• Title/Summary/Keyword: 다층조절효과

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PECVD를 통해 향상된 SiN/SiO2/ITO 다층박막의 무반사 효과에 대한 연구

  • Choe, Min-Jun;Gwon, Se-Ra;Song, Ae-Ran;Jeong, Gwon-Beom;An, Gyeong-Jun;Baek, Ju-Yeol;Kim, Bu-Gyeong;Jang, Hyeok-Gyu
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2016.02a
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    • pp.274-274
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    • 2016
  • 터치스크린패널로 응용하기 위하여 80%이상의 높은 투과도와 낮은 저항이 요구된다. 그 중에서도 무반사 효과 (anti-reflective, AR) 를 크게하여 투과도를 향상시키는 방법으로 나노구조물, 증착시 경사각, 다층박막 방법 등이 연구 개발되고 있다. 단일 박막을 이용하여 무반사 코팅을 하는 경우, 정밀한 굴절률 조절이 어려우며 낮은 반사율 영역의 선폭이 좁은 단점이 있다. 반면, 저/고굴절률 다층박막의 경우 비교적 굴절률 조절이 용이하고 가시광영역 전반적으로 높은 투과도를 가질 수 있다. plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) 증착법을 이용하여 무반사 효과를 증대시키기 위해 저/고굴절률 다층구조의 박막을 두께조합에 따라 평가하였으며, 가장 널리 사용되고 있는 Sputtering증착법과 비교하여 연구하였다. 제작된 다층박막의 구조는 glass(sub.)/SiN/SiO2/ITO 이며, 무반사 코팅층인 SiN/SiO2층은 각각 PECVD와 Sputtering 증착법을 통해 성장되었고, ITO는 스퍼터링 증착법을 이용하여 동일하게 성장하였다. 그 결과 PECVD 증착법이 Sputtering 증착법에 비하여 가시광영역(400~800nm)에서 더 높은 투과도를 얻게 되었다. 결과의 차이에 대해서 PECVD 증착법과 Sputtering 증착법으로 성장된 SiN, SiO2 박막의 광학적 특성과 물리적 특성의 변화를 spectroscopic ellipsometry (SE), Rutherford backscattering (RBS), atomic force microscopy (AFM) 을 이용하여 비교, 분석하였다.

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Tailoring Magnetic Interlayer Coupling Contribution via Lateral Confinement (가로 가둠을 통한 자성층간 결합 기여도 조절)

  • Lee, Dong Ryeol
    • Journal of the Korean Magnetics Society
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    • v.26 no.5
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    • pp.149-153
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    • 2016
  • In Fe/Gd multilayers, patterning effect on the interlayer coupling was studied by comparing patterned and unpatterned samples that were cut from a multilayer film. A comparative study of the two samples via temperature dependent Gd-specific magnetization vector using X-ray magnetic circular dichroism (XMCD) shows that the temperature dependence of the Gd magnetization vector can be modified in the patterned sample due to a competition between the patterning and antiferromagnetic interlayer coupling effects.

Substrate-induced Magnetic Anisotropy and GMR Effects in Cu/Co Multilayers (Cu/CO 다층 박막에서의 거대 자기 저항과 자기 비등방성)

  • Park, C.M.
    • Journal of the Korean Magnetics Society
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    • v.13 no.6
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    • pp.243-245
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    • 2003
  • The anomalous angular modulation of magnetoresistance in Co/Cu multilayers is explained assuming substrate-induced magnetic anisotropy. The magnetic parameters of Co/Cu multilayers is determined using angular modulation of magnetoresistance and theoretical model including substrate-induced anisotropy. This mechanism introduces a new possible way of modulating the giant magnetoresistance.

Relationship between Sputtering Pressure of Underlayer and M-H Behavior in Co/Pd and Co/Pt Perpendicular Magnetic Recording Media (Co/Pd 및 Co/Pt 수직자가기기록매체에 있어서 바닥층의 스퍼터링 압력과 M-H 거동의 관계)

