집속 이온빔 기술은 고해상도의 이온빔 리토그라피, 마스크가 필요없는 이온주입, 그리고 Ion beam induced deposition 등 반도체 소자의 미세가공에 널리 이용되어 왔다. 좋은 안정도와 높은 전류밀도, 적은 에너지 퍼짐 그리고 낮은 에미턴스와 높은 선명도를 갖는 집속 이온빔 장비를 위한 액체 갈륨 이온원이 한국에서 개발 시업되었다. 이온빔의 전압이 15kV, 렌즈전압이 7kV 그리고 렌즈상단에 위치한 aperture의 직경이 0.2mm일 때, 0.1$mu extrm{m}$의 빔 직경으로 집속되는 정전 einzel렌즈가 설계 조립되었고, FIB 진공 chamber는 렌즈부와의 차 등 진공시스템으로 구성되어 설계제작되었다. FIB 장비가 조만간 한국에서 이온빔 밀링, ion beam induced deposition 그리고 잘못된 부분의 수정 등 반도체 제작공정에서의 응용에 큰 기여를 할 것이라 기대된다.
각막과 콘택트렌즈 사이의 눈물 층에는 모세관 작용에 따른 장력이 발생하고, 순목 결과 렌즈가 평형위치에서 벗어나게 되면 렌즈의 상/하 또는 좌/우의 눈물 층의 간격이 변하며 이 간격 변화에 의해 복원력이 발생한다. 이 복원력과 눈물 층의 정성 저항력에 의해 렌즈는 진폭이 감소하는 진동을 하면서 평형위치로 복귀하게 된다. 순목 시 안검작용에 의해 렌즈가 일정한 위치로 편위 되었다고 설정할 때 순목 종료 후 매 순간 렌즈의 위치를 예측할 수 있는 미분방정식과 그 수치계산 프로그램 모델을 수립하였다. 이 컴퓨터 모델을 사용하여 렌즈의 BC, 직경, 초기 위치, 무게 등이 감쇄진동에 미치는 영향을 모사하였다. 순목 후 렌즈의 평형 위치로의 귀환은 순목 시간이 적절한 경우에는 순목 종료 직후의 렌즈 위치 및 직경에 그다지 영향을 받지 않고 빠르게 이루어지지만 렌즈의 BC가 지나치게 크거나, 무게가 큰 경우에는 렌즈 진동이 급격히 느려지기 때문에 평형 위치로 되돌아오는데 시간이 많이 걸리게 될 것이다.
SELFOC 소재를 사용하여 높은 수치구경을 가지는 광픽업용 대물렌즈를 설계하였다. SELFOC 소재는 radial gradient-index 분포를 가지며, 이것은 설계에 추가적인 자유도를 제공하므로, 비구면이 아닌 구면만으로 높은 수치구경의 대물렌즈의 설계가 가능하다. 이 연구에서는 quadratic constant와 광축의 굴절률, 광축 두께, 입사동 직경을 변화시키며 rms 스폿 직경 변화를 조사하였으며, Code V를 사용하여 대물렌즈의 최적화와 결상특성을 평가하였다. 이 분석에서는 quadratic constant와 광축의 굴절률이 클수록, 렌즈가 두꺼워질수록, 입사동 직경은 작을수록 더 좋은 특성을 보임을 알 수 있었다. 이 결과를 바탕으로 2매의 구면 SELFOC 렌즈로 구성된 높은 NA의 DVR용 대물렌즈를 설계하였으며, 2가지 형태의 해 Solution I, II가 존재하였다 Solution I은 두 매 모두 양의 굴절능을 가지며 compact한 광학계를 구성하지만, 비축 수차 보정이 Solution II에 비해 부족하였다. Solution II는 음-양의 굴절능으로 조합된 광학계로 비축 수차가 비교적 잘 보정되었지만, 광학계의 전장길이가 길고 렌즈의 직경이 커지는 문제점이 있었다.
