• 전기의세계
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• v.39 no.12
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• pp.63-67
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• 1990

MOSFET의 드레인 불순물 농도 분포는 hot carrier효과 및 드레인 누설전류 특성에서 중요한 요소가 된다. 특히 MOSFET의 게이트 아래 부분의 수평 농도는 게이트 전압에 의한 누설전류 특성에 큰 영향을 주는 것으로 알려져 있다.[1][2]. 보통의 수직농도분포는 SIMS기법, ARS 방법등을 이용하여 측정이 가능하다. 그러나, 수평 불순물 농도분포는 실험적으로 구하는 방법이 없었고 보통 이차원 공정 시뮬레이션(MINIMOS, SUPRA등)을 통하여 산출하였다. 최근 드레인의 수평 불순물 농도분포를 게이트와 드레인 사이의 용량 측정에 의해 구하는 방법이 제시되었다[3]. 이방법에서는 농도가 높은 경우에는 수평접합깊이를 절대적인 값으로 구하지 못하였다. 본 논문에서는 게이트-드레인간 용량 측정에 의해 수평접합깊이를 구하고 그 농도분포를 추출하는 방법을 제시하고, ASR방법에 의해 측정된 수직 불순물 농도분포와 비교하고 검토한다.

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.2 no.3
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• pp.374-383
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• 1993

필라멘트와 Si 기판 사이의 기전력을 20, 80, 140, 200V로 증가시키면서 EACVD에 의하여 성장된 다이아몬드 박막에 대하여 다이아몬드/Si 계면분석 및 계면강도를 측정하였다. 주사형전자현미경(SEM), 고분해능투과형전자현미경(HRTEM), 오제이전자분석기(AES)에 의해 계면상태를 분석한 결과, 기전력 증가에 따라 활성탄화수소 이온(CmHn-)에너지가 증가되어져 CmHn-이 Siso로 침투(Impringement)가 증가되고 침투된 높은 에너지의 CmHn-이 Si과 화학결합하여 생성되는 SiC층 깊이 및 농도 분포도 증가된다. 풀 시험(Pull test)에 의한 계면강도 측정 결과, SiC층 깊이 및 농도분포가 증가할수록 계면강도가 증가하였다. 관찰된 파면과 파면의 X-선 메핑 결과 및 HRTEM과 AES에 의한 분석 결과, 기전력 증가에 따라 공극율이 적고 치밀한 다이아몬드 박막이 성장된다. 그리고 생성되는 SiC층 농도 및 깊이 분포가 증가함에 따라 다이아몬드/Si 계면이 강화되고, 상대적으로 파괴는 다이아몬드/Si 계면이 아닌 SiC층이나 Si 내부에서 발생된다. 결국, 기전력을 증가하여 활성탄화수소이온의 에너지를 증가함으로써 계면강도가 우수하며 공극율이 매우 적고 치밀한 다이아몬드 박막을 성장할 수 있다.

• Journal of Korean Ophthalmic Optics Society
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• v.16 no.4
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• pp.403-408
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• 2011

Purpose: To study the concentration distribution and diffusion depth in tinted lenses using the law of diffusion. Methods: The measured values taken from experiments were fitted with the theoretical fitting curve induced on the basis of Fick's second law of diffusion. Results: The fitting curves were in very good agreement with the measured values. As the results, we found the quantitative relationship between mass of dye solution diffused into the tinted lens per unit area and dyeing time, and evaluated concentration distribution of dye in tinted lens, diffusion depth, etc. Conclusions: The dyeing mechanism of tinted lenses can be well described by diffusion theory.

