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비휘발성 메모리소자로의 응용의 관점에서 PLZT(10/y/z) 박막에서의 Zr/Ti 농도변화 효과 (Effect of Zr/Ti Concentration in the PLZT(10/y/z) Thin Films From the Aspect of NVFRAM Application)

  • 김성진;강성준;윤영섭
    • 대한전자공학회논문지SD
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    • 제38권5호
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    • pp.313-322
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    • 2001
  • 비휘발성 메모리 소자로의 응용의 관점에서, sol-gel 방법으로 La 을 10mo1% 로 고정시킨 PLZT (10/y/z) 박막을 제작하여 Zr/Ti 조성비에 따른 구조적 및 전기적 특성을 조사하였다. PLZT(10/40/60) 박막은 로제트와 파이로클로르 상이 관찰되었으며, Zr/Ti 조성비에서 Ti 함유량이 증가함에 따라, (100) 배향성, 결정립 크기와 표면 거칠기는 증가되었다. 또한 Zr/Ti 조성비에서 Ti 함유량이 증가함에 따라, 10㎑ 에서 비유전율은 600 에서 400 으로 감소된 반면, 유전손실은 0.028 에서 0.053 로 증가되었으며, 170 ㎸/cm 에서 누설전류밀도는 1.64×10/sup -6/ 에서 1.26×10/sup -7/A/㎠ 으로 감소되었다. 그리고 ± 170㎸/㎝ 에서 측정한 PLZT 박막의 이력곡선을 측정한 결과, Zr/Ti 조성비가 40/60 에서 0/100 로 변화함에 따라 PLZT 박막의 잔류분극과 항전계는 6.62 에서 12.86 μC/cm2, 32.15 에서 56.45㎸/㎝ 로 각각 증가되었으며, 피로와 retention 특성 역시 개선되었다. PLZT 박막에 ±5V 의 사각펄스를 10/sup 9/ 회 인가하여 피로특성을 측정한 결과, PLZT(10/40/60) 박막의 잔류분극은 초기분극값으로부터 50% 감소된 반면, PLZT(10/0/100) 박막은 30% 감소되었다. 또, 10/sup 5/ 초의 retention 결과에서 PLZT(10/0/100) 박막은 초기분극값에서 오직 11% 만이 감소된 반면, PLZT(10/40/60) 박막은 40% 감소되었다.

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실리콘 실험실에 구리 오염을 방지 할 수 있는 고밀도/고균일의 Solder Bump 형성방법 (Fabrication Method of High-density and High-uniformity Solder Bump without Copper Cross-contamination in Si-LSI Laboratory)

  • 김성진;주철원;박성수;백규하;이희태;송민규
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제7권4호
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    • pp.23-29
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    • 2000
  • 사용되는 metal구분 없이 반도체 공정장비들을 사용함으로써 cross-contamination을 유발시킬 수 있다. 특히, copper(Cu)는 확산이 쉽게 되어 cross-contamination에 의해 수 ppm정도가 wafer에 오염되더라도 트랜지스터의 leakage current발생 요인으로 작용할 수 있기 때문에 Si-IC성능에 치명적인 영향을 미칠 수 있는데, Si-LSI 실험실에서 할 수 있는 공정과 Si-LSI 실험실을 나와 할 수 있는 공정으로 구분하여 최대한 Si-LSI 장비를 공유함으로써 최소한의 장비로 Cu cross-contamination문제를 해결할 수 있다. 즉, 전기도금을 할 때 전극으로 사용되어지는 TiW/Al sputtering, photoresist (PR) coating, solder bump형성을 위한 via형성까지는 Si-LSI 실험실에서 하고, 독립적인 다른 실험실에서 Cu-seed sputtering, solder 전기도금, 전극 etching, reflow공정을 하면 된다. 두꺼운 PR을 얻기 위하여 PR을 수회 도포(multiple coaling) 하고, 유기산 주석과 유기산 연의 비를 정확히 액 조성함으로서 Sn:Pb의 조성비가 6 : 4인 solder bump를 얻을 수 있었다. solder를 도금하기 전에 저속 도금으로 Cu를 도금하여, PR 표면의 Cu/Ti seed층을 via와 PR표면과의 저항 차를 이용하여 PR표면의 Cu-seed를 Cu도금 중에 etching 시킬 수 있다. 이러한 현상을 이용하여 선택적으로 via만 Cu를 도금하고 Ti층을 etching한 후, solder를 도금함으로써 저 비용으로 folder bump 높이가 60 $\mu\textrm{m}$ 이상 높고, 고 균일/고 밀도의 solder bump를 형성시킬 수 있었다.

