• 제목/요약/키워드: 노광

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단결정 태양전지의 단락 및 개방 시 노광에 의한 초기 출력저하 비교 분석 (Analysis and comparison of initial performance degradation for single crystalline silicon solar cell under open and short circuit)

  • 정태희;김태범;신준오;윤나리;우성철;강기환;안형근;한득영
    • 한국태양에너지학회 논문집
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    • 제30권6호
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    • pp.16-21
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    • 2010
  • It is well-known that Boron-doped Cz Si solar cells suffer light-induced degradation due to boron-oxygen defect which is responsible of a reduction in lifetime and hence efficiency. In this paper, we assume that PV solar cell has been connected with variable load to account the real operating condition and it shows different light-induced degradation of Si solar cell. To evaluate the effect of light-induced degradation for solar cell with various load, Single crystalline solar cells are connected with open and short circuits during light exposure. Isc-Voc curve evaluate light induced degradation of solar cells and the reason is explained as a change for serial resistance. From the results, Electrical characteristics of solar cells show better performance under short circuit conditions, after light exposure.

SRAF를 적용한 극자외선 노광기술용 위상 변위 마스크의 반사도에 따른 이미징 특성 연구 (Evaluation of Imaging Performance of Phase Shift Mask Depending on Reflectivity with Sub-resolution Assist Feature in EUV Lithography)

  • 장용주;김정식;홍성철;조한구;안진호
    • 반도체디스플레이기술학회지
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    • 제14권3호
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    • pp.1-5
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    • 2015
  • In photolithography process, resolution enhancement techniques such as optical proximity correction (OPC) and phase shift mask (PSM) have been applied to improve resolution. Especially, sub-resolution assist feature (SRAF) is one of the most important OPC to enhance image quality including depth of focus (DOF). However, imaging performance of the mask could be varied with the diffraction order amplitude changed by inserting SRAF. Therefore, in this study, we investigated the imaging properties and process margin of attenuated PSM with SRAF. Reflectivities of attenuated PSMs at 13.5 nm were 3, 6, 9% and simulation was performed by $PROLITH^{TM}$. As a result, aerial image properties and DOF as well as diffraction efficiency were improved by increasing the reflectivity of attenuated PSM. Additionally, printed critical dimension variations depending on SRAF width and space error were also reduced for attenuated PSM with high reflectivity. However, SRAF could be printed when reflectivity of attenuated PSM is high enough. In conclusion, optimization of reflectivity of attenuated PSM and SRAF to prevent side-lobe from being printed is needed to be considered.

염기성 올리고펩티드 유도체를 가진 고분자 리피드의 합성 및 유전자 전달 효과 연구 (Synthesis of Polymerizable Amphiphiles with Basic Oligopeptides for Gene Delivery Application)

  • 배선주;최혜;최준식
    • 폴리머
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    • 제37권1호
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    • pp.94-99
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    • 2013
  • 폴리디아세틸렌(polydiacetylene, PDA)은 자기조립된 디아세틸렌(diacetylene) 단량체의 광중합에 의해 만들어진다. 디아세틸렌 단량체들이 조직적으로 배열되면 254 nm의 자외선 노광에 의해 1,4-첨가 중합이 일어나 고분자 주사슬에 이중결합과 삼중결합이 교대로 존재하는 폴리디아세틸렌이 만들어진다. 폴리디아세틸렌 수용액은 일반적으로 약 640 nm에서 최대흡수파장을 지니는 청색을 띠게 되며 여기에 온도나 pH의 변화, 다른 물질의 결합 등 외부 자극에 의해 약 550 nm의 최대 흡수 파장을 띠는 적색으로 색 전이가 일어나게 된다. 본 연구에서, 우리는 고체상 펩티드 합성을 이용하여 PCDA(10,12-pentacosadyinoic acid) 리포좀의 표면에 양이온성 올리고펩티드를 도입하였다. 또한 다양한 몰 비율로 리포좀 수용액을 제조하여 동물 세포에 트랜스펙션한 결과, 향상된 유전자 전달 효율과 낮은 독성을 보이는 것을 확인하였고, PCDA의 특성을 이용하여 세포에 처리 후 세포 관련 비표지 형광을 관찰하였다.

