block arrangement. The numerical results at low Reynolds numbers show that the particles' trajectories in the microchannel heavily depend on the block arrangement. A nonlinear dynamical tool, i.e. Lyapunov exponent, was used in analysing the mixing effect. It was found that the mixing is the most effective at a certain combination of parameter values.

• 유체기계공업학회:학술대회논문집
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• 2006.08a
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• pp.301-304
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• 2006

This paper presents a review of the important recent literature available in the area of micro-channel flow analysis and mixing. The topics covered include the physics of flows in micro-channels and integrated simulation of micro-channel flows. Also the flow control models and electro-kinetically driven micro-channel flows are explained. A comparison of various mixing principles in micro-channels are provided in sufficient detail.

• Journal of the KSME
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• v.52 no.5
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• pp.51-55
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• 2012

이 글에서는 인쇄전자산업에 활용되는 전자 잉크 및 페이스트 소재의 핵심 기능을 담당하는 기능성 나노 및 마이크로 입자를 제조하는 기술을 물리 화학적 방법으로 구분하여 소개하고자 한다.

• Journal of the KSME
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• v.51 no.9
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• pp.40-44
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• 2011

이 글에서는 분말형태가 아닌 고체형태(bulk)의 고에너지 금속물질을 레이저 조사를 통하여 효율적으로 점화시키는 방법에 대하여 소개하고자 한다.

• Proceedings of the KSME Conference
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• 2005.11a
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• pp.160.1-160.1
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• 2005