• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2008.06a
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• pp.575-576
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• 2008

• Journal of the KSME
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• v.44 no.12
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• pp.39-44
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• 2004

이 글에서는 국내외 나노 임프린팅 장비의 기술개발 동향과 개발되고 있는 대표적인 나노 임프린팅 장비를 소개하고, 향후 선폭 10nm 수준의 다중 임프린팅 장비를 개발하여 나노제품의 스마트, 저비용, 고생산성의 목표로 개발되고 있는 나노 임프린팅 장비의 기술을 소개하고자 한다.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2007.06a
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• pp.33-34
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• 2007

• Proceedings of the Korean Radioactive Waste Society Conference
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• 2006.06a
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• pp.93-94
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• 2006

• Proceedings of the Korean Radioactive Waste Society Conference
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• 2006.11a
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• pp.123-124
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• 2006

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2008.02a
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• pp.173-173
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• 2008

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2008.02a
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• pp.174-174
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• 2008

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2008.02a
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• pp.219-220
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• 2008

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2008.08a
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• pp.243-243
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• 2008

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2008.08a
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• pp.252-252
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• 2008