• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 2009.11a
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• pp.46.1-46.1
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• 2009

산업이 점차 발달함에 따라 발생하는 환경오염으로 인해 인간의 삶에 있어 불가분의 관계에 있는 물에 대한 관심이 지속적으로 높아지고 있는 추세이다. 각종 질병의 요인이 되는 박테리아는 주로 물을 운송 매개체로 하기 때문에 이로 인한 물의 오염으로 인도의 경우 모든 질병 발생의 80%를 차지하는 것으로 세계보건기구(WHO)에 의해 보고되었다. 현재까지물 또는 공기의 항균 및 살균 정화를 위해 화학적, 생물학적 방식 등 다양한 기술이 개발되었으나 박테리아와같은 세균제거에는 무리가 있는 실정이다. 따라서 본 연구에서는 여러 물질 중에서도 특히 항균작용(Antibacterial activity)이 탁월한 은(Ag)을 나노입자화하여 in-situ 코팅을 통한 다공성 알루미늄 하이드록사이드 나노복합재의 제조함으로써 생물학, 생체의용공학, 약학 등에 응용될 수 있는 새로운 형태의 항균재료제조방법을 제안하였다. 우선, 다공성 알루미늄 하이드록사이드기판은 알루미늄 기판에 알칼리 표면개질을 실시함으로서 표면에 마이크로포어가 형성된 알루미늄 하이드록사이드 기판을 제조하였다. 이렇게 제조된 다공성 기판에 Polyol 공정으로 은나노입자를 합성 및 분산시킴으로서 in-situ로 은나노입자가 분산된 알루미늄 하이드록사이드 나노복합재 기판을 만들수 있었다. 본 연구를 통하여 제조된 은나노입자가 분산된 알루미늄 하이드록사이드 나노복합재 기판은 주사전자현미경(SEM) 및 투과전자현미경(TEM)을 통하여 미세구조와 상분석을 실시하였으며 X선 광전자분석(XPS)를 이용하여 기판 표면의 화학적 상태를 분석하였다.

• Polymer(Korea)
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• v.38 no.1
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• pp.74-79
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• 2014

Microfibrillated cellulose (MFC) was chemically modified with two different silane coupling agents (3-aminopropyltriethoxysilane and 3-mercaptopropyltriethoxysilane) and lauroyl chloride. The surface modification of MFC was confirmed by infrared spectroscopy (FTIR), energy dispersive X-ray spectroscopy (EDX), and contact angle measurements. Composite paper was successfully prepared with surface modified MFC and polyamide (PA) fiber. The surface modification of MFC not only prevented aggregation of MFC but also improved adhesive property between PA fiber and surface modified MFC. It was impossible to prepare papers of only PA fiber because there is no binder to connect PA fibers. That is, surface modified MFC as a binder in PA fiber played a crucial role in making composite paper. Composite paper with silane modified MFC showed higher tensile strength and modulus than composite paper with lauroyl moiety modified MFC. The structure, morphology, and mechanical properties of composite paper were analyzed by scanning electron microscope (SEM) and universal testing machine (UTM).

• Journal of Internet of Things and Convergence
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• v.8 no.1
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• pp.23-29
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• 2022

The product to be developed in this study is a heat recovery device which generates steam or hot water at high temperature and high pressure by heating water using exhaust gas from diesel engine, gas engine, gas turbine, etc. as an exhaust gas boiler off heat boiler(EGB) type for ship and power generation. The steam vapor or the created warm water is used as the power source required for the steerage heating and hot water facility or the HFO heating of the ship, and the turbine drive. The principle of waste heat boilers serves to heat water as high temperature exhaust gas with heat pass through the tube of the boiler. The heated water is a structure that is sent to a cabin or turbine device in the form of steam. In this study, the objective of this study is to maximize the efficiency by increasing the heat transfer surface by replacing the tube which is the heat transfer part of EGB with the plate tube.

