• The Journal of the Acoustical Society of Korea
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• v.17 no.8
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• pp.88-92
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• 1998

본 논문에서는 다층구조물에 대한 토모그라픽 영상을 복원하기 위해 기존의 SLAM 시스템에 쿼드러쳐 검출기와 시료회전장치를 부가하여 STAM 시스템을 구성하고 BFP 알 고리즘을 이용하여 영상복원 프로그램을 개발하였다. 본 실험에서는 시료로서 알루미늄을 사용하여 2개 층이 서로 다른 패턴을 갖는 불균질 층을 만들고 그 사이를 물로써 채워진 다 층구조물을 구성하였으며 또한 불균질 층 간격을 각각 8λ, 10λ 그리고 12λ가 되도록 제 작하였다. 이들 시료는 STAM 시스템에서 4중 프로젝션(0°, 90°, 180°, 270°)시켜 토모 그라픽 데이터를 획득하고 이를 영상처리하여 토모그라픽 영상을 복원하였다. 영상분석 결 과, 본 STAM 시스템은 4중 프로젝션시 12λ의 불균질 층 간격에서 높은 분해능의 토모그 라픽 영상을 얻을 수 있었고 각 층에 대한 위치를 결정할 수 있었다.

• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 2011.05a
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• pp.32.2-32.2
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• 2011

반도체 생산공정에서 CMP (Chemical-mechanical planarization) 공정은 우수한 전기전도성 재료인 Cu의 사용과 다층구조의 소자를 형성하기 위해서 도입되었으며, 최근 소자의 집적도가 증가함에 따라 CMP 공정 비중은 점점 높아지고 있다. Cu CMP 공정에서 연마제인 슬러리는 금속 표면과의 물리적 화학적 반응을 동시에 사용하여 표면을 연마하게 되며, 연마특성을 향상시키기 위해 산화제, 부식방지제, 분산제 및 다양한 계면활성제가 첨가된다. 하지만 슬러리는 Cu 표면을 평탄화하는 동시에 오염입자, 유기오염물, 스크레치, 표면부식 등을 발생시키며 결과적으로 소자의 결함을 야기시킨다. 특히 부식방지제로 사용되는 BTA (Benzotriazole)은 Cu CMP 공정 중 Cu-BTA 형태로 표면에 흡착되어 오염원으로 작용하며 입자오염을 증가시시고 건조공정에서 물반점 등의 표면 결함을 발생시킨다. 이러한 문제점을 해결하기 위해 Cu 표면에서 식각과 부식반응을 최소화하며, 오염입자 제거 및 유기오염물을 효과적으로 제거하기 위한 Post-CMP 세정 공정과 세정액 개발이 요구된다. 본 연구에서는 오염입자 및 유기물 제거와 동시에 표면 거칠기와 부식현상을 제어할 수 있는 post Cu CMP 세정액을 개발 평가하였다. 오염입자 및 유기오염물을 제거하기 위해서 염기성 용액인 TMAH 사용하였으며, Cu 이온을 용해할 수 있는 Chelating agent와 표면 부식을 억제하는 부식 방지제를 사용하여 세정액을 합성하였다. 접촉각 측정과 FESEM(field Emission Scanning Electron Microscope) 분석을 통하여 CMP 공정에서 발생하는 유기오염물과 오염입자의 흡착과 제거를 확인하였으며 Cu 웨이퍼 세정 전후의 표면 거칠기의 변화와 식각량을 AFM(Atomic Force Microscope)과 4-point probe를 사용하여 각각 평가하였다. 또한 세정액 내에서의 연마입자의 zeta-potential을 측정 및 조절하여 세정력을 향상시켰다. 개발된 세정액과 Cu 표면에서의 화학반응 및 부식방지력은 potentiostat를 이용한 전기화학 분석법을 통해서 chelating agent와 부식방지제의 농도를 최적화 시켰다. 개발된 세정액을 적용함으로써 Cu-BTA 형태의 유기오염물과 오염입자들이 효과적으로 제거됨을 확인하였다.

