• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.08a
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• pp.316-316
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• 2013

GZO/Ag/GZO 다층 투명 전도막은 투명 산화물 전극 사이에 빛이 투과할 수 있는 수준의 매우 얇은 금속을 삽입하여 낮은 면저항과 높은 투과율을 구현하는 기술로 금속의 유연성과 낮은 비저항, 산화물은 높은 투과도와 안정성을 동시에 이용할 수 있는 투명전도막이다. 본 연구에서는 RF 마그네트론 스퍼터와 전자빔 증착을 이용하여 GZO 박막 사이에 Ag 박막을 삽입한 GZO/Ag/GZO 구조의 박막을 제작하였다. Ag 박막의 두께와 공정 압력이 박막에 미치는 영향을 연구하였으며, 급속 열처리에 따른 GZO/Ag/GZO 박막의 특성을 분석하였다. Ag 삽입 박막 두께와 GZO/Ag/GZO 박막의 열처리 온도 최적화를 통하여 $2.2{\times}10-5{\Omega}{\cdot}cm$의 가장 낮은 비저항과 88.9%의 투과율을 나타내었다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.194-194
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• 2010

태양전지용 투명전도막에 사용되는 Al-doped ZnO (AZO) 막은 저가이면서도 가시광역 영역에서 갖는 우수한 투과율과 낮은 비저항을 갖는 특성 때문에 ITO의 대체 재료로서 최근 활발한 연구가 진행되고 있다. 특히, 양산 현장에서는 in-line type의 대형 sputtering system에서 증착하고 있으며 높은 증착 속도와 박막 특성의 균일도가 중요한 과제다. 본 연구에서는 $2\;m\;{\times}\;1\;m\;{\times}\;0.2\;m$의 sputtering system에서 기판 캐리어를 이용해서 커다란 기판을 좁고 긴 타겟의 양쪽으로 왕복 운동을 하는 swing dynamic deposition 방법으로 $272\;mm\;{\times}\;500\;mm$ 크기의 AZO target (Al 2 wt%)을 이용하여 bipolar pulsed dc로 증착하였다. 이 시스템의 배기는 TMP와 cryo pump를 이용해서 $5\;{\times}\;10^{-7}\;Torr$의 기본 진공도를 얻으며, 공정 중에는 TMP만 사용하였다. 하지만, 본 시스템의 TMP는 비대칭 적으로 한쪽에 치우쳐 설치되어 있는데, 이것이 챔버 내에서 공정 가스인 Ar의 유동의 불균일도를 초래하게 되며, 그것이 증착되는 박막의 두께 균일도 및 특성 균일도에 영향을 주고 있음을 알 수 있었다. 본 연구에서는 다른 기본 진공도에서 증착된 AZO 박막의 특성 차이를 알아보고 비대칭 배기 구조가 in-line type 시스템에서 어떠한 두께 및 특성 불균일도를 가져오는지, 그리고 시스템 내부에 발생시키는 압력 불균일도를 상용 3차원 전산 유체해석 프로그램인 CFD-ACE+를 이용하여 분석하였다.

• Journal of the Society of Naval Architects of Korea
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• v.49 no.5
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• pp.433-439
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• 2012

Anticorrosive paint is the most widely used in shipbuilding and the dry film thickness is very important in terms of productivity and assurance of anticorrosive performance. However, it is difficult to achieve the recommended target film thickness because the dry film thickness depends on labor's skill in practice and is affected by a number of parameters, such as spray pressure, paint flow rate, tip size, spray distance, SVR(Solid Volume Ratio), etc. Present paper derives an empirical equation through the correlation analysis of parameters selected by spray experiments of anti corrosive painting in order to predict the coated status. Comparing the calculated results with practical data, we show that the empirical equation can successfully expect DFT(Dry Film Thickness).

• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 2011.10a
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• pp.42.1-42.1
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• 2011

박막형 디스플레이구서에 있어서 투명전극은 필수적이다. 투명전극은 정보를 표시하기 위해 빛을 외부로 방출시키거나 태양광 등을 소자 내부로 입사시켜야 한다. 또한 전극을 형성하는 박막은 높은 광투과율과 ${\sim}10-4{\Omega}cm$ 정도의 낮은 전기비저항을 가져야 한다. 가장 널리 사용되는 투명전극으로 ITO (Indium Tin Oxide)는 인듐의 독성, 저온증착의 어려움, 스퍼터링시 음이온 충격에 의한 막 손상으로 저항의 증가 및 액정디스플레이의 투명전극으로 사용될 경우 $400^{\circ}C$정도의 높은 온도와 수소플라즈마 분위기에서 장시간 노출시 열화로 인한 광학적 특성변화가 문제로 지적된다. 이러한 문제 해결의 대안으로 ZnO 산화물 반도체가 있는데 ITO 박막에 비해 비저항이 높기 때문에 도핑을 이용한 비저항을 ${\sim}10-4{\Omega}cm$ 정도로 낮추어야 한다. 투명전도막으로는 ITO, FTO 등과 더블어 체적 저항율은 다소 높으나 환원성 분위기에 대한 내성, 가시광 영역에서의 높은 광투과율과 저렴한 가격 등의 장점 등으로 AZO 박막이 주목 받고 있다. ZnO는 ITO 나 FTO에 비해서 700 kJ/mol의 큰 분해에너지를 가지므로 코팅 때 발생하는 전도도 및 투과율이 나빠지는 현상이 발생하지 않는 특징이 있으며, 위의 두 재료에 비해 밴드갭도 가장 낮아서 자외선 투과율이 낮다. 그러나 내습성이 약하기 때문에 이를 보완하기 위하여 내습성향상과 전도성 향상을 위해서 3족 원소인 B, In, Al, Ga 등을 도핑한 ZnO 투명전도막의 연구가 진행되고 있다. 이러한 원소들 중에서 Al로 도핑했을 때 가장 낮은 비저항을 얻을 수 있다고 알려져 있다. 본 연구에서는 SiOC 박막위에 AZO 박막을 제조하기 위하여 RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 박막을 성장시켰으며, 박막의 전기적 및 광학적 특성을 조사하였다. AZO 박막은 rf power가 5~200 W인 RF 마그네트론 스퍼터 방법에 의해서 제작되었다. SiOC 박막은 산소와 DMDMOS 전구체의 유량비를 다르게 하여 플라즈마 발생 화학적 기상 증착방법으로 증착되었다. 증착된 SiOC박막은 UV visible spectroscopy에 의해서 분석하였다. 투명전극의 비저항은 rf 전력이 작을 수록 낮았으며, SiOC 절연막 위에 AZO를 증착시킨 후 반사률은 반대로 바뀌는 것을 확인하였다.

• Journal of the Korea Institute of Building Construction
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• v.23 no.4
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• pp.429-440
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• 2023

This research investigates the deployment of waterproofing technologies in construction, with a specific focus on augmenting worker safety, work environment, and solve the difficulty of securing skilled workers. Implementing liquid waterproofing cement equipment resulted in a remarkable increase in adhesion performance by around 20%, coupled with a twofold acceleration in operational speed. The application of primer spraying apparatus led to a two-fold improvement in both penetration and adhesion performance, concurrently boosting the work speed by approximately the same factor. With urethane spraying equipment, the workload could be reduced to a third for the same layer thickness, adhesion performance enhanced by approximately 1.4 times, and workability improved by about 1.4 to 1.5 times. These findings suggest that such technological interventions can potentially enhance work efficiency, improve the quality of output, and mitigate safety accidents that are commonplace in manual operations. Furthermore, these advancements present promising solutions to the ongoing challenges of sourcing highly-competent workers in the industry.

• Journal of the Korean Recycled Construction Resources Institute
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• v.3 no.4
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• pp.348-354
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• 2015

Urethane waterproofing materials which currently being used most commonly in the Korean domestic market have high applicability and construct layers without forming any joints, but under the influence of low temperature and low humidity, as well as the thickness of the applied layer, the curing time of this material may become extended in construction sites. To resolve these issues, a proposed method of using water-hardening type of polyurethane waterproofing materials are being developed. However, there currently lacks any standards or evaluation methods on determining an optimal mixture ratio of water for the water-hardening polyurethane waterproofing materials. Therefore, workers and construction workers are relying on their hands-on-skills and experience to determine this ratio and are not able to obtain a consistent performance quality out of these materials. Therefore, for the establishment of a board applicability of the water-hardening polyurethane waterproofing methods in construction sites, this study objectively analyzes the changes in the performance of these materials depending on the changes of the water mixture ratio and attempts to procure the optimal ratio on the basis of forming a provisionary standard. The study prepares mixtures of varying ratio(no water added, 5, 10, 15, 20, 25, 30, 40 and 50) and conducts comparative analysis respective mixtures' performances and their changes in the physical properties in an objective manner and proposes a provisional optimal value that can serve as a data base that can be used as a reference for future studies.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.08a
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• pp.357-357
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• 2011

