• Title/Summary/Keyword: 금속패턴

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Fabrication of a-Si:H/a-Si:H Tandem Solar Cells on Plastic Substrates (플라스틱 기판 위에 a-Si:H/a-SiGe:H 이중 접합 구조를 갖는 박막 태양전지 제작)

  • Kim, Y.H.;Kim, I.K.;Pyun, S.C.;Ham, C.W.;Kim, S.B.;Park, W.S.;Park, C.K.;Kang, H.D.;You, C.;Kang, S.H.;Kim, S.W.;Won, D.Y.;Choi, Y.;Nam, J.H.
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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    • 2011.05a
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    • pp.104.1-104.1
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    • 2011
  • 가볍고, 유연성(flexibility)을 갖는 박막(thin film)형 플랙서블 태양전지(flexible solar cell)는 상황에 따른 형태의 변형이 가능하여, 휴대가 간편하고, 기존 혹은 신규 구조물의 지붕(rooftop)등에 설치가 용이하여, 차세대 성장 동력 분야에서 각광받고 있다. 그러나 아직까지 플랙서블 태양전지는 제작시 열에 의한 기판의 변형, 기판 이송시 너울 현상, 대면적 패터닝(patterning) 기술 등 많은 어려움 등으로 웨이퍼나 글라스 기판에 제조된 태양전지 대비 낮은 광전환 효율을 갖는다. 따라서 본 연구에서는 플랙서플 태양전지 성능개선을 위해 3.5세대급 ($450{\times}450cm^2$) 스퍼터(sputter), 금속유기 화학기상장치 (MOCVD), 플라즈마 화학기상장치 (PECVD), 레이저 가공장치 (Laser scriber)를 이용하여 a-Si:H/a-SiGe:H 이중접합(tandem)을 갖는 태양전지를 제작하였고, 광 변환효율 특성을 평가하였다. 전도도(conductivity), 라만(Raman)분광 및 UV/Visible 분광 분석을 통하여 박막의 전기적, 구조적, 광학적 물성을 평가하여 단위박막의 물성을 최적화 했다. 또한 제작된 태양전지는 쏠라 시뮬레이터 (Solar Simulator)를 이용하여 성능 평가를 수행하였고, 상/하부층의 전류 정합 (current matching)을 위해 외부양자효율 (external quantum efficiency) 분석을 수행하였다. 제작된 이중접합 접이식 태양전지로 소면적($0.25cm^2$)에서 8.7%, 대면적($360cm^2$ 이상) 8.0% 이상의 효율을 확보하였으며, 성능 개선을 위해 대면적 패턴 기술 향상 및 공정 기술 개선을 수행 중이다.