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대학도서관 모바일 서비스 이용 의도에 미치는 영향 요인 분석 (Factors Influencing the Intention to Use Mobile Services in Academic Libraries)

  • 김성진
    • 한국비블리아학회지
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    • 제25권1호
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    • pp.85-105
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    • 2014
  • 본 연구는 Davis의 기술수용모형을 기반으로 대학도서관에서 제공하는 모바일 서비스 이용 의도에 영향을 미치는 요인을 파악하고자 하였다. 기술수용모형의 핵심변수인 인지된 유용성과 인지된 사용용이성을 기본으로 하되 최근 모바일 시스템에 많이 적용되는 인지된 놀이성을 추가하였으며 외부변인으로는 모바일 도서관의 유비쿼터스속성 및 상황인식성과 개인의 모바일 인터넷 자기효능감을 사용하였다. 이를 위해 대학도서관 두 곳의 모바일 도서관 접속 경험이 있는 재학생 325명을 대상으로 설문조사 하였으며 SPSS 18.0과 Amos 21.0을 이용하여 경로분석을 실시하였다. 분석 결과, 인지된 유용성이 서비스 이용의 결정적인 요인으로 나타났으며 인지된 사용용이성은 인지된 유용성을 매개로 모바일 서비스 이용에 간접적인 영향을 미치고 있었고, 인지된 놀이성은 유의한 영향을 미치지 않았다. 외부변인인 유비쿼터스속성은 인지된 유용성에 가장 큰 영향을 미쳤으며, 상황인식성은 인지된 놀이성과 인지된 사용용이성에, 모바일 인터넷 자기효능감은 인지된 사용용이성에 영향을 미쳤다. 대학도서관의 모바일 서비스 이용의도를 결정하는 영향력 있는 요인들을 파악함으로써 대학도서관 모바일 서비스 영역의 이론적 의의와 실무적 의의를 함께 고찰하였다.

지역주민의 한방의료 이용성향과 진료만족도 (Trends in the Use of Oriental Medical Care Service and Treatment Satisfaction)

  • 서호석;남철현;김재돈;김성진;류장근;전봉천;김미애
    • 대한예방한의학회지
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    • 제11권2호
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    • pp.41-70
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    • 2007
  • The purpose of this study was to identify a tendency in patients who seek oriental medical service and factors influencing patient satisfaction. The study was conducted with 1,520 residents of a community during the period from February 5, 2005 through June 30, 2005 using a questionnaire. This study results are summarized as follows : 1. Of subjects who sought oriental medical service, 66.2% had musculoskeletal disorder and connective tissue disease, 18.9% had digestive tract disease, 16.4% had respiratory disease, 8.2% had endocrinemetabolic disease, 7.5% had circulatory disease and the remaining subjects had other diseases(p<0.001). 2. Of subjects who sought oriental medical service for the treatment of musculoskeletal disorder, 84.9% preferred acupuncture. Of those who had digestive tract diseases, 47.0% preferred packaged herbal medicine. Of those who had respiratory disease, 63.0% preferred packaged herbal medicine. 3. Acupuncture was the most often sought by subjects with musculoskeletal disorder. Packaged herbal medicine was sought by subjects with respiratory disease, digestive tract disease, endocrine-metabolic disease or circulatory disease. Tablet-type herbal medicine was sought by subjects with musculoskeletal disorder or digestive tract disease. Combined therapy was sought by subjects with musculoskeletal disorder, digestive tract disease, hematopoietic disease or immune disorder. 4. The level of satisfaction with oriental medical service was higher in subjects with circulatory disease, subjects with digestive tract disease, subjects with neurological disorder and subjects with musculoskeletal disorder in descending order. Of total subjects, 39.4% experienced side effects of oriental medical care, 38.1% experienced side effects of herbal medicine. About 51.9% considered the price of herbal medicine costly while 23.2% considered it reasonable. 5. Subjects' knowledge of herbal medicine was measured as $29.2{\pm}3.83$ out of 42 scores or 69 out of 100 points, indicating a low knowledge level. Subjects' knowledge was influenced by occupation, religion, side effects, sex, age, residence area, the type of insurance. These variables explained 15.2% of the variance. 7. Of total subjects, 56.8% were satisfied with oriental medical service. Patient satisfaction varied with occupation, religion, the type of insurance, health state and treatment outcomes. These variables explained 37.3% of the variance. Conclusion : The majority of subjects were satisfied with oriental medical service. However, oriental medical care are not widely used to treat all kinds of diseases while its use skews to a small categories of diseases. It is therefore necessary for the government and oriental medical service providers to develop new therapy approaches for the treatment of a broader range of diseases.

