반응성 r.f. 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 ZnO 박막의 물성과 압전특성

• 신진성;임원택;이창효
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 1998년도 제16회 학술발표회 논문개요집
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  • pp.55-56
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  • 1998
• PDF

DC 마그네트론 스퍼터링으로 제작한 Ti 박막의 광학적 성질 연구

• 강지훈;이명희;방재호;김광주
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 1997년도 제13회 학술발표회 논문개요집
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  • pp.103-104
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  • 1997
• PDF

마그네트론 스퍼터 증착법으로 증착한 ZnO계 투명전극의 특성과 응용

• 윤선진;김준관;임정욱
• • 인포메이션 디스플레이
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  • 제11권5호
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  • pp.23-32
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  • 2010
• PDF KSCI

RF 마그네트론 스퍼터링 방법을 이용한 ZnO:P 나노막대 성장

• 김영이;조형균
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 2010년도 춘계학술발표대회
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  • pp.28.2-28.2
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  • 2010
• PDF

반응성 RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 BST 박막의 구조 및 전기적 특성

• 정용국;조굉래;임원택;이창효
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 1999년도 제16회 학술발표회 논문개요집
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  • pp.37-37
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  • 1999

RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 광학용 TiNx 박막의 제작

• 오정흥;김성철;황보창권;박문찬
• • 한국진공학회:학술대회논문집
  • /
  • 한국진공학회 1999년도 제16회 학술발표회 논문개요집
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  • pp.103-103
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  • 1999

마그네트론 스퍼터링된 Ag-(CoFe) 합금박막의 자기저항에 대한 연구 (A study on the Magnetoresistance of Magnetron sputtered Ag-(CoFe) Alloy Thin Film)

• 김주찬;이성래
• • 한국자기학회:학술대회 개요집
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  • 한국자기학회 1995년도 추계연구발표회 논문개요집
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  • pp.88-89
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  • 1995
• PDF

Rf 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 $RuO_2$ 박막의 미세구조 및 계면반응 특성분석

• 배준철;박찬경
• • 한국전자현미경학회:학술대회논문집
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  • 한국현미경학회 1996년도 제27차 추계학술대회
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  • pp.24-27
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  • 1996
• PDF

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 SrTiO3 박막의 계면 분석에 관한 연구

• 남승희;이원재;김호기;김경중;문대원
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 1992년도 제3회 학술발표회 논문개요집
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  • pp.34-34
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  • 1992
• PDF

Unbalanced DC 마그네트론 스퍼터링 소스의 플라즈마 특성에 대한 연구

• 인정환;장홍영
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 2004년도 제26회 학술발표회 초록집
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  • pp.127-127
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  • 2004
• PDF

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