• Title/Summary/Keyword: 내아크

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Effect of Cation on The Formation Behavior of Plasma Electrolytic Oxidation Films on Al1050 Alloy (Al1050 합금의 플라즈마 전해산화 피막 형성 거동에 미치는 cation의 영향)

  • Kim, Ju-Seok;Mun, Seong-Mo;O, Myeong-Hun
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2017.05a
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    • pp.151.2-151.2
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    • 2017
  • 본 연구에서는 정전류 조건에서 알루미늄 합금의 PEO(Plasma Electrolytic Oxidation) 피막 형성 거동에 미치는 전해질 내 cation($K^+$, $Na^+$)의 영향을 아크 발생 양상, 전압-시간 곡선 및 형성된 표면피막 구조를 관찰하여 연구하였다. 전해질은 0.5 M NaOH + 1 M $Na_2SiO_3$ 수용액과 0.5 M KOH + 1 M $Na_2SiO_3$ 수용액이 사용되었다. 아크 발생은 cation의 종류에 상관없이 동일하게 가장자리부터 시작되어 내부로 이동함으로써 전 표면에 걸쳐서 일어났다. 전 표면에서 PEO 피막이 형성된 이후에는 한 지점에서 지속적으로 아크가 발생하는 로컬버닝 현상이 두 용액에서 모두 관찰되었으나 $K^+$이온이 포함된 용액에서 로컬버닝이 빠르게 일어났다. 시편표면에서 아크가 발생하는 동안 중 각 전해액에서의 전압-시간 곡선에서 전압의 상승과 하강이 반복되는 거동이 동일하게 관찰되었다. 이러한 전압 등락의 크기는 $K^+$ 이온이 포함된 수용액에서 더 크게 나타났으며, 그 결과 표면 거칠기가 상대적으로 더 높은 PEO 피막이 형성되었다.

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음극아크증착으로 제조된 TiMoN 박막의 물리적 특성

  • Yang, Ji-Hun;Kim, Seong-Hwan;Byeon, In-Seop;Lee, Gyeong-Hwang;Jeong, Jae-In
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2018.06a
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    • pp.38-38
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    • 2018
  • TiMoN 코팅층은 우수한 내마모 특성과 낮은 마찰계수를 보여 많은 연구가 진행되고 있다. 본 연구에서는 음극아크 증착으로 질소 가스 유량, 아크 전류, 기판 전압 등 공정 변수를 제어하여 TiMoN 코팅층을 스테인리스와 초경 기판 위에 제조하고 색상, 미세구조, 경도 등 물리적 특성을 평가하였다. TiMo 타겟은 Mo가 약 8 at.% 함유되어 있으며 직경은 80 mm이었다. 색차계를 이용하여 TiMoN 코팅층의 색상을 분석한 결과, 질소 유량이 증가할수록 $a^*$$b^*$ 값이 증가하는 경향을 확인하였다. 질소 유량 90 sccm으로 제조한 TiMoN 코팅층은 TiN 코팅층과 유사한 색상을 보였다. TiMoN 코팅층의 조성을 에너지분산형 분광기(energy dispersive spectroscopy)로 분석한 결과, 타겟과 유사한 조성을 보였다. TiMoN 코팅층의 단면을 주사전자현미경으로 관찰한 결과, 주상정 형성이 확인되었으며 코팅층 표면에는 음극 아크 공정 시 발생하는 거대입자가 발견되었다. 질소 유량 50 sccm으로 제조한 TiMoN 코팅층은 약 3000 Hv의 경도 값을 보였다. X-선 분광기로 TiMoN 코팅층의 결정성을 분석한 결과, TiN과 유사한 합금상이 형성된 것을 확인할 수 있었다. TiMoN 코팅층은 TiN과 유사한 색상을 보였으며 경도는 TiN보다 높은 값을 보여 절삭공구, 금속 가공용 부품 등 고경도 코팅층으로 활용이 가능할 것으로 판단된다.

