• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
• /
• v.27 no.3
• /
• pp.104-110
• /
• 2010

Cyclic deformations of polymer foam film are simulated using the finite element method. Material of polymer foam film is polypropylene (PP). The calculated polymer foam film is micro-scale thin film has cellular structure. The polymer foam film is used in ferro-electret applications. The polymer foam film is idealized to one cell structure as lens shaped stretched truncated octahedron model. Cyclic deformation is performed by uniaxial stretching. Stretching direction is perpendicular to plane of cellular film. Various cyclic strain amplitudes, pore wall thicknesses, pore shape are investigated to find deformation tendency of cellular structure. Consequently, cellular structure has various macroscopic stresses on cyclic deformation with various pore thickness and pore shape.

• Journal of the Korean Ceramic Society
• /
• v.36 no.3
• /
• pp.307-318
• /
• 1999

동결건조법에 의한 저유전성 실리카 박막의 제조공정 개발 및 층간 절연물질로의 응용성이 연구되었다. 코팅용 폴리머 실리카 졸은 TEOS와 이소프로판올(iso-propanol:IPA)또는 터트부탄올(tert-butanol:TBA)을 용매로한 2단계 공정에 의하여 제조되었으며, 이들 졸을 p-Si(111)웨이퍼 상에 스핀코팅한 습윤겔 박막을 동결건조 하여 다공성 실리카 박막을 제조하였다. 균일한 박막 코팅층을 얻을 수 있는 실리카 졸의 최적 점도범위는 IPA와 TBA를 용매로 한 실리카 졸의 경우 각각 10~14 cP와 20~30cP 정도였으며 스핀속도는 2000 rpm 이상이었다. 결함이 없는 다공성 실리카 박막은 TBA(빙점 $25^{\circ}C$)를 동결용매로 하여-196$^{\circ}C$까지 급랭시킨 후 $0^{\circ}C$와 0.1 torr 까지 가열 감압한 상태에서 고상의 TBAFMF 모두 제거한 다음 20$0^{\circ}C$까지 열처리하여 제조되었다. 다공성 실리카 박막의 두께는 졸의 타입과 스핀코팅 속도에 의해 2500~15000$\AA$범위 내에서 제어가 가능하였으며 이들 막의 밀도와 유전상 수 값은 각각 0.9$\pm$0.3g/㎤(기공율 60$\pm$10%)과 2.4 정도였다.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
• /
• 2013.05a
• /
• pp.631-632
• /
• 2013