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열간단조된 $\gamma$-TiAl 합금의 이방성에 관한 연구 (Anisotropy Studies on Hot-forged $\gamma$-TiAl Alloys)

  • 이재승;박노진;김성진;김승언;오명훈
    • 한국재료학회지
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    • 제10권9호
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    • pp.629-635
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    • 2000
  • 본 논문에서는 Ti-48.5at%Al-0.96at%Mo 조성을 갖는 $\gamma$-TiAl 합금은 항온 단조 및 후속 조직제어 열처리 시 발달하는 집합조직의 변화에 관해 연구하였다. 특히, 동적 재결정 후 조직제어 열처리 온도와 시간의 증가에 따라 발생하는 lamellar volume fraction 과 집합조직 변화에 주목하여 관찰하였다. 동적 재결정 후 집합조직은 ND$\perp${302) 선분과, TD$\perp${100) 및 이에 비해 상대적으로 다소 약한{111) 성분들이 발달하였으며, 열처리 온도와 시간이 증가함에 따라 lameller volume fraction 은 증가했고 동일한 성분의 집합조직도 점차 강하게 발달함을 알 수 있었다. 하지만 상온인장시험 결과는 lameller volume fraction이 증가할수록 낮은 상온 연신을 보였는데, 이는 준 층상조직을 갖는 $\gamma$-TiAl합금의 상온인장특성이 집합조직의 영향보다는 lameller volume fractio과 같은 미세조직 특성에 더욱 강하게 영향을 받기 때문인 것으로 판단된다.

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질환별 세기조절방사선치료의 정도관리: 을지대학병원 임상결과 (Quality Assurance of Intensity Modulated Radiation Therapy: Site-Specific Results of Eulji University Hospital)

  • 김성진;이미조;윤선민
    • Radiation Oncology Journal
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    • 제29권2호
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    • pp.99-106
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    • 2011
  • 목 적: 본원에서 시행된 세기조절방사선치료(IMRT) 환자의 질환별 정도관리(QA) 결과를 통해 오차의 원인과 정도를 확인하고 오차를 줄일 수 있는 개선점을 찾아 임상에 적용하고자 한다. 대상 및 방법: IMRT를 시행한 환자 50명(두경부, 28명; 유방, 14명; 골반부, 8명)에 대한 질환별 QA 결과를 분석하였다. 각각의 경우에 대해 film을 이용하여 gamma index를 구하였고, 이온함을 이용한 점 선량을 측정하여 치료계획 시스템의 선량과 비교 분석하였다. 결 과: 점 선량 측정에서는 50명의 환자 중 45명의 환자는 치료 계획된 선량과 측정된 선량의 오차가 ${\pm}3%$ 이내로 오차를 보였다. 최대 오차는 3.6%, 전체 평균 오차 0.17% (SD=2.25%)의 오차율을 보였다. 질환별로 살펴보면 두경부 -0.13% (SD=1.93%), 유방 -0.26% (SD=2.79%), 골반부의 경우 0.24% (SD=2.44%)의 오차율을 보였다. 상대선량 측정에서는 측정된 필름의 Gamma index distance to agreement (DTA) - dose difference (DD) 3 mm-3%의 기준에서 두경부 6%, 유방 10%, 골반부 6%의 오차를 보였다. 등선량곡선 90% 이상의 영역에서는 두경부 2%, 유방 1%, 글반부 0%의 오차를 보였다. 결 론: 치료 위치에 따른 오차의 원인과 개선점을 파악하여 보다 양질의 IMRT를 구축하기 위한 기반을 다질 필요가 있을 것으로 생각한다.