목적: 본 연구에서는 건안에 착용되어 지속적으로 건조한 상태에 노출되거나 관리 부주의로 건조한 상태가 되었던 소프트콘택트렌즈(soft contact lens, SCL)에 발생되는 렌즈의 형태 및 렌즈 착용시의 누액 안정성에 나타나는 변 화를 알아보고자 하였다. 방법: 함수율과 두께, 재질이 상이한 소프트콘택트렌즈들을 각각 인위적으로 2회 또는 4회 건조시키고 다시 수화시킨 후 렌즈 전체직경 및 곡률반경을 측정하였다. 또한, 소프트콘택트렌즈 착용시의 눈물파 괴시간(tear film break-up time, TBUT)의 변화를 측정하였다. 결과: 건조과정에 의하여 함수율 70% 소프트콘택트 렌즈와 59% 소프트콘택트렌즈 모두에서 전체직경의 감소가 나타났으며, 함수율 59% 소프트콘택트렌즈의 전체직경의 변화 정도가 더 컸다. 함수율 59%의 소프트콘택트렌즈는 건조횟수가 증가함에 따라 곡률반경이 증가하였다. 그러나, 함수율 70%의 소프트콘택트렌즈는 2회 건조시에는 곡률반경에 변화가 없었으며, 4회 건조시에는 곡률반경이 크게 증가하였다. -1.00 D 소프트콘택트렌즈는 -9.00 D 소프트콘택트렌즈 보다 직경의 감소 정도가 더 컸다. 또한, -1.00 D 소프트콘택트렌즈는 건조횟수가 증가하면 곡률반경의 증가정도가 커지는 반면, -9.00 D 소프트콘택트렌즈는 2회 건조시나 4회 건조시에 곡률반경의 차이가 없었다. 실리콘 하이드로겔 렌즈 재질인 lotrafilcon B의 직경 및 곡률반경 변화는 HEMA와 N-vinyl pyrrolidone의 공중합체인 hilafilcon B보다 더 적었다. 렌즈를 착용하였을 때의 TBUT는 건조되었던 소프트콘택트렌즈를 착용시 감소하였다. 결론: 소프트콘택트렌즈가 건조되었을 때 수화 과정을 거치더라도 렌즈의 전체직경 및 곡률반경이 변하였으며, 렌즈 착용시의 TBUT가 감소하였으며, 이러한 변화는 건조 되었던 소프트콘택트렌즈를 착용하였을 때의 착용감 저하의 주요 원인으로 작용할 것이다. 건조로 인한 소프트콘택 트렌즈의 형태 변화 및 TBUT 변화는 함수율, 두께, 재질에 따라 상이하였다.
눈물 층을 사이에 두고 각막 위에 부착되어 있는 콘택트 렌즈(하드렌즈)에는 모세관 현상에 따른 장력이 렌즈 가장 자리에 균일하게 방사형으로 작용한다. 이러한 장력은 렌즈가 각막에 부착되는 힘의 근원이 된다. 렌즈착용 시 자체 무게에 의한 렌즈의 회전과 렌즈가 평형상태에 도달 한 후 각막에 부착되는 힘을 계산할 수 있는 방정식과 이의 수치 계산 컴퓨터 프로그램을 수립하였으며 이 컴퓨터 모델을 사용하여 렌즈 구경, 렌즈 B.C, 눈물의 점성, 눈물 층의 두께 등의 변수가 렌즈의 평형 위치 및 부착력에 미치는 영향을 모사(simulation)하였다. 일정 각막 B.C에서 렌즈 B.C 증가에 따라 눈물 충의 간격은 급격히 증가하는데 비해 렌즈의 직경 증가는 완만한 간격 증가를 수반한다. 렌즈의 B.C가 증가할수록, 즉 렌즈의 곡률이 완만할수록, 렌즈가 각막에 fitting되는 부착력은 급격하게 감소하며 직경 감소는 완만한 부착력 감소를 초래한다. 렌즈가 각막에 부착되는 순간 렌즈의 무게로 인하여 아래 방향으로의 회전 모멘트가 발생하게 되며 이와 동시에 렌즈 위 부분 눈물 층의 간격이 아래 부분보다 좁아지게 되어 위 방향으로 알짜 힘이 작용하게 되며 이에 따른 역방향 모멘트는 중력에 의한 모멘트를 상쇄하게 되어 렌즈는 일정 위치에서 평형 상태에 도달하게 된다. 렌즈 착용에 수반되는 초기 회전각 또는 회전 변위는 렌즈의 B.C가 증가할수록 급격히 증가하는데 비해 렌즈 구경 증가는 변위 증가율이 완만하다.
본 연구에서는 HNA를 이용한 Si의 bulk 식각을 통해 렌즈 모양을 갖는 몰드를 제작 한 뒤 그 위에 렌즈로 사용될 SU-8을 도포 한 다음 몰드와 렌즈를 분리시키는 방법으로 마이크로렌즈 배열을 제조하는 공정을 개발하였으며 이는 공정순서가 단순하며 경제적인 것을 특징으로 한다. Stirring 속도 800rpm 이상의 조건에서 높이 $45{\mu}m$, 직경 $150{\mu}m$의 높은 fill factor를 가지는 렌즈의 제작조건을 확립하였으며, 이와 같이 제작된 초소형 렌즈는 적외선 감지 소자와 같은 영상 소자나 projection display 영역에 응용되어 소자 성능을 향상시킬 수 있다.