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Mesh/grid 기반 투명 전극의 구조 최적화

  • Yun, Min-Ju;Kim, Gyeong-Heon;Park, Sang-Yeong;Kim, Hui-Dong;An, Ho-Myeong;Kim, Tae-Geun
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2013.02a
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    • pp.411-412
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    • 2013
  • 최근 UV LED는 생화학 및 의료 산업에서 많은 각광을 받고 있다. 특히, 360nm 이하의 파장대를 갖는 UV LED는 치료 기술, 센서, 물이나 공기 등의 정화와 같은 목적으로 특별한 관심이 쏠리고 있다 [1]. 이러한 지속적인 연구를 통하여 현재까지 UV LED는 거대한 성장을 이루어 왔다. 하지만 이러한 노력에도 불구하고, 360 nm 이하의 UV LED는 여전히 오믹 접촉과 전류 분산이 원활하지 못하다는 문제점을 가지고 있다. 이것은 UV LED의 외부 양자 효율을 감소시키고, 더 나아가 극도로 낮은 광 추출 효율을 초래한다. 최근 이러한 문제를 해결하고자, 투명 전도성 산화물(TCO)을 금속 전극과 p-AlGaN 사이에 삽입해주는데, 현재 가장 널리 사용되는 TCO 물질은 ITO 이다 [2]. 하지만 ITO 물질은 상대적으로 작은 밴드갭(3.3~4.3 eV)과 단파장 빛이 가지는 큰 에너지로 인하여 deep-UV 영역에서는 빛이 투과하지 못하고 대부분 흡수된다 [3]. 따라서 본 연구에서는 기존의 박막형 ITO 투명 전극에 비해 투과도 손실을 최소화할 수 있는 mesh, grid 기반의 투명전극을 연구하였다. Fig. 1과 같이 $5{\mu}m$, $10{\mu}m$, $20{\mu}m$ 간격으로 이루어진 mesh, grid 구조의 투명전극을 구현하여 투과도 손실을 최소화하면서 우수한 전기적 특성을 확보하기 위한 구조 최적화 연구를 진행하였다. 본 연구를 위해 mesh, grid 구조의 ITO 전극 패턴을 photolitho 공정으로 형성하였으며, e-beam 증착법으로 60 nm 두께의 ITO 전극을 형성 후 질소 분위기/$650^{\circ}$에서 30초 동안 RTA 공정을 진행하였다. Fig. 1에서 볼 수 있듯이 mesh, grid의 간격이 증가할수록 투명 전극이 차지하는 면적이 감소하여 투과도는 향상되는 반면, 투명 전극과 p-GaN과의 접촉 면적 또한 감소하므로 오믹 특성이 저하된다. 따라서 투과도 손실을 최소화하면서 우수한 전기적 특성을 확보하기 위해 mesh는 $20{\mu}m$, grid는 $10{\mu}m$ 간격의 구조로 각각 최적화하였다. 그 결과 박막 기반의 ITO 투명전극 대비 최대 약 10% 향상된 투과도를 확보하였으며, I-V Curve 결과를 통하여 p-GaN 기판과 mesh 구조의 ITO 전극 사이에 박막 기반의 투명 전극과 비슷한 수준인 $0.35{\mu}A(@5V)$의 전기적 특성을 확보하였다. 결과적으로 mesh, grid 기반 투명전극의 구조 최적화를 통하여 p-GaN과 원활한 오믹 접촉을 형성하는 동시에 기존 박막형 ITO 투명 전극 구조보다 높은 투과도를 확보할 수 있었다.

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Inhibitory Effect of Transition Metal Gallium [Ga(NO3)3] on Biofilm Formation by Fish Pathogens (전이금속 갈륨(Ga(NO3)3)을 이용한 biofilm을 형성하는 어류질병세균의 억제)

  • Kim, Dong-Hwi;Dharaneedharan, Subramanian;Jang, Young-Hwan;Heo, Moon-Soo
    • Microbiology and Biotechnology Letters
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    • v.44 no.4
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    • pp.535-539
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    • 2016
  • The prevalence of pathogenic bacteria such as Streptococcus parauberis (Sp), Streptococcus iniae (Si), and Edwardsiella tarda (Et) in flounder fish farms in Jeju Island and their management by gallium treatment was studied. Sp, Si, and Et were found to exhibit a low rate of cell growth and high biofilm formation. Hence, in the present study, cell growth and biofilm formation were measured spectrophotometrically 72 h after the addition of different concentrations of gallium (2, 4, or 8 mg/ml). In addition, cell death was measured by resazurin and propidium iodide staining assays. The results showed that bacterial cell death increased and biofilm formation decreased with an increasing concentration of gallium. Hence, the present study signifies that the use of gallium against bacterial pathogens could be useful for disease management in flounder farms.

Phase Analysis of Mechanically Alloyed $\sigma$-VFe Alloy Powders by Neutron and X-ray Diffraction (기계적 합금화한 $\sigma$-VFe합금의 중성자 및 X선 회절에 의한 상분석)

  • Lee, Chung-Hyo;Jo, Jae-Mun;Lee, Sang-Jin;Sim, Hae-Seop;Lee, Chang-Hui
    • Korean Journal of Materials Research
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    • v.11 no.8
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    • pp.661-665
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    • 2001
  • The mechanical alloying (MA) effect in $\sigma$-VFe intermetallic compound was studied by neutron and X-ray diffraction. The structure of MA $\sigma$-VFe powders were characterized by the X- ray diffraction with Cu- $K\alpha$ radiation and neutron diffraction with monochromatic neutrons of $1.835\AA$ using a high resolution powder diffractometer (HRPD). Mechanical alloying of $\sigma$-VFe compound gives rise to a dramatic structural change. After 60 hours of MA, the Fe-Fe distribution of the $\sigma$- phase VFe tetragonal structure with 30 atoms in a unit cell is found to change into that of the $\sigma$-(V,Fe) solid solution with bcc structure, which is a stable phase at elevated temperature above $1200^{\circ}C$. A comparison of X-ray diffraction data for the $\alpha$-phase has been also made with the corresponding neutron diffraction data. The (101) and (111) diffraction peaks of the $\sigma$-phase was clearly observed only in neutron diffraction pattern, which is believed to be a characteristic feature due to the chemical atomic ordering of $\sigma$- VFe phase.