감광성 수용성 고분자를 이용한 Lipid 센서의 제조 (Fabrication of Lipid Sensor Utilizing Photosensitive Water Soluble Polymer)

  • 박이순;김기현;손병기
    • 센서학회지
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    • 제2권1호
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    • pp.35-40
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    • 1993
  • $Si_{3}N_{4}$ 박막의 코팅된 pH-ISFET의 게이트 부위 위에 lipase 효소를 고정화하여 FET(field effect transistor) 형지질(lipid) 센서를 제조하였다. 효소 고정화막 형성 물질로는 수용성 고분자인 polyvinyl alcohol(PVA)에 감광성기인 1-methyl-4-(formylstyryl) pyridinium methosulfate(SbQ)를 결합시킨 PVA-SbQ를 사용하였다. PVA-SbQ 수용액 (SbQ 1mole %, 10 wt%) $200{\mu}L$, bovine serum albumin (BSA) 7.5 mg, lipase 10 mg으로 구성 된 현탁액을 사용한 사진식각(photolithographic) 공정의 최적 조건은 피막의 상온 진공 건조 시간 45분, spin coater의 회전수 $5,000{\sim}6,000$ rpm, UV 노광시간 $20{\sim}30$초, 증류수 현상 시간 $30{\sim}40$초로 나타났다. 이렇게 구성된 지질 센서는 triacetin을 지질 시료로 하였을 때 $10{\sim}100$ mM의 농도 범위에서 직선성의 검정선을 나타내었다.

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마이크로 가스센서를 위한 저전력 마이크로 히터의 제조 I. 유한요소법에 의한 열분포해석 (Fabrication of Low Power Micro-heater for Micro-Gas Sensor I. The Thermal Distribution Analysis by The Finite Element Method)

  • 정완영;임준우;이덕동;노보루 야마조에
    • 센서학회지
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    • 제6권4호
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    • pp.337-345
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    • 1997
  • 마이크로 가스센서 제조를 위해 PSG/$Si_{3}N_{4}$를 다이아프램으로 하고 Pt 패턴을 히터로 하는 마이크로 히터를 설계하였다. 백금히터와 감지막을 위한 백금전극을 동일평면에 설계하여 하나의 노광공정으로 실현하도록 센서의 형태를 가정하였다. 마이크로 가스센서의 가열부의 열적거동을 유한요소법에 의해 수치해석하므로써 다이아프램부분의 온도분포, 소비전력 및 감지막부분의 온도분포를 예측할 수 있었다. 본 연구에서 제안된 히터와 감지막이 동일 평면에 이웃하는 구조의 센서와 일반적 마이크로센서구조인 감지막/절연막/히터의 구조를 갖는 센서의 열적거동을 비교 분석하였다.

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100 nm T-gate의 InGaAs/InAlAs/GaAs metamorphic HEMT 소자 제작 및 특성에 관한 연구 (Study on the fabrication and the characterization of 100 nm T-gate InGaAs/InAlAs/GaAs Metamorphic HEMTs)

  • 김형상;신동훈;김순구;김형배;임현식;김현정
    • 한국진공학회지
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    • 제15권6호
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    • pp.637-641
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    • 2006
  • 본 논문에서는 100 nm 게이트 길이를 갖는 InGaAs/InAlAs/GaAs MHEMT(metamorphic high electron mobility transistors)m의 DC와 RF 특성을 분석 하였다. 이중 노광 방법으로 ZEP520/P(MMA-MAA)/PMMA 3층 구조의 레지스터와 게이트 길이 100 nm인 게이트를 제작하였다. 게이트의 단위 폭이 $70\;{\mu}m$인 2개의 게이트와 길이가 100 nm로 제작된 MHEMT를 DC 및 RF특성을 조사하였다. 최대 드레인 전류 밀도는 465 mA/mm, 상호전달 컨덕턴스는 844 mS/mm이, RF 측정으로부터 전류 이득 차단 주파수는 192 GHz와 최대 진동주파수 310 GHz인 특성을 보였다.