공초점 내시 현미경의 경우 살아있는(in vivo) 동물체들의 뇌 속에서의 암세포나 특정 세포를 분석할 수 있으며, 비 침습적으로 얻을 수 있는 기술과 동시에 실시간으로 암을 검출할 수 있는 장점이 있다. 공초점 내시 현미경의 경우 최소 직경과 고 분해능을 요하게 된다. 본 논문은 최소 직경을 가지는 GRIN 렌즈와 유동적으로 움직일 수 있는 광섬유 다발을 연결시킴으로써 보다 측정에 용이하도록 하였다. 직경이 1 mm이고 수치구경이 0.5이며 pitch가 0.25인 GRIN렌즈를 사용하였으며, 광섬유 다발은 30,000개의 코어로 구성된 유동적인 광섬유 다발을 사용하였다. 본 논문은 GRIN 렌즈에 의해서 발생되었던 구면수차는 광학보상자를 이용하여 보정하였다. 그 결과 설계되어진 공초점 내시 현미경 대물렌즈의 경우 종 분해능은 $1.63\;{\mu}m$이고 축상물점과 비축물점에서의 에너지 분포가 100%일 때 각각의 spot size는 축상물점에서 $0.3\;{\mu}m$ 비축물점에서 $0.83\;{\mu}m$의 결과를 얻었으며 보다 값싸고 제작에 용이한 양산 비구면 렌즈로 대체 구현된 결과에서는 종 분해능이 $1.74\;{\mu}m$이고, 축상 물점에 대한 spot size는 $1.1\;{\mu}m$이고 비축물점에서는 spot size가 $2.94\;{\mu}m$로 설계되었다.
목적: 구면 콘택트렌즈(렌즈)가 각막에 피팅되는 경우 렌즈가 각막을 누르는 힘(압력, 부착력)을 tight 및 flat 피팅 별로 이론적으로 비교 분석하였다. 방법: Tight 및 flat 피팅 상태에서 렌즈의 각막 부착력을 계산할 수 있는 방정식 및 수치해석 프로그램(모델)을 수립하였다. 이 모델에 근거하여 BC, 직경, 두께, 모서리 형상 등 제반 렌즈변수와 각막형상(각막의 장축/단축 비, p) 변화에 수반되는 렌즈의 각막부착력을 tight 또는 flat 피팅 별로 예측/해석하였다. 결과: 각막의 p값이 증가할수록 각막부착력은 증가한다. p 값 증가에 따른 부착력 상승은 flat 피팅 경우가 tight에 비해 월등히 크다. 렌즈의 BC가 증가할수록 각막부착력은 flat 피팅에서는 큰 폭으로 감소하는데 반해 tight 피팅에서는 그 증가가 미미하다. 렌즈 직경이 증가할수록 각막부착력은 tight/flat 피팅 모두에서 미미하게 감소한다. 렌즈의 모서리형상(모서리각도 ${\Psi}$)과 렌즈두께는 tight 피팅에서만 영향을 미치는 요소들이다. Tight 피팅된 렌즈가 각막을 누르는 힘은 모서리 각도에 비례하여 증가한다. Tight 피팅 렌즈는 두께가 증가할수록 렌즈가 각막을 누르는 각막부착력은 두께에 반비례로 감소한다. 결론: 피팅상태의 렌즈가 각막을 누르는 힘에 가장 크게 영향을 미치는 2 가지 요소는 각막의 만곡도와 렌즈의 BC이다.
본 연구에서 목표로 하는 집속광학계는 레이저 다이오드의 emitting area가 50$mu extrm{m}$$\times$1.0$\mu\textrm{m}$ 이고 pumping 매질인 crystal의 TE $M_{00}$ mode 발생을 위한 최소 입사빔의 단면도가 단축과 장축의 직경이 각각 206$\mu\textrm{m}$, 204$\mu\textrm{m}$인 타원이어야 하기 때문에 수직 방향으로는 200배 수평 방향으로는 4배의 확대를 할 수 있는 광학계 이어야 한다. 일반적으로 레이저 다이오드용 집속광학계는 레이저다이오드의 수직 수평 emitting area가 다르기 때문에 실린더형, 원통형 또는 toroidal형의 렌즈를 조합하여 구성한다. 그러나 우리의 경우는 emitting area의 수직 수평비 즉 집속광학계의 수직 수평의 굴절능( power )의 비가 50:1 이어야 하기 때문에 그림1과 같은 일반적인 실린더형, 원통형 또는 toroidal형의 렌즈의 조합으로 집속광학계를 구성하기에는, 렌즈 power비를 50:1로 하기 위해 필요로 하는 공간이( 첫번 렌즈와 마지막 렌즈까지의 거리 ) 커지는 점, 필요로 하는 렌즈의 매수가 많아지는 점, 집속 beam의 형상 즉 단면의 이심률이 커져서 pumping에 비효율적이라는 점 등에서, 부적절하다. (중략)략)
본 연구에서는 3차원 회전체 구조물을 제조하기 위해 회전노광장치를 설계하여 제작하고 마이크로렌즈 제작용 X-선 마스크와 PMMA 기판을 정밀하게 회전시켜 노광함으로써 3차원의 마이크로렌즈를 제작하였다. 제작된 마이크로렌즈의 크기는 직경이 $50{\sim}700{\mu}m$이었고, 또한 이러한 방법으로 원통형 렌즈, 계란형 렌즈 등을 제작함으로써 X-선 사진식각공정으로 정밀도가 높은 다양한 3차원의 회전체 구조물을 제조하는 방법을 제시하였다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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