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A COMPARATIVE STUDY ON SHEAR BOND STRENGTHS INFLUENCED BY TIME ELAPSED AFTER BRACKET BONDING WITH A LIGHT-CURED GLASS IONOMER CEMENT (광중합형 글래스아이오노머 시멘트의 브라켓 접착후 시간 경과에 따른 전단결합강도의 비교연구)

  • Lee, Ki-Soo;Lim, Ho-Nam;Park, Young Guk;Shin, Kang-Seob
    • The korean journal of orthodontics
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    • v.25 no.5 s.52
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    • pp.605-611
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    • 1995
  • The purpose of this study was to evaluate effects of time on shear bond strengths of a light-cured glass ionomer cement and chemically cured resin cement to enamel, and to observe the failure patterns of bracket bondings. Shear bond strength of a light-cured glass ionomer cement were compared with that of a resin cement. Metal brackets were bonded on the extracted human bicuspids. Specimens were subjected to a shear load(in an Instron machine) after storage at room temperature for 5 and 15 minutes; after storage in distilled water at $37^{\circ}C$ for 1 or 35 days. The deboned specimens were measured In respect of adhesive remnant index. The data were evaluated and tested by ANOVA, Duncan's multiple range test, and t-test, and those results were as follows. 1. The shear bond strength of light-cured glass ionomer cement is higher than that of resin cement at 5 and 15 minutes. 2. The shear bond strengths of both light-cured glass ionomer cement and resin cement increase with time. There was no significant difference in those of both 1 day group and 35 day group 3. Light-cured glass ionomer cement is suitable as orthodontic bracket adhesives

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Side-Wall 공정을 이용한 WNx Self-Align Gate MESFET의 제작 및 특성

  • 문재경;김해천;곽명현;임종원;이재진
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 1999.07a
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    • pp.162-162
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    • 1999
  • 초고주파 집적회로의 핵심소자로 각광을 받고 있는 GaAs MESFET(MEtal-emiconductor)은 게이트 형성 공정이 가장 중요하며, WNx 내화금속을 이용한 planar 게이트 구조의 경우 임계전압(Vth:threshold voltage)의 균일도가 우수할 뿐만 아니라 특히 Side-wall을 이용한 self-align 게이트는 소오스 저항을 줄일 수 있어 고성능의 소자 제작을 가능하게 한다.(1) 본 연구의 핵심이 되는 Side-wall을 형성하기 위하여 PECVD법에 의한 SiOx 박막을 증착하고, 건식식각법을 이용하여 SiOx side-wall을 형성하였다. 이 공정을 이용하여 소오스 저항이 낮고 임계전압의 균일도가 우수한 고성능의 self-aligned gate MESFET을 제작하였다. 3inch GaAs 기판상에 이온주입법에 의한 채널 형성, d.c. 스퍼터링법에 의한 WNx 증착, PECVD법에 의한 SiOx 증착, MERIE(Magnetic Enhanced Reactive Ion Etcing)에 의한 Side-wall 형성, LDD(Lightly Doped Drain)와 N+ 이온주입, 그리고 RTA(Rapid Thermal Annealing)를 사용하여 활성화 공정을 수행하였다. 채널은 40keV, 4312/cm2로, LDD는 50keV, 8e12/cm2로 이온주입하였고, 4000A의 SiOx를 증착한 후 2500A의 Side-wall을 형성하였다. 옴익 접촉은 AuGe/Ni/Au 합금을 이용하였고, 소자의 최종 Passivation은 SiNx 박막을 이용하였다. 제작된 소자의 전기적 특성은 hp4145B parameter analyzer를 이용한 전압-전류 측정을 통하여 평가하였다. Side-wall 형성은 0.3$\mu\textrm{m}$ 이상의 패턴크기에서 수직으로 잘 형성되었고, 본 연궁에서는 게이트 길이가 0.5$\mu\textrm{m}$인 MESFET을 제작하였다. d.c. 특성 측정 결과 Vds=2.0V에서 임계전압은 -0.78V, 트랜스컨덕턴스는 354mS/mm, 그리고 포화전류는 171mA/mm로 평가되었다. 특히 본 연구에서 개발된 트랜지스터의 게이트 전압 변화에 따른 균일한 트랜스 컨덕턴스의 특성은 RF 소자로 사용할 때 마이크로 웨이브의 왜곡특성을 없애주기 때문에 균일한 신호의 전달을 가능하게 한다. 0.5$\mu\textrm{m}$$\times$100$\mu\textrm{m}$ 게이트 MESFET을 이용한 S-parameter 측정과 Curve fitting 으로부터 차단주파수 fT는 40GHz 이상으로 평가되었고, 특히 균일한 트랜스컨덕턴스의 경향과 함께 차단주파수 역시 게이트 바이어스, 즉 소오스-드레스인 전류의 변화에 따라 균일한 값을 보였다. 본 연구에서 개발된 Side-wall 공정은 게이트 길이가 0.3$\mu\textrm{m}$까지 작은 경우에도 사용가능하며, WNx self-align gate MEESFET은 낮은 소오스저항, 균일한 임계전압 특성, 그리고 높고 균일한 트랜스 컨덕턴스 특성으로 HHP(Hend-Held Phone) 및 PCS(Personal communication System)와 같은 이동 통신용 단말기의 MMICs(Monolithic Microwave Integrates Circuits)의 제작에 활용될 것으로 기대된다.