사진용 필름, 인화지의 감도측정에 따른 보존특성 (Preservative characteristics of photographic films and papers on the speed method)

  • 안홍찬;한상완;최훈정;허훈
    • 한국기록관리학회지
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    • 제3권2호
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    • pp.143-155
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    • 2003
  • 역사적 사실이나 경험의 중요한 증거자료로서 보존적 가치를 지니는 사진은 보통의 다른 문서들과 달리 빛, 온도, 습도 등의 여러 가지 환경 요인에 따라 매우 쉽게 변형될 수 있기 때문에 보존에 따르는 과학적이고 세밀한 주의가 요구된다. 본 연구에서는 일반적으로 널리 시판되어 사용되고 있는 사진용 필름과 인화지들을 선택하여 노광을 주어 감도를 측정하고, 노화가속장치(Weather-o-meter)에 넣어 인위적으로 변형을 허용한 뒤 다시 감도를 측정하여 비교함으로써 감재의 보존특성을 비교분석 하였다. 실험결과 흑백감재의 보존특성이 컬러의 경우보다 우수했으며, Film보다 인화지의 경우가 노화에 따른 변형이 없는 것으로 나타났다. 그러나 제조회사에 따른 각 제품별 보존특성 차이는 크게 관찰되지 않았다.

광개시제 함량과 노광 시간이 DLP기반 알루미나 3D 프린팅 공정에 미치는 영향 (Effect of Photo Initiator Content and Light Exposure Time on the Fabrication of Al2O3 Ceramic by DLP-3D Printing Method)

  • 김경민;정현덕;한윤수;백수현;김영도;류성수
    • 한국분말재료학회지
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    • 제26권4호
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    • pp.327-333
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    • 2019
  • In this study, a process is developed for 3D printing with alumina ($Al_2O_3$). First, a photocurable slurry made from nanoparticle $Al_2O_3$ powder is mixed with hexanediol diacrylate binder and phenylbis(2,4,6-trimethylbenzoyl) phosphine oxide photoinitiator. The optimum solid content of $Al_2O_3$ is determined by measuring the rheological properties of the slurry. Then, green bodies of $Al_2O_3$ with different photoinitiator contents and UV exposure times are fabricated with a digital light processing (DLP) 3D printer. The dimensional accuracy of the printed $Al_2O_3$ green bodies and the number of defects are evaluated by carefully measuring the samples and imaging them with a scanning electron microscope. The optimum photoinitiator content and exposure time are 0.5 wt% and 0.8 s, respectively. These results show that $Al_2O_3$ products of various sizes and shapes can be fabricated by DLP 3D printing.

UVA LED를 이용한 근접 노광용 렌즈 설계 기술 연구 (A Study of Lens Design Technique for Proximity Exposure Using a UVA LED)

  • 이정수;조예지;이현화;공미선;강동화;정미숙
    • 한국광학회지
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    • 제30권4호
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    • pp.146-153
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    • 2019
  • 노광기는 회로 패턴을 원하는 위치에 전사시켜주는 장비로 패턴을 광학적 특성의 변형 없이 기재 상에 나타내기 위해서는 노광광학계의 특성이 매우 중요하다. 따라서 미세회로 패턴을 형성하기 위해서는 조사 면적에 작은 발산각으로 입사되어야 한다. 또한, 광원에서 나온 빛이 감광제와 균일하게 반응해야 하기 때문에 높은 광효율과 조도 균일도를 가져야 한다. 본 논문에서는 협각 구현의 문제점을 해결하기 위한 방법으로 반사형 타입인 파라볼라 반사경과 비구면 렌즈 설계를 진행하였고, 배열 후 시뮬레이션 분석 결과 광속 각도, 균일도, 최대조도가 목표 성능을 만족하는 것을 확인하였다.

광경화성 하이드로겔 액적의 노광 조건에 따른 표면 충돌 거동 변화에 대한 실험적 연구 (Experimental Study on Surface Impact Behavior Changes of Photocurable Hydrogel Droplets According to Exposure Conditions)

  • 이상현;강동관;이상민
    • Korean Chemical Engineering Research
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    • 제60권2호
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    • pp.308-312
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    • 2022
  • 3D 프린팅 기술은 다양한 재료를 적층하여 구조물을 제작할 수 있으며, 다양한 장점을 바탕으로 최근 제조분야에 널리 활용되고 있다. 특히 고해상도의 액적 기반 3D 프린팅 기술은 주로 광경화성 물질을 사용하여 액적을 증착해 나가며 최종 구조물을 형성한다. 물질의 광경화 특성으로 인해 프린팅 과정에서 발생할 수 있는 빛 노출에 따라 액적의 물성 및 증착 특성이 달라질 수 있다. 이에 본 연구에서는 광경화성 하이드로겔 액적의 빛에너지 조사 조건에 따른 액적의 점도변화 및 표면과의 퍼짐 거동에 관해 실험적으로 관찰 및 분석을 수행하였다.