• Proceedings of the Korean Society of Laser Processing Conference
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• 2002.11a
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• pp.91-94
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• 2002

• Proceedings of the Korean Society of Laser Processing Conference
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• 2002.11a
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• pp.11-16
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• 2002

• Clean Technology
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• v.13 no.3
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• pp.228-234
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• 2007

In this study, the productivity and environmental effects of laser aided direct metal deposition (LADMD) process which is one of promising rapid manufacturing technology is evaluated. The production time predicted using PowerMill shows that the productivity of LADMD is superior to that of conventional milling process. Though LADMD is known as an environment-friendly technology, it has a disadvantage to utilize much energy to generate laser beam. Considering both productivity and environmental effects, LADMD is expected to be widely used in remanufacturing industry.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 1999.07a
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• pp.80-80
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• 1999

플라즈마 디스플레이 패널(PDP)의 공정을 간단히 하기 위하여 포토레지스트, ITO, 격벽재료를 Ar+ laser(λ-514 nm, CW)와 Nd:YAG laser(λ=532, 266nm, pulse)로 직접 패터닝 하였다. 레이저에 의한 포토레지스트의 패턴결과, 아르곤 이온 레이저의 포토레지스트 가공의 반응 메카니즘은 레이저 빔의 열에 의한 시료 표면의 국부적인 온도상승에 의한 용융작용이며, 그 결과 식각 후 형성된 패턴의 단면 모양도 레이저빔의 profile과 같은 가우시안 형태를 나타낸다. Nd:YAG 레이저의 4고조파(532nm)를 이용한 경우 200$\mu\textrm{m}$/sce의 주사속도에서 포토레지스트를 패턴하기 위한 임계에너지(threshold energy fluence) 값은 25J/cm2이며, 약 40J/cm2의 에너지 밀도에서 하부기판의 손상이 발생하기 시작하였다. 글미 1은 Nd:YAG 레이저 4고조파를 이용하여 포토레지스트를 식각한 경우 SEM 표면사진(위)과 단차특정기에 의한 단면형상(아래)이다. ITO 막의 레이저에 의한 직접 패턴 결과, ITO 막은 레이저 펄스에 의한 급속 가열 및 증발에 의한 메커니즘으로 식각이 이루어지며, 레이저 파장에 따른 광흡수 정도의 차이에 의해 2고조파 (532nm)에서 ITO 막의 가공 품질이 4고조파(266nm)에 비해 우수하며 패턴의 폭도 출력에 따라 제어가 용이하였다. 그림 2는 Nd:YAG 레이저 2고조파를 이용하여 ITO를 식각한 경우 SEM표면 사진(위)과 단차측정기에 의한 단면형상(아래)이다. 격벽 재료의 레이저에 의한 직접 패턴 결과, Ar+ 레이저(514nm)는 출력 밀도 32NW/cm2에서 격벽을 유리 기판의 경계면까지 식각하였다. Nd:YAG 레이저(532nm)는 laser fluence가 6.5mJ/cm2에서 격벽을 식각하기 시작하였으며, 19.5J/cm2에서 유리기판의 rudraus(격벽 두께 130$\mu\textrm{m}$)까지 식각하였다.

• The Optical Journal
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• v.11 no.4 s.62
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• pp.50-55
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• 1999

김도열 사장이 5월 8일 열린 한국레이저가공학회 '춘계학술발표대회'에서 발표한 내용을 '광학세계' 독자들을 위해서 김 사장이 직접 해석을 덧붙여 보충한 자료이다. 이 글에서는 아시아에서 금속절단기 시장이 회복되지 않는 상황에도 불구하고 1999년 산업용 레이저 및 가공기 시장은 약 13$\%$ 성장할 것으로 전망하고 있다. 우리 나라 레이저 산업 역시 1999년을 기점으로 2000년부터는 다시 도약할 것으로 보고 있다.

• Proceedings of the Korean Society of Laser Processing Conference
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• 2006.06a
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• pp.123-128
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• 2006

We constructed a micro-patterning system that build patterns on a photoresist coated wafer using laser direct writing system. Confocal microscope system was adapted for real-time auto-focusing of the laser writing lens to generate lines of uniform width.

• Bulletin of Food Technology
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• v.11 no.2
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• pp.70-78
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• 1998

공기와 같은 유체를 식품의 표면에 직접 고압으로 분사하는 것은 그 식품을 가열하거나, 건조, 냉각, 냉동시키는데 큰 도움을 주고 있다. Impingement-분사(공기, 스팀), 조사(방사선, 레이저), 침투(당액, 냉매) 등의 식품가공기술 기술은 우리가 생활하고 있는 주변에서 일상적으로 나타는 현상이다. 지표면에 태양빛이 전달되는 것이나 상점에서 물건구입시 포장지에 붙은 바코드(barcode)에 레이저빔을 쏘는 것도 모두 Impingement현상이다. 레이더도 전자파를 발사하는것(Impinging)이며, 배나 잠수함도 음파를 발사하여 장애물을 탐지하면서 운항한다. 세차장에서 차를 세차하는 것도 고압의 물을 분사(Impinging)하는 기술이 동원 되는 것이다. Impingement 방식에 의해 식품을 가열하거나 냉각하는 것은 기존의 방법들보다 속도는 느리지만 그만한 값어치가 있는 유용한 식품가공 기법이다.

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 1990.02a
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• pp.1-1
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• 1990

• The Optical Journal
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• s.111
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• pp.70-72
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• 2007

국내 광산업은 80년대 카메라, 복사기 등 결상기기 중심에서 90년대 이후에는 결상기기와 더불어 레이저 가공기, 광정보기기, 광통신기기 등 광응용기기로 확대 되고 있다. 2005년 기준으로 볼 때 국내 광산업은 세계시장의 약 5.5%를 차지했으며, 정밀 광산업 기술로드맵과 직접 관련되는 광정밀기기, 광정보기기, 광학기기분야의 수입은 68%, 수출이 90%를 차지해 수출역점산업임을 알 수 있다. 따라서 2010년에는 광산업 세계 시장규모가 400조원 수준에 이를 것으로 예상되는 가운데 이에 대비하여 국내 광산업의 성장기틀을 다질 때이다.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.21 no.12
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• pp.160-166
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• 2004

Self-Assembled Monolayers(SAMs) by alkanethiol adsorption to thin metal film are widely being investigated fer applications as coating layer for anti-stiction or friction reduction and in fabrication of micro structure of molecule and bio molecule. Recently, there have been many researches on micro patterning using the advantages of very thin thickness and etching resistance of Self-Assembled Monolayers in selective etching of thin metal film. In this report, we present the several machining method to form the nanoscale structure by Mask-Less laser patterning using alknanethiolate Self-Assembled Monolayers such as thin metal film etching and heterogeneous SAMs structure formation.