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펄스 고전압을 이용한 해수모세관방전에서 고전압 펄스 방전특성 연구

  • Seok, Dong-Chan;Yu, Seung-Min;Hong, Eun-Jeong;No, Tae-Hyeop;Lee, Bong-Ju
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.02a
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    • pp.248-248
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    • 2011
  • 유전체 모세관을 이용한 해수에서의 펄스고전압 방전 특성을 연구하였다. 내경 1, 2, 3 mm의 구멍이 뚫린 Quartz 블럭에 외경 1, 2, 3 mm의 SUS 핀을 삽입하였고 삽입된 핀의 끝이 해수에 담구어 지도록 하여 고전압 방전을 발생 시켰다. 인가된 펄스 고전압은 5 kHz의 반복 주파수를 가지며, Pulse 폭을 $1{\sim}2.5{\mu}sec$까지 변화 시켜 전압전류 파형과 방전양상을 살펴 보았다. 방전은 펄스폭 변화에 따라 전해전도 전류에 의한 모세관 가열, 모세관내 미세기포형성, 기포내의 코로나 방전 개시 그리고 글로우 또는 아크방전으로 발전하는 것을 확인하였다. 모세관의 길이는 각각의 구경에 대하여 5 mm, 10 mm 두 가지로 변화하여 실험하였고, 모세관 길이 10 mm 조건에서는 방전이 매우 불안정 하였다. 각각의 방전조건별로 1~5분간 방전을 진행하여 해수내의 유리염소의 농도 변화를 살펴본 결과 방전모드가 글로우 또는 아크 방전 모드에서 단위 에너지당 유리염소 발생 수율이 큰 폭으로 증가하는 것을 확인할 수 있었다.

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플라즈마 보조 전자빔 정련을 이용한 Si내의 불순물 제거

  • Kim, Tae-Hak;Choe, Ji-Seong;Ju, Jeong-Hun
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.02a
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    • pp.286-286
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    • 2011
  • 현재의 NEDO (New Energy and industrial technology Development Organization) style Si 정련은 두 단계로 구분되어 있다. 고출력 집속 전자빔을 이용한 금속 실리콘의 1차 용융과 대기압 근처의 플라즈마 아크 용해를 이용해서 B, P를 약간의 반응성 가스를 첨가 하여 제거하는 방법이다. 그러나 저가형 실리콘을 생산하려는 취지와 달리 두 가지의 고가 장비가 필요하다. E-beam melting 장치에서도 반응성이 높은 라디칼을 생성할 수 있다면 하나의 장비에서 두 가지의 정련 작업을 진행시킬 수 있다. 본 연구에서는 고진공에서(< 10-4 Torr) 동작하는 E-beam의 성능에 전혀 영향을 주지 않으면서 플라즈마를 용이하게 생성 시킬 수 있는 방법을 개발하고 이를 적용하여 실제 금속 순도 실리콘 내에 존재하는 B, P가 제거되는지 확인하는 것을 연구 내용으로 한다. 본 연구는 MG (Metal Grade) - Si 을 플라즈마 보조 전자빔 정련을 이용하여 정련한 Si 의 불순물 함량의 개선 효과를 조사하는 것이다. MG-Si 의 정련 방법 중에서 고출력 집속 전자빔을 이용하여 휘발성 오염물질을 제거 후, 플라즈마 아크 용해를 이용해서 B 를 제거하는 방법을 접목시켰다. MG-Si 에 DC power 와 전자빔을 집속시켜서 정련을 하면 챔버 내의 잔류 수증기가 플라즈마에 의해 분해되어 O를 생성하고, B와 반응을 하여 BO 형태로 제거가 된다. 방전 전압 700 V 와 전자빔 가속 전압이 4.5 kV, 방출 전류는 11 A, 진공 챔버 내의 압력은 $7.2{\times}10^{-4}$ Torr에서 정련을 진행하여 B를 제거했다.