• Polymer(Korea)
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• v.39 no.1
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• pp.56-63
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• 2015

The object of this study is to prepare microcapsules containing a diisocyanate compound, apply them to self-healing protective coating, and evaluate the self-healing capability of the coating by atmospheric moisture. Isophorone diisocyanate (IPDI) polymerized under humid atmosphere, indicating that IPDI can be used as a healing agent. Microencapsulations of IPDI were conducted via interfacial polymerization of a polyurethane prepolymer with diol compounds. The formation of microcapsules was confirmed by Fourier-transform infrared (FTIR) spectroscopy and nuclear magnetic resonance (NMR) spectroscopy. The mean diameter, size distribution, morphology and shell wall thickness of microcapsules were investigated by optical microscopy and scanning electron microscopy (SEM). The properties of microcapsules were studied by varying agitation rates and diol structure. The self-healing coatings were prepared on test pieces of CRC board. When scratch was generated in the coatings, the core material flew out of the microcapsules and filled the scratch. The self-healing coatings were damaged and healed under atmosphere with 68~89% relative humidity for 48 h, and SEM and impermeability test for the specimens showed that the scratch could be healed by atmospheric moisture.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2016.02a
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• pp.158-158
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• 2016

최근 유연정보전자소자의 개발이 대두되고 있다. 이러한 개발 동향에 맞춰 정보전자소자의 각 소재를 유연화하는 연구가 진행되고 있다. 이 중 ITO 기반의 기존 투명전극은 투명전극으로써는 매우 높은 성능을 보이지만, 유연성이 매우 낮기 때문에 대체 투명전극에 대한 연구가 필수적이다. 그래핀, 전도성 고분자, Oxide/metal/oxide, 금속나노와이어 등 다양한 유연 투명전극에 대한 연구가 진행되고 있으나 ITO 급의 면저항/투과도를 얻지 못하고 있다. 은나노와이어는 ITO 대체로 주목받는 투명전극 중에 면저항/투과도가 가장 ITO에 유사하면서, 유연성까지 지니고 있는 장점을 가지고 있다. 반면 약 100 nm 직경의 1차원 나노와이어가 랜덤하게 분포되어 있기 때문에, 위치별로 균일성에 대한 이슈가 존재하고, 표면 조도가 매우 높기 때문에 (ITO ~ 1 nm, AgNW > 20 nm) OLED에 적용하기 어려운 문제가 존재한다. 또한 대면적 OLED에 적용하기에는 여전히 저항이 높은 문제가 존재한다. 본 연구에서는 이러한 은나노와이어의 높은 저항 문제를 해결하기 위해, 마이크로 급의 미세금속배선을 보조배선으로 도입하였다. 이러한 보조배선을 통해 대면적 소자에도 전류가 잘 흐를 수 있고, 이러한 전류가 은 나노와이어를 통해 소자 전면적에 균일하게 도달하여, 대면적에서 균일한 발광을 하게 된다. 본 은나노와이어/금속보조배선 구조는 면저항 4 ohm/sqr., 투과도 90%를 달성하였고 이는 기존 ITO보다 우수한 수치이다. 더욱이, 유연성까지 함께 확보하고 있어 유연 전극으로써의 활용도 충분히 가능하다. 이를 활용해 OLED를 제작한 결과 밝기와 발광균일도가 기존의 ITO를 활용한 것보다 훨씬 높아짐을 확인할 수 있었다.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2005.11a
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• pp.356-357
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• 2005

Chemical mechanical polishing (CMP) allows the planarization of wafers with two or more materials at their surfaces. Especially, polishing pad is considered as one of the most important consumables because of its properties. Subject of this investigation is to apply CMP for planarization of shallow trench isolation structure using microstructure pad. Microstructure pad is designed to have uniform structure on its surface and fabricated by micro-molding technology. And then STI CMP performances such as oxide dishing and nitride corner rounding are evaluated.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.16 no.10
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• pp.11-16
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• 1999

In this study, Ultra-precision finishing system using micro abrasive film experimented using experimental variable film feed speed and grinding speed and structural steel(SM45C) with respect to 12~3{\mu}m$ micro abrasive film. the result are follows; (1) Experimental condition must setup dissimilar about each micro abrasive film. (2) To measurement deviation the smallest machined condition are 20mm/min in 12{\mu}m$, 5mm/min and 15mm/min in 9{\mu}m$ and 5{\mu}m$, 5mm/min in 3{\mu}m$ in film feed speed. (3) To measurement deviation the smallest machined condition are 180m/min in 12{\mu}m$, 84m/min in 9{\mu}m$, 56 and 84m/min in 5{\mu}m$, 104m/min in 3{\mu}m$ in grinding speed.