• Journal of the Korean Institute of Landscape Architecture
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• v.40 no.6
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• pp.161-172
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• 2012

The purpose of this study is to classify, evaluate and grade the existing highway tunnels to increase landscape and natural statistics keeping the structural safety about tunnel gates area and induce the ones that will be constructed in the future by drawing the improvements and restoring the techniques as an environment-friendly. To examine the types of tunnel gate area, total 54 tunnels were investigated by selecting Gyeongbu Expressway, Yeongdong Expressway, and Jungang Expressway. Tunnel entrances and exit ports were classified as a Wall-closed type and Protruding type, which is based on tunnel gate type. Vegetation Landscape types were classified as Multilayer-Same as the surrounding landscape_(MS), Multilayer-Difference of surrounding landscape_(MD), Single layer-Same as the surrounding landscape_(SS), Single layer-Difference of surrounding landscape_(SD), and a Desolate type which based on vegetation layers and environment-friendly. Potential vegetation recovery was identified based on the structural stability and revegetation potential of the tunnel. The factors include the structural stability of the slope height and slope gradient were selected. Revegetation potential was identified as a growth potential. This factor was used in the step to classify vegetation recovery potential of a tunnel. The result, which investigated the types of tunnel entrances and exit parts has found that the most typical in 33 places was a Wall closed type with 61.1% of the total ones. The case of vegetation landscape types was created but different from the ones surrounding it with 85.2% of the total ones. It is judged that the currently constructed vegetation of tunnel entrance and exit parts had put convenience on the safety and management before landscape consideration. In addition, tunnel entrance and exit parts with excellent potential for vegetation recovery were all Protruding type. In addition, it is judged that slope stability can easily obtain growth. Therefore, entrance and exist of the highway tunnels, which will be constructed in the future, should reflect location and the result of the natural and ecological survey in design by performing it in advance and their types, which minimize the damage area range, should be applied to the local characteristics suitably. In addition, the ecologically healthy tunnel construction should be done by introducing active vegetation recovery techniques based on its safety.

• Journal of KSNVE
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• v.8 no.4
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• pp.632-642
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• 1998

A method based on finite element discretization is developed for optimizing the polarization profile of PVDF film to create the modal transducer for specific modes. Using this concept, one can design the modal transducer in two-dimensional structure having arbitrary geometry and boundary conditions. As a practical means for implementing this polarization profile without repoling the PVDF film the polarization profile is approximated by optimizing electrode patterns, lamination angles, and poling directions of the multi-layered PVDF transducer. This corresponds to the approximation of a continuous function using discrete values. The electrode pattern of each PVDF layer is optimized by deciding the electrode of each finite element to be used or not. Genetic algorithm, suitable for discrete problems, is used as an optimization scheme. For the optimization of each layers lamination angle, the continuous lamination angle is encoded into discrete value using binary 5 bit string. For the experimental demonstration, a modal sensor for first and second modes of cantilevered composite plate is designed using two layers of PVDF films. The actuator is designed based on the criterion of minimizing the system energy in the control modes under a given initial condition. Experimental results show that the signals from residual modes are successfully reduced using the optimized multi-layered PVDF sensor. Using discrete LQG control law, the modal peaks of first and second modes are reduced in the amount of 12 dB and 4 dB, resepctively.

• Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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• 2004.05b
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• pp.883-887
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• 2004

현재 전국적으로 $\blacktriangle$ 전기, 가스, 상수도, 하수도, 열수송관 등을 공동 수용하는 '지하공동구'가 14개 도시 30개소에 160.4km $\blacktriangle$ 보행공간으로 병용되는 '지하도로'가 23개도시 118개소에 63만 $m^2$ $\blacktriangle$ 지하도로내 설치된 지하점포가 1만1천798개소 23만$m^2$이 있다. 이와 같이 현대 도시내에서 지상공간의 과밀도 개발로 인하여 지하공간의 수요가 증대되어 지하공간 구조물이 많이 설치되고 있는 반면, 지하상가, 지하천 등과 같은 지하공간 시설에서 발생할 수 있는 침수피해 대책이 미흡한 실정이다. 본 연구에서는 과거 지하공간의 침수피해 실태를 조사하고 그 사례에서 원인을 분석하여 기술적 해결책을 도출해 내며, 침수방지를 위한 대책으로 국내에서 사용하고 있는 기숙이나 국외(미국, 일본)의 침수방지 기술 및 대책, 침수시 가이드라인 등을 조사하였다. 또한 지하공간이 침수되었을 때 일어날 수 있는 위험성에 대하여 이론적인, 기술적인 조건에 대하여 조사하였다. 이를 토대로 지하공간의 유형 즉, 지하주택, 지하상가, 지하공공시설(지하차도, 지하철, 전철, 지하변전소)에 대한 구체적인 침수방지 기숙에 대한 기준을 제시함으로써 궁극적으로는 지방자치단체, 관련기관, 연구기관에서 지하공간 침수방지대책에 대한 기초자료로 활용할 수 있을 것으로 판단된다.