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Verification of a Calibration Technique for a Full-Polarimetric Scatterometer System at C-band (C-밴드 완전 편파 측정용 스캐터미터 시스템 보정 기술 검증)

  • Park, Sin-Myeong;Go, Joo-Seoc;Joo, Jeong-Myeong;Kim, Hee-Young;Kim, Ju-Hui;Hwang, Ji-Hwan;Kwon, Soon-Gu;Shin, Jong-Chul;Oh, Yisok
    • The Journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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    • v.23 no.10
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    • pp.1196-1203
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    • 2012
  • This paper presents a study on the calibration of a C-band HPS(Hongik Polarimetric Scatterometer) system using the DMMCT(Differential Mueller Matrix Calibration Technique). For calibration of the polarimetric scatterometer system, a fully-polarimetric antenna pattern(magnitudes and phase-differences) of the antenna main-beam is measured using a conducting sphere at anechoic chamber. The polarimetric scatterometer system could be accurately calibrated after retrieving its distortions using the DMMCT. Unlike a single-polarimetric system, in a fully-polarimetric system, not only backscattering coefficients but also phase differences are important parameters. This calibrated HPS system can be used to measure accurate Mueller matrices of bare soil surfaces, rice paddies, and vegetation fields. The phase-difference parameters as well as the backscattering coefficients for co- and cross-polarizations can then be obtained. The accuracy of calibration was verified by comparing the measured backscattering coefficients with a scattering model. The measured polarization response of a plowed bare field was also compared with the polarization response which was synthesized using a polarimetric scattering model for verifying the calibration technique.

Hazard Analysis and Determination of CCPs for Powdered Raw Grains and Vegetables, Saengshik (생식의 위해요인 분석 및 중요관리점 설정)

  • Kim, Dong-Ju;Ha, Sang-Do;Ryu, Kyung;Park, Ki-Hwan
    • Korean Journal of Food Science and Technology
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    • v.36 no.6
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    • pp.1032-1040
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    • 2004
  • Biological, physical, and chemical hazards in raw manufacturing processes of Saengshik, powdered raw grains and vegetables, were analyzed to identify critical control points (CCPs). In raw materials, total plate and coliform counts ranged 2.82-8.23 and $1.40-6.57\;{\log}_{10}\;CFU/g$, respectively. In final products, total plate counts, except for Lactobacillus spp., were $1.51-7.40\;{\log}_{10}\;CFU/g$. During processing steps, both total plate and coliform counts decreased after washing, whereas no changes were observed after freeze-drying. Physical hazards, such as contents of metal and other contaminants, and chemical hazards, such as moisture content, were assessed. Suggested CCPs for Saengshik were: washing process for controlling microbial contamination, freeze-drying process for controlling moisture content to prevent deterioration and growth of microorganisms, and pulverization process for controlling contamination of foreign substances such as metals. These results will provide guideline to apply HACCP system standards to this product.

