A Study on the Reactor Configuration and Thermal Conditions for the Growth of High Quality Thin Film of GaN Layer (고품질 질화물 반도체 박막 성장을 위한 반응로 구조 및 열적 조건에 관한 연구)
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- Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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- v.28 no.12
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- pp.1632-1639
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- 2004