• Proceedings of the IEEK Conference
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• 1998.06a
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• pp.319-322
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• 1998

본 연구에서는 마스크의 폭을 각각 0.3.mu.m , 0.1.mu.m으로 설정하여 boron이 도핑된 실리콘 기판 위에 arsenic을 주입 시켰을때, 열처리 전과 각각 inert, dry, wet 산화분위기에서 열처리 한 후의 도핑 농도 프로파일과 수직 깊이와 측면으로의 퍼짐을 시뮬레이션하여 2차원적으로 관찰하였다. 마스크 폭을 축소시킴으로 인해 이온의 입사 방향으로 더 깊이 침투됨이 관찰되었으며, 더욱이 측면으로도 퍼짐이 관찰되었다. 열처리 전과 열처리 후의 비교에서도 농도프로파일이 보다 더 기판 내에서 넓게 분포됨이 관찰되었다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.02a
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• pp.279-279
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• 2013

차세대 태양전지로 주목받는 화합물 박막 태양전지(CIGS, CdTe, etc)는 광흡수계수가 매우 높아 얇은 두께의 광흡수층으로도 빛을 효과적으로 흡수할 수 있으므로 광흡수층의 역할이 매우 중요하며 이에 대한 정확한 정보와 이해는 필수적이다. 특히 GIGS 박막 태양전지의 정량 및 각 원소의 깊이 방향의 분포를 분석하는 것은 박막형 태양전지 개발에 크게 기여한다 [1,2]. 본 실험에서는 조성비를 알고 있는 균질한 CIGS박막을 표준시료로 사용하여 ICP-MS로 측정하여 평균농도를 구한 뒤 TOF-SIMS, D-SIMS, Auger Electron Spectroscopy (AES) 로 깊이 방향 분석 결과를 통해 상대감도(RSF)를 계산한 후 각 원소의 농도로 변환하여 정량분석 결과를 얻었다. 일반적으로 손쉽게 정량적인 정보를 얻는 AES에 비해 정량성이 떨어지는 TOF-SIMS와 D-SIMS는 스퍼터링시 사용되는 Cs 빔과 시료 내 금속과의 클러스터 이온(GaCs+와 InCs+)의 깊이 방향 조성을 이용하면 매트릭스 효과를 배제할 수 있어서 좀 더 정확한 정량 분석이 가능하므로 시료내 금속과 Cs 이 결합된 클러스터 이온의 깊이 방향 조성을 측정하여 각원소의 농도를 계산하였고 스퍼터링 에너지를 포함한 실험 변수에 따른 재현성 및 정량성의 차이를 비교분석하였다. 또한 CIGS층에 불순물로 들어 있는 미량원소들의 깊이 분포도도 함께 관찰하였다.

• Applied Biological Chemistry
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• v.38 no.2
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• pp.157-162
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• 1995

A reservoir located at Chollanam-do province was selected to estimate annual deposition rate, volume of annually deposited material, and annual soil loss from the watershed using Cs-137 redistribution. Sediment profiles of the reservoir indicated an average annual deposition rate of 1.56 cm $yr^{-1}$ and the total deposited volume of $166530\;m^3$ since 1963/64. Annual soil loss from the watershed was 25 ton $ha^{-1}$. Particle size analysis showed that most of the particles were silt-sized ones.

• Korean Journal of Soil Science and Fertilizer
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• v.35 no.1
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• pp.47-58
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• 2002

Much of the plastic film house soils in the southern part of the Korean peninsula are managed using a upland-paddy rotation culture system (hereafter, RS) to prevent salt accumulation in soil. However, information on the effects of RS on soil properties and environmental conservation is limited. In order to determine the effects of RS on soil properties, 22 fields under RS and 20 fields under a non-rotation system (hereafter, NRS) in plastic film houses were selected in Chinju, in southern Korea, and the P distribution characteristics were investigated, including the chemical properties. The RS contributed to the removal of water-soluble salts in the surface layer and to the redistribution of organic matter evenly in the soil profile. In the AP horizon, available phosphorus levels were $1,611mg\;kg^{-1}$ in RS and $1,789mg\;kg^{-1}$ in NRS, which markedly exceeds the optimum range for plant cultivation. Total P was lower in RS (average $4,593mg\;kg^{-1}$) than in NRS (average $5,440mg\;kg^{-1}$) and this decrease was taken to be an effect of RS. Inorganic P was the predominant form of P in both systems, followed by organic P and residual P. A soil profile showed that total and inorganic P concentrations decreased with depth in both systems. However, organic P increased withdepth in RS, which was in contrast to that noted in NRS. The increase in organic P with depth in RS implied that organically rather than inorganically derived phosphate moved through the soil. The concentrations of water-soluble P, Ca-P and Al-P were higher in NRS than in RS soil profiles, but the Fe-P concentration was higher in RS than in NRS, which might be affected by the anaerobic conditions found in paddy soils. In both systems, the Al-P form of extractable P predominated in the surface layer, followed by Ca-P, Fe-P and water-soluble P. With increasing depth, the composition rate of Ca-P to extractable P decreased to less than 10% in the 60-70cm depth, as Fe-P dominated at this level. The content of water-soluble P, potentially the main source of eutrophication, was higher in NRS than in RS. These results indicated that the RS used in plastic film houses contributed to the removal of water-soluble salts but only slightly decreased the phosphate concentration.

