A study of microstructure and physical properties of low density carbon films synthesized by magnetron sputtering (마그네트론 스퍼터링으로 합성된 저밀도 탄소 박막의 미세구조 및 물리적 특성에 대한 고찰)
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- Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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- 2012.05a
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- pp.347-348
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- 2012