• 제목/요약/키워드: 김영찬

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빔라인 거울조정기 개발

  • 김효윤;홍만수;권혁채;김창균;김영찬
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2006년도 제30회 학술논문발표회 초록집
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    • pp.239-239
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    • 2006
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