  • 오훈상;이병일;주승기
    • Journal of the Korean Magnetics Society
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    • v.6 no.4
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    • pp.235-241
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    • 1996
  • Co/Pd and Co/Pt multilayered thin films for perpendicular magnetic recording media were fabricated by sput¬tering method and the effects of the sputtering pressure during the formation of Pd or Pt underlayers on the magnetization behavior and coercivity of the multilayers were investigated. It was found that the coercivity of Co/Pd multilayers was strongly dependent on the sputtering pressure of underlayer and could be enhanced to a large extent merely by increasing the sputtering pressure of underlayer, while in case of Co/Pt films, the degree of coercivity enhancement by controlling the sputtering pressure of underlayer was almost negligible. Coercivity variation of Co/Pd and Co/Pt multilayers with the underlayer material and deposition pressure of underlayer could be well explained in terms of the interface roughness of multilayer films induced by underlayer topology, which could also be correlated to the change of perpendicular anisotropy energy and magnetic reversal feature with the sputtering pressure of underlayer. Kerr rotation angle was hardly affected by the preparation conditions of underlayers.

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A Study on Multi-level Models in life satisfaction of Elderly Living alone : Moderating Effect of Elderly's Leisure Activity and Social Support (다층모형을 활용한 독거노인의 삶의 만족도에 미치는 영향요인 분석 : 생산적 여가참여와 사회적지지의 조절효과를 중심으로)

  • Kang, Jong-Pil;Yoon, Jiyoung
    • Journal of Digital Convergence
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    • v.15 no.5
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    • pp.89-98
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    • 2017
  • This study aims to examine whether the life satisfaction of the elderly living alone is influenced by demographic background, economic activity, productive leisure participation and the moderating effect of social support. Data in this study was from 5th Korean Retirement Income Study, and 890 elderly living alone were extracted and analyzed, and a multi-level analysis was used to analyze the data because the life satisfaction of the elderly living alone has a random effect according to the region. The results of this study were as follows; First, the elderly living alone showed high life satisfaction when they live in province rather than Seoul or metropolitan city, spend higher living expenses, do economic activities, and they are economically independent. Second, those who participated in productive leisure activity were more satisfied with life than those who did not, and those who have social support are more satisfied with their life. Third, the relationship between productive leisure participation and life satisfaction was moderated by social support. When the elderly living alone participate in productive leisure activities, they feel more life satisfaction according to social support given to them.

A Study for Structural Behavior of R./C beams Strengthened with New Bonding Methods (보강재의 변형 부착에 따른 보의 구조적 거동)

  • 한만엽;송병표
    • Magazine of the Korea Concrete Institute
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    • v.10 no.3
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    • pp.197-208
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    • 1998
  • 최근들어 손상된 실구조물의 보강공법들이 적용,발전되어왔다. 가장 보편적으로 사용된공법이 강판과 탄소섬유를 이용한 공법이지만, 이론적인 배경과 적용기술이 아직은 정립되어었지 않은 상태이다. 강판보강의 경우 단부에서의 응력집중이 보강 효과를 결정짓는 가장 중요한 변수이므로, 본 연구에서는 이러한 응력집중을 완화하기 위하여 단부에 보강판과확대판을 부착하여 실험을 하였고, 탄소섬유 보강 실험에서는 다층 시공시 보강량을 조절하여 실험하였다. 실험 결과는 하중-처짐, 항복하중, 최대하중, 보강재의 전단응력의 분포와 보강재의 파괴양상을 분류하여 정리하였다. 실험을 통하여 강판 보강의 경우 본 연구에서 제안된 단부에서의 보강방법이 보강효과가 향상된 것을 확인하였고 탄소섬유 보강시에는 탄소섬유의 보강량을 조절함으로써 경제적인 설계와 시공이 가능한 것으로 나타났다.

Design of Nonpolarizing Beam Splitter Using the Multilayer Thin Film System (다층박막계를 이용한 비편광 광분리기의 설계)

  • 한성홍
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.4 no.2
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    • pp.162-167
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    • 1993
  • The reflectance and transmittance of dielectric films at nonzero angle of incidence show strong polarization effects, and for many applications these effects are not desirable. In this work, some design methods are introduced, and we designed the nonpolarizing beam splitter using the outest equivalent quarter-wave layers. During this, the reflectances are varied under the constant optical thickness.