• Proceedings of the International Microelectronics And Packaging Society Conference
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• 2002.05a
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• pp.173-176
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• 2002

B $i_{3.3}$L $a_{0.7}$ $Ti_{3}$ $O_{12}$(BLT) 강유전체 박막을 Pt/Ti/ $SiO_2$/Si 기판위에 졸-겔법 (sol-gel method) 으로 스핀코팅하여 Metal-Ferroelectric-Metal(MFM) 구조의 커패시터를 형성하였다. BLT 박막의 결정성은 후속열처리 온도가 증가할수록 향상되었으며 $R_{근}$값은 as~coated된 BLT 박막의 경우 3.8$\AA$를 나타내었으나 열처리 온도를 $700^{\circ}C$로 증가한 경우 12.9$\AA$으로 거칠은 표면형상으로 변화되었다. $650^{\circ}C$로 열처리된 BLT 박막의 잔류분극 2Pr ($\pm$($P^{*}$ -$P^{ ^}$))값은 5V 인가전압에서 약 29.1 $\mu$C/$cm^2$을 나타내었다. 또한 $10^{10}$ 스위칭 cycles 가지 분극 스위칭을 반복한 후에도 뚜렷한 잔류분극의 변화를 발견할 수 없어서 우수한 피로특성을 나타내었다. 3V 전압에서 BLT 박막의 누설전류는 약 2.2$\times$$10^{-8}$ A/$cm^2$를 나타내었다.내었다.었다.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2005.07a
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• pp.651-652
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• 2005

Chemical mechanical polishing (CMP) has emerged as the planarization technique of choice in integrated circuit manufacturing. Especially, polishing pad is considered as one of the most important consumables because of its properties. Generally, conventional polishing pad has irregular pores and asperities. If conditioning process is except from whole polishing process, smoothing of asperities and pore glazing occur on the surface of the pad, so repeatability of polishing performances cannot be expected. In this paper, CMP pad with microstructure was made using micro-molding technology and repeatability of ILD(interlayer dielectric) CMP performances and was evaluated.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.08a
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• pp.234-234
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• 2013

VOx 박막은 마이크로볼로미터 적외선 센서의 감지재료로 주로 사용된다. 일반적으로 VOx 박막은 RF sputtering 방법으로 증착이 되며, 이 때 저항 값은 수 kohm~수 Mohm, TCR 값은 -1.5~-2.0%/K까지 다양하게 변화되어 나타난다. 이는 산소의 phase가 여러가지로 변화되기 때문에 재현성이 떨어지는 단점이 있으며, 결정성있는 박막을 증착하기 어려운 문제들이 있다. 본 연구에서는 VOx 박막의 재현성 및 재료의 안정성을 위해 ZnO 물질을 첨가하여 sandwich 구조의 나노박막을 증착하여 산소 열처리를 통해 산소의 phase가 어떻게 변화되는가를 XRD 측정을 통해 조사하였다. ZnO 나노박막을 첨가함으로써 갓 증착되었을 때의 XRD는 V2O5 주된 상을 이루고 있었으며, 산소열처리에 의해 VO2상이 나타남을 알 수 있었다. 또한 V2O5 phase가 표면쪽의 얇은 층에서 주로 나타나고, 중간층은 V2O5와 VO2 phase 가 혼합된 형태로 존재함을 X-ray diffraction 분석을 통해 알 수 있었다. 또한 GIXRD 측정을 통해 깊이에 따른 혼합 phase가 주로 VO2에 의해 형성된 것임을 확인할 수 있었다. 또한 산소열처리의 온도 및 시간에 따라 XRD 특성을 조사하였으며, 최적의 열처리 조건을 XRD 피크를 통해 찾고자 하였다.