• Korean Journal of Plant Resources
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• v.28 no.5
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• pp.665-674
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• 2015

The final goal of this research is to develop a botanical biofiltration system, which combines green interior, biofiltering, and automatic irrigation, which can purify indoor air pollutants according to indoor space and the size of biofilter. The biofilter used in this experiment was designed as an integral form of water metering pump, water tank, blower, humidifier, and multi-level planting space in order to be more suitable for indoor space utilization. This study was performed to compare indoor air quality between the space adjacent to a botanical biofilter and the space away from the biofilter (control) without generation of artificial indoor air pollutants, and to evaluate plant growth depending on multiple floors within the biofilter. Each concentration of indoor air pollutants such as TVOCs, monoxide, and dioxide in the space treated with the biofilter was lower than that of control. Dracaena sanderiana ‘Vitoria’ and Epipremnum aureum ‘N Joy’ also showed normal growth responses regardless of multiple floors within the biofilter. Hence, it was confirmed that the wall-typed botanical biofilter suitable for indoor plants was effective for indoor air purification.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2015.08a
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• pp.237.1-237.1
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• 2015

OLED의 낮은 외부 광자 효율 문제를 해결하기 위해서는 발광층은 물론 전극 재료에 대한 연구가 함께 진행되어야 한다. 최근 플렉서블 디스플레이(Flexible Display) 분야에서 투명전극(Transparent Electrode)은 큰 주목을 받고 있다. 기존 전자소자의 투명전극으로는 인듐산화물(ITO, Indium Tin Oxide)이 널리 사용되어 왔으나, ITO의 주원료인 인듐(Indium)은 희소성으로 인해 앞으로 30년 후에 고갈될 것으로 예상되어 ITO를 대체할만한 투명전극 재료가 필요하게 되었다. 인듐이 포함되지 않은(Indium-free) 투명전극을 개발하려는 많은 연구들이 진행 중인데, 본 연구에서는 PEN(Polyethylene Naphthalate) 유연기판 상에 그래핀(Graphene)을 투명전극으로 구현하여 OLED의 효율을 높이는데 이용하고자 하였다. 화학 기상 증착(CVD, Chemical Vapor Deposition) 방법을 이용하여 Cu 호일 위에 그래핀을 성장시킨 후 PEN 유연기판에 전사하여 그래핀 투명전극을 구현하면서 그래핀 성장층을 단층 또는 다층으로 구분하여 성장시켜 각각의 투명전극을 구현해보았다. 유연기판 상의 그래핀의 상태를 확인하기 위해 라만 분광(Raman Spectroscopy) 분석을 이용하여 그래핀 고유의 라만 꼭지점(Raman peak)인 G 꼭지점(G peak: 1580 cm-1), 2D 꼭지점(2D peak: ~2700 cm-1)을 확인하였는데 그래핀 전사 상태가 양호하여 D 꼭지점(D peak: ~1360 cm-1)은 나타나지 않았다. 원자힘 현미경(AFM, Atomic Force Microscope) 분석을 통해 다층 및 단층 그래핀 표면의 거칠기(Roughness) 및 두께(Thickness)를 각각 확인할 수 있었고 자외선-가시광선 분광법(UV-Visible Spectroscopy) 분석으로 그래핀 투명전극과 유연기판의 투과도(Transmittance)를 분석하였으며, 단층 그래핀 투과도가 90%수준의 높은 값이 나타나 ITO보다 개선됨을 확인하였다. 그래핀 면저항은 TLM(Transmission Line Measurement)법을 통해 측정하였는데, 단층 그래핀의 경우 $800{\Omega}/{\square}$ 내외 수준임을 확인할 수 있었다. 본 연구에서는 근자외선 영역에서 높은 투과도와 우수한 전기적 특성을 가지는 그래핀 투명 전도성 전극 구조를 제안하고, 나아가 가시영역에서 ITO를 대체할 수 있는 투명 전도성 전극 물질을 개발함으로써 발광다이오드의 광효율을 높일 수 있는 투명 전도성 전극을 구현하였다.

