• Title/Summary/Keyword: 레이저 투과

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Measurement of Thickness Distribution of $Si_3N_4$ Membrane Using Phase-Shifting Interferometer (위상이동 간섭계를 이용한 $Si_3N_4$ 박막의 두께 분포 측정)

  • Lee, Jung-Hyun;Jeong, Seung-Jun;Kang, Jeon-Woong;Jeon, Yun-Seong;Hong, Chung-Ki
    • Journal of the Korean Society for Nondestructive Testing
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    • v.25 no.2
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    • pp.67-73
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    • 2005
  • The thickness of a Si3N4 thin film with a 100m nominal thickness was measured by use of a Mach-Zehnder interferometer. The map of the phase-delay through the thin film was obtained by an interframe intensity-correlation-matrix method that could elliminate phase-shifting errors. After the spatial phase-shifting errors were treated with a least-squares method, the reference to surface of the phase map was estimated. The overall accuracy of the method was found to be 5nm.

PLD 법으로 증착된 IZO 박막의 Indium 양에 따른 배향성 변화 연구

  • Jang, Bo-Ra;Lee, Ju-Yeong;Lee, Jong-Hun;Lee, Da-Jeong;Kim, Hong-Seung;Gong, Bo-Hyeon;Jo, Hyeong-Gyun;Bae, Gi-Yeol;Lee, Won-Jae
    • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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    • 2010.05a
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    • pp.59-59
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    • 2010
  • ZnO는 II-VI 족 화합물 반도체로써 상온에서 큰 엑시톤 결합에너지 (~60 meV) 를 가지며 밴드갭이 3.37 eV인 직접 천이형 반도체로 잘 알려진 물질이다. 이러한 ZnO의 물리적 특성은 광학소자로 상용화된 GaN와 유사하기 때문에 LED나 LD등의 광 소자 재료로 주목 받고 있다. 또한 ZnO는 3족 원소 (In, Ga, Al)를 도핑 함으로써 전기적 특성 제어가 가능한 장점을 가지고 있다. 본 연구는 펄스레이저 증착법 (Pulsed Laser Deposition)을 이용하여 Si (111) 기판 위에 ZnO:In 박막을 성장 시켰으며, 도핑된 indium 양에 따른 ZnO 박막의 배향성 변화를 관찰 하였다. X-선 회절 분석법 (X-ray diffraction), 탐침형 원자현미경 (Atomic Force Microscope) 그리고 투과전자 현미경 (Transmission Electron Microscope)을 측정하였다. XRD 측정 결과 un-doped ZnO 박막은 (002) 방향으로 c-축 우선성장 하였다. 그러나 ZnO 박막내의 Indium 양이 증가 할수록 (002) 방향에서 (101), (102), (103) 등의 (101) 방향으로 성장이 변화 하였으며 5 at.% 이상에서는 (100) 방향의 성장이 관찰 되었다. TEM 측정 결과 un-doped ZnO 박막은 columnar 구조로 성장 되었으나, Indium 양이 증가할수록 column의 size가 감소하며, 5 at.% 이상에서 columnar 구조 성장이 거의 관찰되지 않는다. AFM 결과에서는 Indium 양이 증가 할수록 박막의 표면거칠기와 결정립 크기가 감소하였다.

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High-Speed High-Resolution Terahertz Time-Domain Spectrometer (고속 고분해 테라헤르츠 시간영역 분광기)

  • Kim, Young-Chan;Kim, Ki-Bok;Yee, Dae-Su;Yi, Min-Woo;Ahn, Jae-Wook
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.19 no.5
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    • pp.370-375
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    • 2008
  • High-speed high-resolution terahertz time-domain spectroscopy (THz-TDS) is demonstrated using the asynchronous-opticalsampling (AOS) method. A time-domain signal with a 10-ns time window is rapidly acquired by using two femtosecond lasers with slightly different repetition frequencies to generate and detect a terahertz pulse wave, without a mechanical delay stage. The spectrum obtained by the fast Fourier transformation (FFT) of the time-domain waveform has a frequency resolution of 100 MHz. The time resolution of our spectrometer is measured using the cross-correlation method to be 278 fs. A transmission spectrum of water vapor is measured and the absorption lines are analyzed in the frequency range from 0.1 to 1.2 THz.