Effects of Annealing on Ni/Au Ohmic Contact to Nonpolar p-type GaN

  • Lee, Dong-Min;Kim, Jae-Gwan;Yang, Su-Hwan;Kim, Jun-Yeong;Lee, Seong-Nam;Lee, Ji-Myeon
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2012.02a
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    • pp.358-359
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    • 2012
  • 최근 분극 특성이 상이한 무분극 GaN 에피성장에 관한 심도 있는 연구와 함께 전자-전공 캐리어의 주입 및 캐리어의 거동, 방출되는 편광 특성 및 다양한 물리적 특성들에 대해 보고되고 있으며, 광학적 특성 및 물리적 특성의 확보를 위한 많은 연구가 활발히 진행 중이다 [1]. GaN의 ohmic 접촉(ohmic contact)의 형성은 발광 다이오드(light emitting diode), 레이저 다이오드(Laser), 태양전지(solar cell)와 같은 고신뢰도, 고효율 광전자 소자를 제조하기 위해서는 매우 중요하다 [2]. 그러나 이와 함께 병행 되어야 할 무분극 p-GaN 의 ohmic contact에 관한 연구는 많이 이루어지고 있지 않는 실정이다. 따라서 본 논문에서는 r-plane 사파이어 기판 상에 성장된 p-GaN에서의 ohmic 접촉 형성 연구를 위하여 Ni/Au ohmic 전극의 접촉저항 특성을 연구하였다. 본 실험에서는 성장된 a-plane GaN의 Hole농도가 $3.09{\times}1017cm3$ 인 시편을 사용하였다. E-beam evaporation 장비를 이용하여 Ni/Au를 각각 20 nm 그리고80 nm 증착 하였으며 비접촉저항을 측정하기 위해 Circle-Transfer Length Method (C-TLM) 패턴을 사용하였다. 샘플은 RTA (Rapid Thermal Annealing)를 사용하여 $300^{\circ}C$에서 $700^{\circ}C$까지 온도를 변화시키며 전기적 특성을 비교하여 그림 1(a) 나타내었다. 그림에서 알 수 있듯이 $400^{\circ}C$에서 가장 낮은 비접촉저항 값인 $6.95{\times}10-3{\Omega}cm2$를 얻을 수 있음을 발견하였다. 이 때의 I-V curve 도 그림1(b)에 나타낸 바와 같이 열처리에 의해 크게 향상됨을 알 수 있다. 그러나, $500^{\circ}C$ 이상 온도를 증가시키면 다시 비접촉 저항이 증가하는 것을 관찰하였다. XRD (x-Ray Diffraction) 분석을 통하여 $400^{\circ}C$ 이상열처리 온도가 증가하면 금속 표면에 $NiO_2$가 형성되며, 이에 따라 오믹특성이 저하 된다고 사료된다. 또한 $Ni_3N$의 존재를 확인 하였으며 이는 nonpolar surface의 특성으로 인해 nitrogen out diffusion 현상이 동시에 발생하여 계면에는 dopant로 작용하는 질소 공공을 남기고 표면에 $Ni_3N$을 형성하여 ohmic contact의 특성이 저하되기 때문인 것으로 사료된다.

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A Lab-Made Wound Maker for Analysis of Cell Migration in a 96-Well Plate (세포 이동능력 분석을 위한 96-Well Plate 전용 Lab-Made Wound Maker)

  • Lee, Tae Bok;Kim, Hwa Ryoung;Park, Seo Young
    • Korean Journal of Clinical Laboratory Science
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    • v.52 no.1
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    • pp.53-61
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    • 2020
  • Cell migration is a central process for recovering from wounds triggered by physical distress besides embryogenesis and cancer metastasis. Wound healing assay is widely used as a fundamental research technique for investigation of two-dimensional cell migration in vitro. The most common approach for imitating physical wound in vitro is mechanical scratching on the surface of the confluent monolayer by using sharp materials. The iron metal pin with a suspension spring for fine adjustment of the orthogonal contact surface between the scratching point and the individual bottom of multi-well plate with planar curvatures were adopted for the creative invention of a 96-well plate wound maker. While classic tips drew diverse and zigzag scratching patterns on the confluent monolayer, our wound maker displayed synchronized linear wounds in the middle of each well of a 96-well plate that was seeded with several cell lines. Given that several types of multi-well plates commercially available are compatible with our lab-made wound maker for creating uniform scratches on the confluent monolayer for the collective cell migration in wound healing assay, it is certain that the application of this wound maker to the real-time wound healing assay in high content screening (HCS) is superior than utilization of typical polypropylene pipette tips.