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경사코팅 기술과 이를 이용한 완전화 박막의 제조

  • Jeong, Jae-In;Yang, Ji-Hun;Jang, Seung-Hyeon;Park, Hye-Seon
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.02a
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    • pp.506-507
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    • 2011
  • 경사코팅 기술(Oblique Angle Deposition; OAD)은 입사 증기가 기판에 수직으로 입사하지 않고 90도 보다 작은 각도로 비스듬히 입사하도록 조절하여 코팅하는 물리증착 기술의 하나로 피막의 조직을 다양하게 제어할 수 있는 방법으로 알려져 있다. 초기의 경사 코팅 기술은 경사각을 가진 정지된 기판 상에 코팅하였으나 최근에는 기판의 각도와 회전을 동시에 조절하여 이루어지는 소위 스침각 증착(Glancing Angle Deposition; GLAD) 기술이 개발되어 다양한 형태의 구조를 제어하는 연구가 활발히 진행되고 있다. 특히, 컴퓨터를 이용하여 입사각과 방위각을 정밀 제어함에 의해 나노 스케일의 Zigzag 및 나선형, 기둥형 조직 등 복잡한 형태의 박막을 제조하는 것이 가능하게 되었다. 현재, GLAD 기술과 다양한 형태의 나노 조직을 이용하여 각종 센서는 물론 태양전지와 같은 에너지 소자, 필터와 같은 광학코팅 등에 응용하기 위한 연구가 세계적으로 폭넓게 진행되고 있다. 본 연구에서는 조직의 치밀도 향상을 통한 특성 향상을 위해 Al 및 TiN 박막을 제조함에 있어서 경사코팅 기술을 응용하여 단층 및 다층 피막(각도를 반대로 하여 여러 층을 제조)을 제조하고 그 특성을 비교하였다. Al 박막은 UBM (Un-Balanced Magnetron) 스퍼터링 소스를 이용하여 타겟 표면과 기판 표면이 이루는 각도 즉, 입사빔과 기판이 이루는 각도를 각각 0, 30, 45, 60 및 90도의 각도에서 강판 및 실리콘 웨이퍼 상에 시편을 제조하되 단층 및 다층으로 시편을 제조하고 치밀도 및 내식성과 반사율 및 조도 등의 특성을 비교하였다. 그 결과 경사각으로 코팅한 시편에서 조도 및 반사율이 향상됨은 물론 치밀도 및 내식성이 향상됨을 확인하였다. 특히, 염수분무에 의한 내식성 시험에서 경사 코팅된 시편의 경우 내식성이 현저히 향상되었는데, 이는 경사 코팅 방법이 박막의 치밀도를 향상시켜 나타난 현상으로 판단된다. TiN 박막은 Cathodic Arc 방식을 이용하되 Al 박막과 동일한 방법으로 코팅을 하고 내식성 및 경도 등의 특성을 비교하였다. TiN 박막은 경사각이 커지면서 경도가 낮아지며 특히 다층막의 경우 경도 감소가 현저함을 알 수 있었다. 다만, 45도에서는 다른 경사각에 비해 약간의 경도 상승이 측정되었다. 경사각 코팅에서의 경도 감소는 피막의 경사에 의해 탐침이 미끄러지거나 또는 우선 방위에 의한 경도 증가 효과가 나타나지 않아 생기는 현상으로 판단되었다. Ferroxyl 시험을 이용한 기공도 시험에서는 경사각 코팅의 경우가 기공이 다소 감소함을 확인하였다.

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The relationship between peer rejection and victimization in elementary school classrooms in South Korea: The moderating effect of conflict norms (초등학생의 또래거부와 괴롭힘 피해행동의 관련성: 학급 갈등규범의 조절효과)

  • Sim, Jae-Ryang;Park, Jong-Hyo
    • (The) Korean Journal of Educational Psychology
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    • v.32 no.3
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    • pp.549-569
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    • 2018
  • The purpose of this study is to examine the relationship between peer rejection and victimization among schoolchildren and to test whether conflict norms in the classroom moderated this relationship. The analysis used the third year data derived from ClassNet research (Park, et al., 2017) supported by the National Research Foundation of Korea. The sample comprised fourth-grade through sixth-grade students in 52 classrooms of 7 elementary schools in South Korea (N = 1194). A series of multi-level analyses were performed to fulfill the study's purpose using variables obtained by peer nomination, such as social rejection, victimization, bullying perpetration, and teacher-student conflict. The results found that boys experienced more victimization than girls and peer rejection significantly increased victimization. Furthermore, conflict norms in the classroom moderated the relationship between peer rejection and victimization. Peer rejection significantly increased the extent of victimization in classrooms with relatively high levels of conflict norms. The study concludes with a discussion on the significance of conflict norms and the educational implications of the results with a focus on ways that teachers can facilitate healthier classroom environments.