• Journal of Korean Society of Coastal and Ocean Engineers
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• v.24 no.4
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• pp.247-256
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• 2012

The purpose of this study is to decide the permeability and the rate of flow in a way of both site investigation and backward analysis and the most reasonable numerical analysis by performing a seepage model test for measuring the deformation swept volume of the embankment body in order to review a stability of the sea dyke being composed of multi-layers depending on variation of infiltration. As a result of the review, it could be forecasted that sweeping loss would be taken place at the boundary between bed protection works and embankment materials of the sea dyke due to a permeability difference of the multi-layered bed foundation structures and the sea dyke deformation would be occurred as a result thereby. As result of a numerical analysis for the seepage model test, it could be observed that critical velocity method was found to be smaller than the numerical analysis value but its tendency was similar and therefore it was judged that this method could be applied for the actual cross section.

• KSCE Journal of Civil and Environmental Engineering Research
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• v.41 no.4
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• pp.347-355
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• 2021

During the earthquake, for multi-story structure, if the first floor is soft, the deformation will concentrate on that floor causing a serious damage to the column members which might leads to the collapse of the whole structure like Piloti structure during the Pohang earthquake in Korea. According to the 2016 National Disaster Management Research Institute's "Investigation of Seismic Reinforcement and Cost Analysis of Domestic Non-seismic Buildings", the rate of seismic resistance of private reinforced concrete buildings was 38.3 %. Among them, it was reported that the seismic-resistance ratio of the two to five-story structures was less than 50 %. Accordingly, the government is trying to improve the seismic rate through support projects, but the conventional seismic reinforcement methods are still expensive, and emergency construction is difficult. Therefore, in this study, the field applicability was evaluated by improving the reinforcement method using Velcro, which was developed through the research project of the Ministry of Land, Transport and Maritime Affairs in 2014. In order to improve the performance of the Velcro reinforcement method, introducing the initial tension of Velcro using high foaming rigid urethane filling between the Velcro and concrete of the columns was applied. Additionally, an experiment was conducted to evaluate the ductility of Velcro specimen from the concrete confinement effect. As a result, the ductility of the Velcro specimen was improved compare to Normal specimen. However, the energy dissipation capacity of VELCRO2 is better than VELCRO1, yet the maximum ductility of those two specimens did not show a significant difference. Therefore, the improvement of the internal filler material is still needed to have a better maximum ductility.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2010.06a
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• pp.24-24
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• 2010

대형구조물의 구조안정성 진단, 로봇과 같은 지능기계의 제어, 환경오염을 감지하기 위한 센서의 중요성은 날로 증대되고 있다. 이러한 센서의 감도와 성능을 높이기 위해서 소형화, 다기능화, 집적화가 요구되고 있는데, 고성능 센서소자들의 집적화를 위해서 기존에 적용된 벌크형태의 재료들을 박막화하여 다층적층 및 소형화할 필요가 있다. 집적화 센서의 구현에 있어서 전극박막은 센서의 특성을 좌우하는 중요한 역할을 한다. 일반적으로 금속박막이 전극으로 사용되고 있으나 열적 불안정성 및 박리현상의 문제점을 지니고 있다. 따라서 이를 해결하기 위해 전도성산화막을 전극으로 적용하고자하는 연구가 요구되고 있다. 전도성산화막을 전극으로 적용하면 센서소자의 성능이 개선되는 경향이 있다. $Sr_2FeMoO_6$(SFMO) 산화물은 자기장을 인가했을 때 저항이 감소하는 CMR(colossal magnetoresistance) 물질이며 상온비저항이 낮은 것으로 알려져 있다. 이중 페롭스카이트 (double perovskite) 구조를 갖는 $Sr_2FeMoO_6$ 박막은 센서소자의 전극으로 적용 가능할 것으로 생각되어 박막을 제조하고자 하였으며 미세구조와 전기전도 특성을 조사하였다. 박막제조를 위해서는 RF 스퍼터법을 사용하였다. 스퍼터를 위한 타겟은 고상반응법으로 분말타겟을 제조하였다. Ar/$O_2$ 가스 유랑변화, 압력변화, 기판 온도변화가 박막의 상형성 등 박막특성에 미치는 영향을 조사하였다. 기판으로는 $SiO_2$(100nm)/Si 기판을 사용하였다. 증착직후에는 비정질막이 얻어졌으며 SFMO 상을 만들기 위해서는 후열처리가 필요하였는데, 환원성 가스 분위기 [$H_2$(5%)/Ar] 에서 열처리 조건을 최적화하여 이중 페롭스카이트 구조의 단일상 박막을 제조할 수 있었다. SFMO 단일상 박막은 증착시에나 후열처리 시 산소의 억제가 중요함을 알 수 있었다.