• Journal of Radiation Protection and Research
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• v.23 no.2
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• pp.97-102
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• 1998

The cumulative deposition of $^{137}Cs$ in the soil of Korea has been studied. Using ${\gamma$-ray spertrometry, the conrentrations of $^{137}Cs$ were determined for the soil samples collected to a depth of 20 cm. The average accumulated depositions of $^{137}Cs$ were estimated roughly to be 2,501 ${\pm}$ $m^{-2}$ in the forest and 1,058 ${\pm}$ 322 Bq $m^{-2}$ in the hill. The inventory value of $^{137}Cs$ in the forest is about two times higher than that in the hill. Except for some cases, the concentrations of $^{137}Cs$ in the undisturbed soils decreased exponentially with increasing the soil depth. The influences of rainfall, organic matter content, clay content and pH on the deposition of $^{137}Cs$ were studied using the field method. Among these factors, the organic matter content played the most important role in the retention and relative mobility of $^{137}Cs$ in the soil. The other factors such as rainfall, clay content and pH showed weak correlation with the deposition of $^{137}Cs$ in the soil.

• Journal of Animal Environmental Science
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• v.12 no.3
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• pp.161-168
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• 2006

This paper describes the changes of characteristics of pig slurry according to storing depth. Most of the substances containing pollutants, such as were Management of manure and wastewater from animal confinement facilities is a critical factor for pollution control. With proper treatment processing method in both solid and liquid forms, it can be used as a fertilizer and soil conditioner. In Korea, liquid-manure handling system is very popular because its treatment and application is easy and labor saving. In the storage tank treatment, the period of fermentation process and solids-liquid separation averages six months and the supernatant liquid is being used as a fertilizer. In this study, the changes in chemical characteristics of pig slurry at varying depths of the storage tank were investigated. Results showed that the pH value of the fermented pig slurry was > 7, while the major pollutants such as BOD, SS, N and P were highest in the bottom of the tank. Therefore, the above findings proved that varying depths in the storage tank can influence the concentration of pollutants of the fermented pig slurry.

• Proceedings of the Korean Society of Soil and Groundwater Environment Conference
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• 2004.04a
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• pp.434-437
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• 2004

본 반층벽체 적용지역의 경우, 침출수의 영향으로 암모니아성 질소의 농도가 최대 29.12mg/L까지 검출되고 있으며 반응물질은 암모니아성 질소제거에 적합한 제올라이트를 선정하였다. 투수성 및 다짐강도를 고려하여 왕사와 50:50의 비율로 혼합, 적용하였으며 지하수 평균유속은 0.0864m/d이고 평균지하수위는 원지반 기준 - 4.0m의 분포를 나타내었다. 지질조사 결과, 적용구간의 지질구조는 매립층, 풍화토, 풍차암, 연암의 순서로 분포하고 있으며, 반응벽체의 설계깊이는 현장 시추조사 결과를 바탕으로 지하수의 Under-pass를 방지하기 위하여 연암층 50cm까지 관입시키도록 설계하였다. 최종적으로 선정된 반응벽체의 규모는 35m(길이) $\times$ 1.2m(두께) $\times$ 8.5 ～ 9.42m(구간별 깊이)로 설계에 반영되었다. 현재, 지하수감시정을 이용한 모니터링 결과, 상부지하수 감시정에서의 오염원은 우기의 영향으로 간헐적으로 발생하고 있으나 하부 지하수 감시정에서의 암모니아성 질소농도는 불검출 되거나 0.5 mg/L 이하로 유지되고 있다.