• Journal of Sensor Science and Technology
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• v.9 no.5
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• pp.334-340
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• 2000

This paper presents the fabrication of a micro electromagnetic flow sensor for the liquid flow rate measurement. The micro electromagnetic flow sensor has some advantages such as a simple structure, no heat generation, a rapid response and no pressure loss. The principle of the micro electromagnetic flow sensor is based on Faraday's law. If conductive fluid passes through a magnetic field, the electromotive force is generated and detected by two electrodes on the wall of the flow channel. The flow sensor consists of two permanent magnets and a silicon flow channel with two electrodes. The dimension of the flow sensor is $9\;mm\;{\times}\;9\;mm\;{\times}\;1\;mm$. The micro flow channel is mainly fabricated by anisotropic etching of two silicon wafers, and the detection electrodes are fabricated by metal evaporation process. The characteristic of the fabricated flow sensor is obtained experimentally. When the flow rates of water with the conductance of $100-200\;{\mu}S/cm$ are 9.1 ml/min and 62 ml/min, the generated electromotive forces are $261\;{\mu}V$ and 7.3 mV, respectively.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2006.11a
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• pp.267-268
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• 2006

전력소모를 감소시키기 위해 MEMS 기술을 이용하여 마이크로 히터를 제작하고 그 위에 감지물질을 도포하여 마이크로 센서를 제작하였다. 마이크로 가스센서는 $SnO_2$를 모물질로 하였으며 가스 감도를 향상시키기 위해 Pd와 Rh, ${\alpha}-Fe_2O_5$, $V_2O_5$를 첨가하여, CO 가스 강도를 조사하였다. $SnO_2$에 촉매로서 Pd만을 첨가하였을 때보다 Rh, ${\alpha}-Fe_2O_5$. $V_2O_5$등을 첨가하였을 때 CO가스에 대한 감도 반응이 우수하였다. 마이크로 가스센서의 소비전력은 42mW이었다.

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.5 no.2
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• pp.132-136
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• 2004

A flat type $NO_2$ micro gas sensor was fabricated by MEMS technology. In order to heat up gas sensing material such as $WO_3$ to a target temperature, a micro hotplate was built on the gas sensor. The temperature distribution of micro gas sensor was analyzed by a CFD program, FLUENT. The results showed that the temperature of silicon wafer base was almost similar to that of the room temperature, which indicates that the heat generated at the micro hotplate heated up effectively the sensing material and its thermal isolation was kept. The uniformity of temperature on the sensing material can be improved by modifying the shape of micro hotplate.

• Transactions of the KSME C: Technology and Education
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• v.5 no.1
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• pp.1-6
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• 2017

From early simple bulky detectors to show the existence of some specific material, sensor has been developed to miniature smart sensors embedded signal capabilities with a help of nano/micro engineering such as innovative nano materials and semiconductor process technologies. Due to recently fast sales of smart phones with simple telephone function plus many sensors, internet accessing capabilities, easy user downloadable "app" softwares, smart sensor industry market has expanded very fast. If driver-less cars, wearable electronic devices and smart robots will be introduced into market in near future, development of many various smart sensors will be needed.

• Proceedings of the Korean Information Science Society Conference
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• 2003.04d
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• pp.457-459
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• 2003

제한된 에너지 자원과 무선 통신 기능을 가진 마이크로 센서들로 구성되는 센서 네트워크는 다양한 환경에 대한 모니터링 서비스를 제공하여 여러 분야에서 실생활에 유용한 정보들을 수집 할 수 있게 하였다. 그러나 이러한 마이크로 센서들은 제한된 에너지를 가지고 통신을 하기 때문에 시스템의 라이프 타임이 짧다는 단점이 있다. 이 논문에서는 센서 네트워크에서 문제가 되는 단점 중의 하나인 제한된 에너지를 효율적으로 사용하여 네트워크의 라이프 타임을 증가시킬 수 있는 방안을 제안한다.

