• 제목/요약/키워드: 다성분

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등가산화막두께 스케일링을 위한 다성분 산화막에 관한 연구 (Equivalent Oxide Thickness Scaling for Multi-Component Dielectric Thin Film)

  • 안지훈
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2015년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.155-155
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    • 2015
  • 메모리 반도체의 지속적인 scale down을 위해서는 고유전 산화막을 이용한 등가산화막두께(EOT) 스케일링이 이뤄져야 한다. 특히, DRAM의 커패시터의 경우, EOT scaling을 위한 신 물질 및 공정개발이 지연되면서 전극과 유전체 사이의 계면특성 개선, 또는 기존에 사용하던 물질을 지속적으로 사용할 수 있는 방안에 대한 필요성이 대두되고 있다. 본 발표에서는 DRAM 커패시터 소재 개발이 겪고 있는 어려움에 대해 소개하고 기존에 반도체 라인에서 사용하고 있는 물질들을 조합한 다성분계 산화막을 이용하여 EOT 0.5 nm를 구현하기 위한 연구 결과에 대해 보고한다. 또한 앞으로 지속적인 커패시터 유전체 개발을 위해 관심을 갖고 수행해야 하는 연구에 대해 함께 다룬다.

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연속열역학을 이용한 다성분 혼합물의 상평형 (Phase Equilibria in Multicomponent Mixtures using Continuous Thermodynamics)

  • 용평순;김기창;권영중
    • 산업기술연구
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    • 제18권
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    • pp.267-275
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    • 1998
  • Continuous thermodynamics has been applied for modeling of phase equilibria in multicomponent mixtures, to avoid disadvantages of the pseudo-component and key-component method. In this paper continuous thermodynamic relations formulated by using the Pate-Teja equation of state were adopted for calculations of phase equilibria in natural gas mixtures, crude oil mixtures and mixtures extracted by supercritical $CO_2$ fluids. Calculations of phase equilibria were performed by two procedures ; a moment method coupled with the beta distribution function and a quadrature method combined with Gaussian-Legendre polynomials. Calculated results were compared with experimental data. It was showed that continuous thermodynamic frameworks considered in this paper were well-matched to experimental data.

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기존 원전용 콘크리트와 다성분계 고유동 콘크리트의 장·단기거동 비교 실험 연구 (The Comparative Experimental Study of short and long-term Behavior of the Blended High-Fluidity Cement Concrete and Existing Nuclear Power Plant Structural Concrete)

  • 이평석;권기주;김수만
    • 한국구조물진단유지관리공학회 논문집
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    • 제8권4호
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    • pp.195-202
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    • 2004
  • 본 연구에서는 결합재인 시멘트 외에 플라이애쉬, 고로슬래그 및 석회석 미분말을 사용하고 고성능감수제 등의 혼화제를 사용하여 고유동 무다짐이면서도 수화열을 적게 발생하는 콘크리트의 최적배합을 도출하였다. 이와 같이 선정된 배합으로 제조한 콘크리트의 장 단기거동을 기존 원전 콘크리트의 거동과 비교 검토하는 실험을 실시하였다. 연구결과 석회석이 혼합된 다성분계 고유동 콘크리트가 기존 원전용 콘크리트 보다는 시공성과 내구성이 향상되었음을 확인할 수가 있었다.

2차원 연속 웨이블릿을 이용한 편광 필름 결함 검출 (Polaroid Film Defect Detection Using 2D - Continuous Wavelet Transform)

  • 정창도;김세윤;주영복;윤병주;최병재;박길흠
    • 한국지능시스템학회논문지
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    • 제19권6호
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    • pp.743-748
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    • 2009
  • 본 논문은 2차원 연속 웨이블릿을 이용하여 조명에 의한 불균일한 휘도성분을 제거하여 TFT Display 핵심 부품인 편광필름 영상내의 결함을 검사 할 수 있는 방법을 제안한다. 영상 신호는 불균일한 휘도 분포와 노이즈 신호, 그리고 결함 신호로 구성되어 있다. 영상의 2차원 웨이블릿 변환은 스케일이 다른 여러 성분이 중첩된 다해상도 구조를 형성한다. 본 논문에서는 1차원 미분 가우시안 웨이블릿을 적용하여 영상에 중첩되어 있는 다해상도 성분 중 배경 휘도 성분을 효율적으로 추출하여 제거하는 전처리 기법을 제안한다. 이를 이용하여 원 영상에서 배경 성분을 분리할 수 있어 보다 신뢰성 있게 결함을 검출할 수 있다.

HPLC 를 이용한 화장품 중 살균보존제 다성분 동시분석법 연구 (Analytical Method of Multi-Preservatives in Cosmetics using High Performance Liquid Chromatography)

  • 이민정;김성수;이윤정;이병철
    • 대한화장품학회지
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    • 제48권4호
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    • pp.321-330
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    • 2022
  • 본 연구는 HPLC-PDA를 이용하여 화장품의 보존제 15 종, 자외선 차단제 2종 및 항산화제 1 종에 대해 신뢰성 있는 결과를 확보할 수 있는 최적의 다성분 동시분석법을 구축하고자 하였다. 이동상의 수소이온 농도(pH)가 분석성분의 산해리상수(pKa)에 영향을 주기 때문에 피크의 머무름 시간과 면적값 변화가 생기는 문제를 확인하였고, 이동상 조제시 0.1% H3PO4 첨가량(mL)으로 pH를 조절하는 방법으로써 피크 분리조건을 확립하였다. 시험법의 유효성 검증 결과, 검량선의 직선성(R2)은 0.999 이상을 얻었으며 화장품 2 종(크림, 샴푸)에 대해 정확성은 87.9 ~ 101.1%, 정밀성은 0.1 ~ 7.6% 의 결과를 얻었다. 성분별로 검출한계(LOD)는 0.1 ~ 0.2 mg/kg, 정량한계(LOQ)는 2.0 ~ 4.0 mg/kg인 것으로 나타났다. 또한 합성보존제인 methylparaben과 차이점이 적어 HPLC에서 성분분리가 어려웠던 천연성분인 p-anisic acid를 동시에 분리할 수 있었다. 본 연구를 통해 화장품 중 사용상 제한이 필요한 성분들에 대한 품질관리 및 안전성 확보에 효과적으로 활용될 것이다.

원자력 발전소 이온교환수지탑 모델링 (Ion Exchange Modeling for Demineralizer in Nuclear Power Plants)

  • 이인형;안문
    • 한국산학기술학회:학술대회논문집
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    • 한국산학기술학회 2002년도 춘계학술발표논문집
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    • pp.140-143
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    • 2002
  • 연속 이온교환 평형 모델을 개발하여 원자력발전소 탈염기의 성능을 평가한 결과 특정이온의 누출 현상과 유입수 및 유출수중 이온농도 비율이 운전조건에 따라서 달라짐을 확인하였다. 본 모델은 국부 불완전 평형을 고려할 수 없으나 다성분 존재하의 경쟁적 이온교환을 묘사할 수 있는 장점을 가지고 있다.