Si 기판위에 형성된 ZnO 나노입자의 열처리 온도변화에 따른 구조적 성질과 전자적 성질에 관한 연구

  • Park, Geun-Gap;No, Yeong-Su;Park, Gyeong-Hun;Son, Dong-Ik;Kim, Tae-Hwan
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.02a
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    • pp.107-107
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    • 2010
  • ZnO는 상온에서 에너지 밴드갭이 3.37 eV 이고 엑시톤 속박에너지가 60 meV 인 넓은 에너지 띠를 가진 반도체이다. ZnO 반도체는 고에너지 영역에서 광투과율 및 에너지 수집율이 큰 특성을 가지고 있기 때문에 단파장 영역에서 작동하는 발광 다이오드나 반도체레이저 소자 응용에 사용되고 있다. 이와 더불어 액정디스플레이, 유기발광소자 및 태양전지에서 투명 산화물 전극으로 많은 응용이 되고 있다. 본 연구에서는 p-type Si 기판 위에 ZnO 나노입자 형성과 구조적 성질과 전자적 성질에 대하여 조사하였다. ZnO 나노입자를 형성하기 위해 ethanol에 zinc acetate dehydrate (5 wt%)을 적절히 분산시킨 $Zn(CH_3COO)_2H_2O\;+\;CH_3OH$ 용액을 스핀 코팅하여 산소 분위기에서 각각 $300^{\circ}C$, $500^{\circ}C$, $700^{\circ}C$$900^{\circ}C$로 각각 2시간 동안 열처리 하였다. X-ray 회절 실험 결과는 열처리 온도에 관계없이 ZnO (0001)의 피크가 관측되었다. 원자힘 현미경 이미지상으로 열처리 온도에 따른 ZnO 나노입자의 표면상태의 변화와 나노입자의 크기의 변화를 확인하였다. X-ray 광전자 분광 스펙트럼 결과는 Zn $2p_{3/2}$와 O 1s의 전자상태 스펙트럼을 분석하여 ZnO 나노입자가 형성됨을 보여주었다. 본 연구를 통하여 용액방법을 사용하여 제작된 ZnO 나노입자의 열처리 온도변화에 따른 구조적 성질과 전자적 성질을 이해하는데 도움을 줄 것이다.

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대구경 사파이어 단결정 기판의 결함 평가를 위한 X-선 토포그래피 장비 구축

  • Jeon, Hyeon-Gu;Jeong, In-Yeong;Lee, Yu-Min;Kim, Chang-Su;Park, Hyeon-Min;O, Byeong-Seong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2013.08a
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    • pp.238-238
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    • 2013
  • 사파이어 단결정은 광학 투명도, 물리적 강도, 충격 저항, 마모 부식, 높은 압력 및 온도 내구성, 생체 호환성 등 다양한 특성을 가지고 있어 다양한 분야에서 사용되고 있으며, 특히 최근에는 백색 또는 청색 LED 소자 분야에서 기판으로 주로 활용되고 있다. 이러한 사파이어 단결정 기판은 공정에서 결정 성장 조건 및 기계적 연마 등의 다양한 요인으로 결정학적 결함이 발생한다. 이러한 결정학적 결함을 제어함으로서 좋은 품질의 단결정 기판을 생산할 수 있다. 이에 따라 각종 결함 제어를 위해서 X-선, EPD, 레이저 편광법 등 다양한 방법으로 결함들을 측정하고 있다. 그 중에서도 X-선 토포그래피는 시료를 비파괴적인 방법으로 단결정의 결함 밀도와 유형 등을 파악하는데 매우 유용한 측정법이며, Lang 토포그래피로 대표되는 X-선 회절 투과법은 기판과 같은 대구경의 시료를 우수한 분해능으로 내부 결함까지 관찰할 수 있는 장점을 지니고 있다. 본 연구에서는 대구경 사파이어 단결정 기판에 내재하는 결정 결함을 확인 및 분석하기 위해 X-선 Lang 토포그래피(X-ray Lang Topography) 장비를 구축하였다. 그리고 4, 6인치 c-면 사파이어 단결정 기판의 (110), (102) 회절면의 X-선 토포그래피 측정을 통해 전위(dislocation), 스크래치(scratch), 표면데미지(surface damage), 트윈(twin), 잔류 응력(strain) 등의 결함의 유형을 식별 및 분석하였으며, 각각의 결함들의 토포그래피 이미지 형성 메커니즘에 대해 분석하였다. 이를 통해 X-선 Lang 토포그래피(X-ray Lang Topography) 장비가 대구경 사파이어 단결정 기판의 결정 결함 평가에 폭넓은 활용이 가능할 것으로 예상된다.