• 전기의세계
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• v.42 no.10
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• pp.25-31
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• 1993

마이크로 장치에 관한 연구를 통하여 개발될 설계 및 제자 기술들은 차후 마이크로 펌프외에도 여러가지 마이크로 센서나 기계요소를 제작하는 데 유효 적절하게 사용될 수 있는 기술들로서, 국내에서도 마이크로머시닝 기반 기술의 노우하우가 축적되어야 한다. 마이크로 펌프는 미세 유량 제어장치, 미생물 조작 장치 등의 제작을 가능하게 하여 고정밀을 요하는 측정 계기와 장치, 치료기구 등에의 응용성이 다양하다. 이로 인하여 공학 및 과학, 의학 분야의 발전에 공헌이 크리라 기대된다.

• Review of KIISC
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• v.27 no.2
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• pp.12-21
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• 2017

마이크로그리드는 다양한 전력공급원과 전력부하가 존재하며, 이들을 효율적으로 관리하여 안정적인 전력 공급을 하기 위해서 다양한 센서와 제어기가 존재한다. 센서를 통해서 현재 마이크로그리드의 상태를 파악하고, 제어기를 조정하여 전력망의 상태를 안정적으로 유지한다. 이러한 마이크로그리드가 사이버 공격을 받을 경우, 정전 등의 물리적 피해가 발생할 수 있으므로 사이버 위협을 미연에 방지하기 위한 사이버 보안 대책이 필요하다. 본 고에서는 유사 제어시스템 공격 사례, 관련 기기 및 제품 취약점 정보 등을 통해 식별된 마이크로그리드 내 존재 가능한 사이버 보안 위협 요소들을 활용하여 마이크로그리드 사이버 공격 시나리오들을 식별하고, 각 시나리오 별로 존재하는 보안 위협들에 대처하기 위한 방안들을 분석한다. 이를 통해 마이크로그리드의 사이버 보안성을 강화하고 운영 안정성을 확보하고자 한다.

• The Journal of the Institute of Internet, Broadcasting and Communication
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• v.12 no.4
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• pp.1-6
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• 2012

We suggested a microwave sensor structure and fabricated experimentally to detect particular particles in the air which are difficult to detect using conventional UWB sensors because their reaction frequencies to electromagnetic waves are too high. In the experiment to detect water particles in the air with up-conversion frequency of 10GHz, we verified detect signal amplitude variation of 75% depending on presence or absence of water particles. The suggested structure can be useful to detect particular materials at the high frequencies more than a few 10th GHz, because the same method can be applied to detect other materials.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2007.07a
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• pp.2042-2043
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• 2007

고압회전기의 운전중 부분방전을 효과적으로 측정하고 진단하기위해 고정자 권선과 슬롯사이에 취부 되는 방향성 결합기형태의 부분방전센서가 일부 사용되고 있다. 기존 결합기형 센서는 마이크로스트립 등의 전송선로 타입으로, 센서 출력 단자의 효과적인 매칭을 목표로 설계되었으나, 센싱도체의 폭이 좁아 권선으로부터 효과적인 커플링이 힘들다. 본 논문에서는 고정자 권선 및 슬롯 구조의 전계분포 계산결과를 바탕으로 부분방전 신호 측정에 효과적인 형태의 센서를 설계하였다. 제작된 센서를 실제와 동일한 고정자 권선 및 슬롯 구조에서 타 센서와 비교하여 성능을 시험한 결과, 기존 마이크로스트립타입의 센서와 상용센서에 비해 좋은 감도를 가지는 것으로 나타났다.

• Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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• 2011.05a
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• pp.91-92
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• 2011

본 논문에서는 옥내 LED 조명에 대하여 마이크로웨이브센서 기반의 조명 제어에 관한 연구이다. 실내에 설치된 LED 조명제어는 마이크로웨이브센서를 이용하여 옥내 사람의 움직임을 인식하고, 계측된 센서값을 이용하여 조명의 온·오프 및 dimming 제어를 수행하였다. 또한, 실내 환경 데이터를 계측하여 현재의 환경에 적합하도록 LED 조명을 제어하여 사람의 감성에 적합한 감성제어를 제시하고자 한다.