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Experimental analysis on the characteristics of enthalpy probe immersed in arc plasma flow (아크 플라즈마 유동에 삽입된 엔탈피 탐침의 동작특성 실험)

  • Seo, Jun-Ho;Nam, Jun-Seok;Choi, Seong-Man;Hong, Bong-Gun;Hong, Sang-Hee
    • Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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    • v.38 no.12
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    • pp.1240-1246
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    • 2010
  • Enthalpy probe with the inner and outer diameters of 1.5 mm and 4.8 mm, respectively, is designed and used to measure the temperatures and velocities along the centerline of Ar arc plasma flow until the probe was destroyed. For this purpose, Ar arc plasma flow is generated by non-transferred type DC arc heater with the power level of 17 kW. From this experiment, it is shown that the designed enthalpy probe can measure the temperature and velocity of arc plasma flow up to 12,000 K and 600 m/s, respectively, without destroy of probe tip. In this extreme case, the arc plasma flow is calculated to transfer the heat flux of ${\sim}5{\times}10^7\;W/m^2$ to the probe based on the heat and thermal boundary equations near the forward stagnation point of a body immersed in arc plasma flow. Consequently, the designed enthalpy probe can measure the wide ranges of plasma temperatures, velocities and concentrations simultaneously, which are generated by various types of arc heaters within the heat flux ranges of $0{\sim}5{\times}10^7\;W/m^2$ on the probe tip.

Karyotype Studies on Three Species of the Family Muridae (Mammalia; Rodentia) in Korea (한국산 쥐과 3종의 핵형에 관한 연구)

  • Kang, Yung-Sun;Koh, Hung-Sun
    • The Korean Journal of Zoology
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    • v.19 no.3
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    • pp.101-112
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    • 1976
  • 1. It has been found in the karyotype of Apodemus agrarius coreae that No. 1 chromosome pair is subtelocentric and this is the new chromosome type in comparison with acro-telocentric No. 1 pair of the other subpecies. 2. It was reported in the Karyotype of Microtus fortis from USSR that the autosome consisted of 2 submetacentric, 10 metacentric and 38 acrocentric chromosomes, and that X is acrocentric and Y is small acrocentric one. In the present study, however, the autosome of M. fortis pelliceus in Korea is composed of three groups; 4 subtelocentric, 10 meta-submetacenric, and 36 acrocentric one. And X is the largest metacentric chromosome of the complement. Y is smaller acrocentric one. Thus, it has been found that the karyotype of M. fortis in Korea differs from that of the same species in USSR. In the karyotype of this red vole, two pairs of heteromorohic chromosome with respect to the size of their secondary constrictions have been shown in the acrocentric group. 3. The diploid number of Cricetulus triton nestor was found to be 28, and its chromosome size ranges from 7.5 $\\mu$ to 1.5 $\\mu$. Autosomes contains 11 large acrocentric pairs and two pairs of very small metacentric ones. This feature is simillar to that of Tscherskia triton found USSR.

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Dosimetric Effect on Selectable Optimization Parameters of Volumatric Modulated Arc Therapy (선택적 최적화 변수(Selectable Optimization Parameters)에 따른 부피적조절회전방사선치료(VMAT)의 선량학적 영향)