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Characteristics of Airborne Lidar Data and Ground Points Separation in Forested Area (산림지역에서의 항공 Lidar 자료의 특성 및 지면점 분리)

  • Yoon, Jong-Suk;Lee, Kyu-Sung;Shin, Jung-Il;Woo, Choong-Shik
    • Korean Journal of Remote Sensing
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    • v.22 no.6
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    • pp.533-542
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    • 2006
  • Lidar point clouds provide three dimensional information of terrain surface and have a great advantage to generate precise digital elevation model (DEM), particularly over forested area where some laser signals are transmitted to vegetation canopy and reflected from the bare ground. This study initially investigates the characteristics of lidar-derived height information as related to vertical structure of forest stands. Then, we propose a new filtering method to separate ground points from Lidar point clouds, which is a prerequisite process both to generate DEM surface and to extract biophysical information of forest stands. Laser points clouds over the forest stands in central Korea show that the vertical distribution of laser points greatly varies by the stand characteristics. Based on the characteristics, the proposed filtering method processes first and last returns simultaneously without setting any threshold value. The ground points separated by the proposed method are used to generate digital elevation model, furthermore, the result provides the possibilities to extract other biophysical characteristics of forest.

Fine tuning of wavelength for the intenrnal wavelength locker module at 50 GHz composed of the photo-diode array black with the multi-channel tunable laser diodes in DWDM application (DWDM용 다채널 파장 가변 레이저 다이오드 모듈을 위한 다수개의 광 수신 소자를 갖는 50 GHz 내장형 파장 안정화 모듈의 파장 미세 조정)

  • 박흥우;윤호경;최병석;이종현;최광성;엄용성;문종태
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.13 no.5
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    • pp.384-389
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    • 2002
  • A new idea of the wavelength locking module for DWDM application was investigated in the present research. Only one etalon photo-diode is generally used in the internal/external wavelength locking system. For the internal wavelength locking module with 50 GHz applications, an algle tuning method of the etalon commonly applied. However, the alignment process of the etalon with the angle tuning method is limited because the lock performance is extremely sensitive accoriding to the change of the tilting angle. In an optical viewpoint, the alignment tolerance of the locker module with the etalon PD array block was good, and the precise tuning of the wavelength was possible. The characteristics of free spectral range (FSR) and peak shift of wavelength according to the tilting angle with the locker module was investigated. For the present module, the optimized initial tilting angle was experimentally obtained.