그래핀은 육각형 구조로 이어진 탄소원자가 단일층을 형성한 현존하는 가장 얇은 나노물질로서, 면상에서의 우수한 전기적 열적 전도도와 화학적 안정성 등으로 많은 주목을 받고 있다. 이러한 그래핀의 우수한 특성들은 뛰어난 기계적 특성 및 높은 광 투과성과 맞물려 향후 플렉서블 투명전도막 등으로의 응용이 기대되고 있는 상태이다. 이러한 그래핀을 얻는 방법에는 물리 화학적 박리법, 산화규소의 흑연화, 열화학기상증착법(CVD) 등 많은 방법들이 존재하는데, 이중 CVD방법이 대면적으로 두께 균일도가 높은 그래핀을 얻는데 가장 적합한 방법으로 알려져 있다. 본 연구에서는 CVD방법을 이용하여 합성한 그래핀을 투명글래스 위에 전사하는 공정을 통하여 김서림방지(antifogging) 필름을 제작하였고, 그 면 발열특성에 대하여 조사하였다. 메탄가스를 원료가스로 합성한 그래핀 투명막은 가시광 영역에서 80% 이상의 투광도와 500~600 ${\Omega}/sq$ 정도의 면저항을 나타내었다. 또한 금 나노입자 또는 플라즈마 도핑 등의 후처리 공정을 통하여 면 발열특성의 향상을 도모하였으나 합성상태의 그래핀을 이용하는 것이 가장 우수한 면발열특성을 나타낸 것으로 확인하였다. 본 연구결과는 겨울철 자동차 유리표면의 성에 제거 등의 응용에 유용할 것으로 기대된다.

• Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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• 2007.06a
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• pp.238-243
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• 2007

최근 FPD에 투명전극으로 사용되는 ITO는 뛰어난 전기적, 광학적 특성을 가지고 있다. 하지만 ITO는 저온공정의 어려움과 ITO의 원료인 In의 수급 불안정 및 스퍼터링 시 음이온 충격에 의한 막 손상으로 인한 저항 증가 등과 같은 것들이 문제점으로 지적되고 있다. 본 실험에서는 ITO 투명전극을 대체하기 위한 물질로 2wt.%의 Al이 도핑된 ZnO 세라믹 타겟을 이용한 RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 상온, $150^{\circ}C,\;225^{\circ}C,\;300^{\circ}C$ 및 다양한 증착압력 하에서 유리기판 위에 AZO 투명전도막을 증착하였다. 박막의 결정성과 입자의 크기 증착조건에 영향을 받았다. AZO 박막의 전기적특성은 기판온도가 고온일수록 향상되었으며, 박막의 두께가 200nm으로 일정할 때 가시광 영역에서의 투과도는 평균 80% 정도였다.

• Journal of the Society of Naval Architects of Korea
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• v.45 no.6
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• pp.637-645
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• 2008

It is very hard to control the quality of coating work in shipbuilding process, because it is highly affected by several parameters such as space between object and nozzle tip, spray velocity, pressure, tip size, etc.. Even so a coating work in shipbuilding is done by workers' experience and skill as yet. It causes not only an excessive use of paints but also a decrease of productivity. In order to solve this problem, we developed a formula that predicts the film thickness and determined the proper coating pattern. Also we had done a series of experiments to verify the results of this study.

• Proceedings of the KAIS Fall Conference
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• 2004.06a
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• pp.291-293
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• 2004

본 연구에서는 대전방지 효과를 나타낼 수 있는 열경화형 반응성 대전방지제를 합성하여 그 응용성을 고찰하였다. 열경화성 대전방지제는 수용성 수지에 무게비로 $5\~20wt\%$범위로 첨가하여 사용하였으며 코팅 도막 형성을 위하여 PVC인테리어필름에 코팅 후, $80\~150^{\circ}C$에서 2$\~$20분 경화시켰다. 코팅된 PVC 인테리어필름의 대전방지성을 고찰한 결과, 부착력, 대전방지성, 내오염성 둥이 우수하였으며 코팅막의 두께와 첨가량에 따라 대전성과 부착력에 차이가 있음을 알 수 있었다.