Gas permeation properties of $SiO_2$ membranes formed by sol-gel and CVD techniques
(솔-젤 및 화학증착법에 의하여 제조된 실리카막의 기체 투과 특성)
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- Proceedings of the Membrane Society of Korea Conference
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- 1996.04a
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- pp.51-52
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- 1996