Atomic Coherence Spectroscopy in the Paraffin Coated Rb Atom Vapor Cell (파라핀 코팅된 Rb원자 증기 셀에서 원자결맞음 분광)

  • Lee, Hyun-Joon;Yu, Ye-Jin;Bae, In-Ho;Moon, Han-Seb
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.19 no.4
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    • pp.334-340
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    • 2008
  • We investigated the electromagnetically induced transparency (EIT) and the Hanle spectrum in a paraffin coated Rb vapor cell. The EIT spectrum was observed in the $F_g=2$, $3{\rightarrow}F_e=3$ transition of the $^{85}Rb$ $D_1$-line by using two independent external cavity diode lasers, and the Hanle spectrum was observed by using one external cavity diode laser in the $\Lambda$-type scheme between the Zeeman sublevels of the $F_g=2{\rightarrow}F_e=1$ transition of the $^{87}Rb$ $D_1$-line. In the Hanle spectrum, we could observe the dual-structured spectrum in the paraffin coated vapor cell. We investigated the dual-structured lineshape by applying an external magnetic field, and varying the direction of the magnetic field. The narrow linewidth of dual-structured EIT was measured to be approximately 200 Hz.

COMPARATIVE STUDY ON THE EARLY DETECTION OF ENAMEL LESIONS USING DIFOTI AND LASER FLUORESCENCE (Digital Imaging Fiber-Optic Trans-Illumination과 Laser Fluorescence를 이용한 법랑질 우식증의 조기 진단에 관한 비교 연구)

  • Maeng, Myoung-Ho;Kim, Seung-Oh;Kim, Jong-Soo
    • Journal of the korean academy of Pediatric Dentistry
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    • v.33 no.2
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    • pp.207-220
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    • 2006
  • The newly developed equipments for the early detection of carious lesion are LFD (laser fluorescence device), Ultrasonic diagnostic system, CLSM(confocal laser scanning microscopy), QLF(quantitative light-induced fluorescence) and DIFOTI (digital imaging fiber-optic trans-illumination) system. In this study, DIFOTI system and LFD were used for the detection of early enamel caries. Twenty five primary teeth extracted from twenty one children at around the dentitional exchanging period were selected as samples. The results obtained from DIFOTI imaging and LFD measurement were compared with those of CLSM and comprehensive evaluations were made for the diagnostic capacity of each device. In vitro test, 40 sample teeth with their buccal & lingual surface formed by a window of $2{\times}3mm$ in diameter were immersed in artificial demineralizing solution for the period of 4, 8, 12 and 16 days. The results obtained from the experimental groups (DIFOTI, LFD) were compared to control group (CLSM) and we have reached to the following conclusions. 1. The sensitivity and specificity of DIFOTI system operated in oral environment was 88.2% and 76.9% respectively. 2. The sensitivity and specificity of LFD measured in oral environment was 76.5% and 69.2% respectively. 3, Regression analysis on the light transparent rate of DIFOTI showed its decrease according to the length of primary enamel decalcification performed in vitro(r=-0.96, p<0.05). 4. No statistically significant difference between LFT measurement and the length of in vitro decalcification was found in regression analysis (p>0.05). 5. The correlation coefficient of DIFOTI image transparent rate and the lesion depth of CLMS was -0.6988 (p<0.05), whereas no statistically significant difference was found for LFD measurement.

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Analysis of Hydraulic Characteristics According to Operation of Movable Weir (가동보 운영에 따른 수리학적 특성 분석)

