• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2013년도 제45회 하계 정기학술대회 초록집
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• pp.106.2-106.2
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• 2013

본 논문은 반도체 및 평판 디스플레이 생산공정에서 가동되고 있는 건식 진공펌프들의 정밀 상태진단 및 예지 보수를 위한 pump monitoring system (PMS)의 제품화에 필요한 프로그램의 개발 내용을 소개한다. 본 연구에서 소개하는 건식 진공펌프들의 정밀 상태진단 및 예지보수기법은 PCT 특허 2 건으로 이미 등록된 내용이며, 본 논문은 이들 기법의 실제 구현에서 직면하는 기술적 문제점과 극복 방안을 제시한다. 본 논문에서는 현재 반도체 공정에 사용되고 있는 건식 진공펌프들로부터 측정하는 다중 상태변수들의 조사 결과를 소개한다. 이들 상태변수 측정치들이 갖는 개략적 특성을 통계적 분포함수로 분석한 결과를 우선 보인다. 특히 펌프 구동모터들의 소비 전류신호는 두 평균값에 대한 분포 즉 두 종의 분포함수를, 그리고 온도, purge gas 유량, 배기구 압력 등은 정상적 평균값에 대한 한나의 분포를 보였다. 따라서 구동모터들의 소비전류의 분포 즉 두 상하 수준('low and high' current level)에 따라 batch data를 구분하는 방법의 개발이 필요하였다. 본 연구에서는 step 함수형 eigenvector를 적용하여 소비전류 신호의 상하수준 천이 영역과 방향을 동시에 인식할 수 있는 기법을 개발 적용하였으며, 3300회의 배출가스 부하에 변화에 대한 천이 영역과 방향을 인식에 하나의 실패도 보이지 않음을 확인하였다. 기존의 측정 상태변수에는 회전기계류의 정밀 상태진단 및 예지보수에 핵심적인 기계진동 측정용 진동센서를 포함하고 있지 않은 기술적 문제점이 발견되었다. 기존 진동센서들의 높은 가격 뿐 아니라 진동센서의 출력신호를 저/중/고역 주파수 대역의 실효치로 환산하는 기술적 한계 때문에 진공펌프 상태진단에 아직 사용하고 있지 않고 있다. 본 연구에서는 진동선서 비용의 저감화 방안뿐 아니라 로터 회전 대역(250Hz 이하 저주파 영역), 베어링 진동 대역(250 Hz~2.5 kHz의 중간 주파수 영역), 그리고 기어 진동 대역(2.5 kHz~10 kHz 주파수 영역)별 실효치를 실 시간 측정할 수 있는 진동측정 모듈의 제품화 모델을 개발하였다. 개발 제품의 성능 뿐 아니라 현장 시험결과를 소개한다. 마지막으로 본 연구팀이 개발한 PCT 특허 2 건에 포함된 건식 진공펌프들의 정밀 상태진단 및 예지보수기법에 대한 현장 시험결과를 간략히 소개한다.

• 기계저널
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• 제51권8호
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• pp.49-52
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• 2011

이 글에서는 선박 및 해양구조물 분야에서 신뢰성 기반 관련 내용을 정리하고, 특히 최종한계상태(Ultimate Limit State) 및 피로한계상태(Fatigue Limit State) 설계에 관해 이루어지고 있는 최근 연구결과를 요약 정리하였다.

• 대한기계학회:학술대회논문집
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• 대한기계학회 2005년도 창립60주년 기념 추계 학술대회
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• pp.14.2-14.2
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• 2005

• 대한설비공학회지:설비저널
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• 제28권1호
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• pp.38-47
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• 1999

기계의 작동 성능을 표시하거나 어떤 현상을 설명할 때 효율이라는 말을 흔히 사용한다. 효율이라는 말은 주어진 입력량에 대하여 출력으로 얻을 수 있는 유용한 양으로 정의되기도 하고 손실이 없는 이상적인 상태나 잘 알려진 기준상태에 비하여 실제 상황에서 얻을 수 있는 결과의 비율로 정의되기도 한다.

• 한국항해항만학회:학술대회논문집
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• 한국항해항만학회 2022년도 춘계학술대회
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• pp.95-97
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• 2022

다양한 소스에서 수집되고 연동되는 항로표지 상태 데이터에서의 이상탐지는 항로표지의 고장예측에 있어서 중요한 역할을 한다. 이 연구에서는 항로표지 고장예측 서비스를 위해 상태 데이터를 모델링하고 분석할 수 있는 기계학습 모델의 연구 방법을 소개한다.

• 한국농업기계학회:학술대회논문집
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• 한국농업기계학회 2003년도 하계 학술대회 논문집
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• pp.111-116
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• 2003

토양 경도는 작물의 성장 특히, 뿌리의 성장에 큰 영향을 미친다. 토양의 경도가 증가함에 따라 작물의 수량이 감소되는 현상은 많은 연구에서 보고된 바 있다. 따라서 작물에 따라 적절한 토양 경도를 유지하는 일은 대단히 중요하다. 최근, 정밀 농업에 대한 관심이 증가됨에 따라 토양과 작물의 상태를 정확히 나타낼 수 있는 다양한 변수가 연구되고 있으나, 아직까지 단 하나의 변수로써 생육 상태를 정확히 나타낼 수는 없다. 토양 경도도 작물의 생육 상태에 영향을 미치는 변수로서, 그 영향을 구명할 필요가 있다. (중략)

• 대한기계학회:학술대회논문집
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• 대한기계학회 2003년도 춘계학술대회
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• pp.1667-1671
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• 2003

A computer program to calculate properties of nitrogen is developed. Procedures for the calculation is briefly discussed. The program calculates unknown thermodynamic properties fixing the state with two independent input properties. If input value by user is inappropriate, it displays an error message and replaces the input value with an appropriate one. In addition user can change units with easy. The program developed in this work can be utilized to calculate parameters required for the simulation and design of an equipment using nitrogen.

• 대한기계학회논문집
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• 제19권3호
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• pp.605-614
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• 1995

In the automatic transmission using planetary gear there exists nonlinearities due to the finite difference between gear ratios, which yield torque hole during shift and influence on the ride quality and life of clutch. Based on the reaction carrier and converter turbine speed sliding functions are defined. Nonlinear closed-loop control laws are derived using them. Computer simulation shows that the closed loop design is better than the open loop design and semi-closed loop design.

• 대한기계학회논문집
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• 제6권3호
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• pp.289-299
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• 1982

동적운동 기구의 연결부분에 간극이 존재함으로 인해 발생하는 충격현상을 평면운동기구를 모델 로 하여 운동 역학적으로 해석하였다. 비정상 상태의 Reynolds 방정식을 적용하여 과도상태 및 정상 상태에 있어서 동하중과 유막 두께와의 관계를 압착 유막효과(squeeze film effect)에 중점을 두어 조사하였으며 탄성 변형을 고려하여 유도한 유막두께식과 Reynolds 방정식의 수치적분으로 는 무차원식으로 변형하여 Grubin의 간략해법을 이용하였다.

• 대한기계학회:학술대회논문집
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• 대한기계학회 2003년도 추계학술대회
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• pp.256-260
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• 2003

A computer program to calculate thermodynamic properties of oxygen is developed. Procedures for the calculation is briefly discussed. The program calculates unknown thermodynamic properties fixing the state with two independent input properties. If input value by user is inappropriate, it displays an error message. In addition user can change units with easy. The program developed in this work can be utilized to calculate parameters required for the simulation and design of an equipment using oxygen.