  • Jung, Jae-Yong;Shin, Yong-Joo;Sohn, Seung-Chang;Kim, Yeon-Rae;Min, Jung-Wan;Suh, Tae-Suk
    • Progress in Medical Physics
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    • v.23 no.1
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    • pp.15-25
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    • 2012
  • The aim of this study is to evaluate plan quality and dose accuracy for Volumetric Modulated Arc Therapy (VMAT) on the TG-119 and is to investigate the effects on variation of the selectable optimization parameters of VMAT. VMAT treatment planning was implemented on a Varian iX linear accelerator with ARIA record and verify system (Varian Mecical System Palo Alto, CA) and Oncentra MasterPlan treatment planning system (Nucletron BV, Veenendaal, Netherlands). Plan quality and dosimetric accuracy were evaluated by effect of varying a number of arc, gantry spacing and delivery time for the test geometries provided in TG-119. Plan quality for the target and OAR was evaluated by the mean value and the standard deviation of the Dose Volume Histograms (DVHs). The ionization chamber and $Delta^{4PT}$ bi-planar diode array were used for the dose evaluation. For treatment planning evaluation, all structure sets closed to the goals in the case of single arc, except for the C-shape (hard), and all structure sets achieved the goals in the case of dual arc, except for C-shape (hard). For the variation of a number of arc, the simple structure such as a prostate did not have the difference between single arc and dual arc, whereas the complex structure such as a head and neck showed a superior result in the case of dual arc. The dose distribution with gantry spacing of $4^{\circ}$ was shown better plan quality than the gantry spacing of $6^{\circ}$, but was similar results compared with gantry spacing of $2^{\circ}$. For the verification of dose accuracy with single arc and dual arc, the mean value of a relative error between measured and calculated value were within 3% and 4% for point dose and confidence limit values, respectively. For the verification on dose accuracy with the gantry intervals of $2^{\circ}$, $4^{\circ}$ and $6^{\circ}$, the mean values of relative error were within 3% and 5% for point dose and confidence limit values, respectively. In the verification of dose distribution with $Delta^{4PT}$ bi-planar diode array, gamma passing rate was $98.72{\pm}1.52%$ and $98.3{\pm}1.5%$ for single arc and dual arc, respectively. The confidence limit values were within 4%. The smaller the gantry spacing, the more accuracy results were shown. In this study, we performed the VMAT QA based on TG-119 procedure, and demonstrated that all structure sets were satisfied with acceptance criteria. And also, the results for the selective optimization variables informed the importance of selection for the suitable variables according to the clinical cases.

Experimental Analysis of a Supersonic Plasma Wind Tunnel Using a Segmented Arc Heater with the Power Level of 0.4 MW (0.4 MW 급 분절형 아크 히터를 이용한 초음속 플라즈마 풍동 특성 실험)

  • Kim, Min-Ho;Lee, Mi-Yeon;Kim, Jeong-Soo;Choi, Chea-Hong;Seo, Jun-Ho;Moon, Se-Yeon;Hong, Bong-Guen
    • Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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    • v.41 no.9
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    • pp.700-707
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    • 2013
  • Experimental analyses on a supersonic plasma wind tunnel of CBNU (Chonbuk National University) were carried out. In these experiments, a segmented arc heater was employed as a plasma source and operated at the gas flow rates of 16.3 g/s and the total currents of 300 A. The input power reached ~350 kW with the torch efficiency of 51.4 %, which is defined as the ratio of total exit enthalpy to the input power. The pressure of plasma gas in the arc heater was measured up to 4 bar while it was down to ~45 mbar in a vacuum chamber through a Laval nozzle. During this conversion process, the generated supersonic plasma was expected to have a total enthalpy of ~11 MJ/kg from the measured input power and torch efficiency. In addition to the measurement of total enthalpy, a cone type probe was inserted into the supersonic plasma flow in order to estimate the angle between shock layer and surface of the probe. From these measurements, the temperature and the Mach number of the supersonic plasma were predicted as ~2,950 K and ~3.7, respectively.