  • Seo, Il Won;Park, Sung Won;Kim, Tae-Won
    • 한국방재학회:학술대회논문집
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    • 2011.02a
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    • pp.101-101
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    • 2011
  • 현재 국내에서 시행되고 있는 '4대강 살리기 사업'은 하천에서 발생하는 홍수 및 가뭄재해방지를 위한 다양한 공학적 노력을 시도하고 있다. 특히 안정적인 수위 및 유량확보와 홍수방지를 위한 보(weir)가 4대강 유역에 16개 설치되고 있다. 이러한 보 구간에는 고정보와 가동보가 복합적으로 설치되고 있으며 가동보는 그 형상과 운영방식에 따라 다양한 설계방안이 적용되었다. '4대강 살리기 사업' 중 낙동강 23공구의 강정보 공사 구간에는 원호형태의 측면 형상을 갖는 라이징 섹터게이트(Rising sector gate)가 적용되었다. 라이징 섹터게이트는 구조물의 높이가 낮고 수문의 개폐장치가 수문피어 구조물 내에 설치되어 경관이 우수하며, 구조가 간단하여 비체와 수류의 안정성이 뛰어나기 때문에 4개의 공사구간에 적용되었다. 따라서 본 연구에서는 강정보의 가동보 구간 2문 중 1문을 1/100 축척으로 제작하여 가변경사 개수로에 설치하고, 홍수 빈도별 상류 유량 조건과 하류단 수위조건으로 케이스를 정하여 실험을 수행하였다. 본 실험에서 사용한 개수로 장치는 너비 0.6 m, 높이 0.8 m, 그리고 길이 15.0 m(측정가능 구간, 헤드탱크와 테일게이트 부제외)의 개수로 실험장치이다. 측부는 모두 강화유리로 되어 육안관찰 및 계측 시 용이하게 제작되었으며, 순환식 유량 공급장치를 구축하여 수로의 하부에 설치된 유량탱크로부터 계속적으로 순환하도록 설계되었다. 또한 수로 하단으로부터 상단방향으로 약 33 m 지점에 전동 유압식 Jack screw 2기가 설치되어 경사도를 조절할 수 있도록 제작되었다. 유량조절용 판넬의 제어기판에는 디지털 경사계가 설치되어 있기 때문에 보다 정확한 경사도의 조절이 가능하다. 보 모형의 총연장은 53 cm이며 폭은 45 cm이다. 섹터게이트의 게이트부분은 직경 15 cm로 설계하였다. 문주부분을 포함한 모든 모형은 아크릴로 제작하며 레이저의 주사를 방해하지 않으며 투과율을 최대로 할 수 있도록 고강도의 아크릴을 가장 얇게 하여 중공형태를 채택하였다. 실험조건은 우선 보의 운영방안에 따라 게이트의 4가지 개방도를 설정하였고, 특히 평수위조건에서는 보의 상류부에 퇴적된 퇴적물의 세척을 위한 flushing 운영개방도 포함되어 있다. 홍수시에 대한 유량조건은 2년 빈도에 해당하는 유량을 수문의 비율과 상사법칙에 따라 설정하였으며 하류단 수위조건도 동일한 조건에 대한 값을 채택하여 적용하였다. 유동장의 해석을 위해서는 비접촉식 계측방법인 PIV(Particle Image Velocimetry) 시스템을 채택하여 2차원(x-z 방향) laser sheet를 생성하고 주입된 particle에서 반사된 변위(displacement) 정보를 상호상관(cross-correlation)기법으로 유동장을 계산하였다. 또한 수리모형과 동일한 지형격자를 구축하여 3차원 CFD 프로그램인 FLOW-3D로 계산하여 결과를 비교하였다. 특히 flushing 운영방안에 대한 게이트부의 개방도를 세가지(30, 45, $60^{\circ}$)로 구분하여 모의하였고, 적절한 개방도를 제안하고자 하였다. 실험결과는 우선 4가지 운영방안에 대한 가동보 주변에서의 유속장을 파악하였고, 최대유속의 발생위치의 변화를 확인할 수 있었다. 그리고 이에 따른 보의 바닥에서 최대유속이 발생할 경우, 하상보호공 위치와 거리 등에 대해서 분석하였다. 이를 통해 가동보 운영에 따른 다양한 유속구조를 파악할 수 있게 되며 구조적 안정성 확보를 위한 검증자료로 활용될 수 있을 것으로 예상된다. 향후, 가동보 운영방안 중 수세효과(flushing effect)에 대한 효과분석을 위해 게이트부 상류구간에 적절한 입경과 비중의 퇴적물질을 설치하는 연구와 상류부에서의 유입유사농도 및 시간변화에 따른 퇴적에 관한 연구를 수행할 계획이다.

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