Pin-to-plate DBD system을 이용하여 HMDS/$O_2$ 유량 변화에 따라 증착된 $SiO_2$ 박막 특성 분석
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- 한국진공학회:학술대회논문집
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- 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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- pp.447-447
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- 2010