이중의 광학적 변화를 이용한 다공성 실리콘 가스센서 제작 (Dual Photonic Transduction of Porous Silicon for Sensing Gases)

  • 고영대;김성진;장승현;박철영;손홍래
    • 한국진공학회지
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    • 제16권2호
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    • pp.99-104
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    • 2007
  • [ $Febry-P{\acute{e}}rot$ ] 프린지 패턴 (fringe pattern)과 광발광성 (photoluminescence, PL)의 광학적 성질을 동시에 가지고 있는 다공성 실리콘을 이용하여 가스센서를 개발하였다. 다공성 실리콘 샘플은 p-type 실리콘 웨이퍼 (boron-doped, <100> orientation, resistivity $1{\sim}10{\Omega}$)를 이용하여 전기화학적 식각을 통하여 만들어 졌다. 다공성 실리콘 샘플들은 열적 산화 방법과 hydrosilylation 방법을 통하여 그 표면이 수소로 종결된 다공성 실리콘 (Si-H)과 산화된 다공성 실리콘(Si-OH), 두 가지 각각 다른 표면 성질을 갖는 다공성 실리콘을 제작 하였다. 준비된 두 가지 다른 다공성 실리콘 칩들은 메탄올, 아세톤, 헥산, 그리고 톨루엔의 증기에 노출 시켰을 때 Febry-P rot 프린지 패턴의 변화나 PL의 변화를 관측하여 다공성 실리콘을 이용한 VOCs (volatile organic compounds) 센서로서의 응용에 대하여 연구하였다. $Febry-P{\acute{e}}rot$ 프린지 패턴은 유기 물질의 증기압이 클수록 단파장으로 이동하는 폭이 컸고, 광 발광성은 극성도가 큰 물질일수록 소강현상이 크게 일어나는 것을 알 수 있었다.

Zn1-xFexO의 뫼스바우어 분광학적 연구 (The Study on Mössbauer Spectroscopy of Zn1-xFexO)

  • 김성진;이상률;박철수;김응찬;조영걸;김동호
    • 한국자기학회지
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    • 제18권2호
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    • pp.75-78
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    • 2008
  • $AB_2X_4$((A, B)=Transition Metal, X=O, S, Se) 물질에서의 8면체 자리의 이온 거동과 4면체 자리 이온과의 상호작용에 대하여 많은 연구가 이루어지고 있다. 본 연구에서는 4면체 자리에 비자성 이온인 Zn 이온을 치환함에 따른 자기구조의 변화를 관측하여 8면체 자리의 자기구조를 분석하고자 하였다. Cr이온의 일부를 Fe로 치환한 $[Co_{0.9}Zn_{0.1}]_A[Cr_{1.98}{^{57}Fe_{0.02}}]_BO_4$의 닐온도($T_N$는 90K로 $CoCr_{1.98}{^{57}Fe_{0.02}}O_4$ 비하여 감소하였다. 4.2 K에서의 초미세자기장값의 분석결과, 초미세자기장값의 작은 차이를 보이는 잘 분리된 2-set 형태로 나타났으며, $CoCr_{1.98}{^{57}Fe_{0.02}}O_4$의 초미세자기장값은 488, 478 kOe 인데 반하여, $Co_{0.9}Zn_{0.1}Cr_{1.98}{^{57}Fe_{0.02}}O_4$의 초미세자기장값은 $B_1=486$, $B_2=468$ kOe으로 나타났다. Zn 이온의 치환에 따라서 초미세자기장값의 변화를 알 수 있었다. 이러한 결과로 인하여, Zn 이온이 x=0.1 치환된 물질의 경우, 스핀재정렬온도($T_S$)가 18K으로 감소함을 알 수 있다.