아크 이온플레이팅법으로 증착된 CrN계 박막의 특성 및 내마모성에 대한 연구

  • 백운승;여현동;박신민;채병규;김규호;권식철
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 1999.10a
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    • pp.37-37
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    • 1999
  • Cr-N 계 박막은 경도가 높고 치밀한 층을 형성할 수 있으므로 현재 금형과 기계류 핵심부품의 내마모 및 내식성 향상을 위한 대표적인 물질로 많은 주목을 받고 있다. 본 연구에서는 아크 이온플레이팅 장비를 이용하여 질소분압, 바이어스 전원 등의 변화에 따른 Cr-N계 박막의 결정성 및 표면상태, 증착율, 그리고 내마모성을 조사하였다. Cr-N 계 박막을 증착하기 위해서 사용한 시편은 $20MM{\phi}{\times}4mmt$ 크기의 고속도 공구강 디스크이었으며, Trichloroethylene에서 5분간 초음파 세척을 한 후 건조하여 진공용기 내에 장착하였다. 박막을 증착하기전 시편의 표면을 깨끗하게 하기 위해서 Ar 이온 충격으로 플라즈마 전처리를 하였다. 증착된 Cr-N 계 박막의 두께는 CALOTEST와 XRF 두께 측정기를 이용하여 측정하였으며, 박막의 결정성과 내마모성은 X-선 회절분석기와 tribometer로 관찰하였다. 아크 전류를 변화시키면서 증착한 Cr-N 박막의 경우 층작율은 아크 전류가 50A에서 80A로 증가함에 따라 45nm/min에서 87nm/min으로 증가하였다. 그리고 바이어스 펄스의 duty-on 시간과 주파수가 증가할수도록 박막의 증착율은 감소함을 알 수 있었다. Duty-on 시간과 주파수의 증가는 기판에 오랫동안 이온의 충격을 가하므로서 상대적으로 가벼운 질소이온이 크롬과 결합하는 것을 방해하여 박막의 증착율이 감소할 것이다. 기판에 인가하는 바이어스 펄스의 duty-on 시간을 변화시키면서 증착한 Cr-N 박막에 대한 X-선 회절상을 조사한 결과 duty-on 시간이 20%인 경우에는 Crn(111), CrN(200)와 Crn(220) 피크 들만 나타나 입방정의 CrN 박막이 형성되었으며, duty-on 시간의 증가에 따라 $Cr_2N$ 상의 형성이 점점 많아져 80% duty-on 시간 경우에는 거의 CrN과 $Cr_2N$ 상이 공존하는 것으로 나타났다. 또한 duty-on 시간이 증가할수록 회절피크의 세기가 증가하여 결정화가 더 많이 진행되어짐을 알 수 있었다. 마찬가지로 바이어스 펄스이 주파수에 다른 결정성의 변화도 펄스의 주파수가 증가할수록 박막이 결정성이 좋아지고 $Cr_2N$ 상이 쉽게 형성되었다. 증착 진공도에 따른 결정성은 상대적으로 질소의 농도가 높은 낮은 진공도에서는 CrN 상이 주로 형성되었으며, 반대로 높은 진공도에서는 $Cr_2N$ 상이 많이 만들어졌다. 즉 $1.3{\times}10^{-2}Torr$의 증착 진공도에서는 CrN 상만이 보이는 반면 $9.0{\tiems}1-^{-2}Torr$ 진공도에서부터 $Cr_2N$ 상이 형성되기 시작하여 $5.0{\tiems}10^{-2}Torr$ 진공도에서는 두개의 상이 혼재되어 있음을 알 수 있었다. 박막의 내마모성을 조사한 결과 CrN 박막의 마찰 계수는 초기에 급격하게 증가한 후 0.5에서 0.6 사이의 값으로 큰 변화를 보이지 않았으며, $Cr_2N$ 박막도 비슷한 거동을 보였다.

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Decontamination Performance Assessment for the Plasma Arc Vitrification pilot plant on the basis of Trial Burn Results(I) - Decontamination Characteristics for Hazardous Metal, Radioactive surrogate and Radioactive Tracer in Off-gas (시험연소결과에 근거한 플라즈바 아크방식 유리화 시험 설비의 제염성능 평가(I) - 배기가스중의 유해중금속, 방사성핵종 모의물질 및 방사성핵종 제염특성 -)

  • Chae, Gyung-Sun;Park, Youn-Hwan;Min, Byong-Yun;Chang, Jae-Ock;Park, Jun-Yong;Jeong, Weon-Ik;Moon, Byung-Sik
    • Journal of Radiation Protection and Research
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    • v.25 no.2
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    • pp.99-107
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    • 2000
  • Through the results of off-gas analysis at 3 sampling points in Plasma Arc Melting vitrification pilot plant, it was evaluated the partitioning of spiked materials in off-gas and the decontamination characteristic of off-gas treatment system. Spiked materials are hazard_us heavy metals(Pb, Cd, Hg), radioactive surrogate(Co, Cs) and radioactive materials($^{60}Co,\;^{137}Cs$). Through the Trial burn tests, Decontamination factor of spiked materials in off-gas treatment system is calculated.

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