예비기술교사를 위한 로봇기술수업에서 성취과제분담 협동학습(STAD)의 실현 (Implementation of Student Teams Achievement Divisions (STAD) in a Robotic Technology Class for Pre-service High School Teachers)

  • 김성진;권혁수;정정윤
    • 대한공업교육학회지
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    • 제40권1호
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    • pp.180-200
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    • 2015
  • 현재 로봇기술과 관련된 강의들은 수강생들의 다른 기초 지식 수준과 교수학습 방법에 관한 문제들을 가지고 있다. 이 연구는 이러한 문제점에 고려하여 성취과제분담 협동학습(STAD)의 모형을 로봇기술 입문 강의에 적용한 사례 연구이다. 이 강의에서 STAD학습 모형을 사용하여 다른 지식 수준을 가지고 있는 팀 구성원의 능력 향상에 초점을 두고 과제와 프로젝트와 같은 수업 활동을 통하여 서로 팀 구성원들이 협력하는데 관심을 가지게 된다. 이는 모든 구성원들이 팀 성과에 따라 같은 성적을 받게 되기 때문이다. STAD 학습의 성과는 로봇 기술과 관련된 기초 지식, 로봇 기술을 가르치기 위한 태도, 그리고 학습 영역에 대한 자신감과 교수 능력에 관하여 사전 평가와 사후 평가를 실시하였고 t 검정을 통하여 그 효과를 분석하였다. 이 연구의 참가자는 교사양성기관의 22명의 예비기술교사이다. 이 연구의 결과 로봇 기술과 관련된 기초 지식, 로봇 기술을 가르치기 위한 태도, 그리고 학습 영역에 대한 자신감과 교수 능력에 있어 향상된 성취를 보였다. STAD 학습은 특별한 상황에서 예비교사들에게 더 나은 학습 결과를 도출하기 위한 하나의 대안적인 방법이라 할 수 있다.

기생 소자를 이용한 휴대 단말기용 RFID 리더 안테나 (Design of RFID Mobile Antenna by Using Parasitic Element)

  • 우덕제;김성진;김상수;김요식;이광재;이택경
    • 한국항행학회논문지
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    • 제11권1호
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    • pp.72-78
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    • 2007
  • 본 논문에서는 접지면에 기생 방사소자를 연결하여 광대역을 실현한 모노폴 안테나를 제안하였다. 제안된 안테나 광대역 기법을 이용하여 휴대 단말기 내장형 안테나를 설계 및 제작하였다. 제작된 안테나의 반사손실을 측정한 결과 VSWR 2:1 이하인 대역은 820 MHz~1040 MHz로써, 23.6 %의 대역폭을 갖는다. 따라서 제작된 안테나는 Cellular 대역(824 MHz~894 MHz), RFID(908.5 MHz~914 MHz) 및 GSM(송신:880 MHz~915 MHz, 수신:925 MHz~960 MHz) 대역을 모두 만족하는 매우 넓은 광대역 특성을 가진 안테나로 동작하고 있음을 확인 하였다. 안테나의 방사패턴 측정결과, 셀룰러 대역 중심 주파수 859 MHz와 RFID 중심 주파수인 911.25 MHz에서의 안테나 최대 이득은 각각 -0.7 dBi 및 0.16 dBi로 측정되었으며, GSM 송신(897.5 MHz) 및 수신(942.5 MHz) 중심 주파수에서의 안테나의 최대 이득은 -0.48 dBi 와 1.69 dBi로 관측되었다.

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