• Proceedings of the KSME Conference
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• 2001.06d
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• pp.195-200
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• 2001

An experimental study on critical heat flux (CHF) has been performed for water flow in a uniformly heated vertical 3 by 3 rod bundle under low flow and a wide range of pressure conditions. The objective of this study is to investigate the parametric trends of CHF with 3 by 3 rod bundle test section where three unheated rods exist. The general trends of the CHF are coincident with previous understandings. At low flow and system pressure above 3 MPa, some critical qualities are larger than 1.0 due to counter-current flow in test sections. Since there is a supply of water to the heated section from unheated section, the maximum CHFs at system pressure between 2 and 4 MPa are not shown.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.02a
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• pp.488-488
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• 2012

상압에서 12인치 실리콘 웨이퍼 표면처리가 가능한 장치를 개발하였다. 배치타입 공정으로 플라즈마 발생 전극은 직경 340 mm의 대면적 원형 형태을 가지고 있다. 시스템은 탈부착이 가능한 플라즈마 모듈부와 공정챔버로 나누어지며 균일도를 높이기 위해 웨이퍼스테이지는 가열, 회전 및 축간 조절이 가능하게 설계하였다. 플라즈마발생은 DBD 전극방식을 채용하고 있으며 공정가스흐름 및 전극배열 등을 연구하였다. 또한, 기판 온도, 가스 조합 등의 공정파리미터를 변화시켜가며 높은 애슁 속도 및 균일도를 얻기 위한 실험이 진행되었다. 주파수 15 kHz, 인가 파워 7 kW, 시편 가열 온도 95도, 60 rpm, 80 spm에서 분당 200 nm의 PR제거율을 확인하였다.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2009.10a
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• pp.240-240
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• 2009

오늘날 반도체 기술의 획기적인 발전에 의해서 마침내 에디슨의 탄소 필라멘트 백열전구를 대체할 수 있는 "반도체 필라멘트"라 불리는 고출력 백색 LED (lighting emitting diode)가 차세대 조명광원으로 급부상하고 있다. 백색LED를 생산하기 위한 공정에서 MOCVD (유기금속화학증착)장비를 이용한 공정은 기판의 온도 균일도를 향상시키는 것이 매우 중요하다. 균일한 기판 온도를 갖기 위한 조건으로 기판과 induction heater의 간격, 가스의 흐름, 기판의 회전, 유도가열코일의 디자인 둥이 장비의 설계 요소이다. 본 연구에서는 기관과 induction heater의 간격에 따른 온도를 thermal imaging camera (Fluke, Ti-10)을 이용하여 측정하였다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2008.07a
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• pp.1438-1439
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• 2008

본 논문에서는 유방암치료에 적용되는 Microwave Hyperthermia를 이용한 국부 가열의 방법론적인 접근을 하였다. 그 결과 위상과 거리를 변수로 하여 정확성과 효율성을 2개의 높이는 알고리듬을 찾게 되었다. 그래서 실험적으로 증명하기 위하여 3개의 Waveguide antenna 및 안테나에 파워를 분배해주는 파워 디바이더를 제작하였다.

• Proceedings of the International Microelectronics And Packaging Society Conference
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• 2002.05a
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• pp.121-125
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• 2002

이동통신기기 등의 고주파용 LTCC(Low Temperature Co-fired Ceramic) LC filter의 소결결에 있어 기존의 소결공정인 전기로 소결공정과 microwave를 이용한 소결공정을 이용하여 소결하였을때 LC filter의 수축율과 무게감소, 그에 따른 밀도의 변화, SEM을 이용한 표면형상 분석을 통해 급속가열을 통한 공정시간의 단축, 낮은 에너지 소비로 인한 제조단가의 절감, 균일한 가열로 인한 소결온도의 저하 등의 장점을 갖는 microwave sintering을 적용할 수 있는 가능성을 제시하였다.

• Journal of the Korean Ceramic Society
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• v.35 no.10
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• pp.1078-1084
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• 1998

lanthanum chromite(LaCrO3) powder was synthesized by the combustion of a solution of metal nitrates La(NO3).6H2O and Cr(NO3)3.9H2O and urea. The pH of solution affected a yield of the combustion products but did not influence the morphology of the products. When the pH of the solution was in the range of 0.7-4, the yield of the combustion products was more than 90% The morphology of the combustion products was af-fected by heating methods for the solution. The hot-plate induced heating of the solution yielded powders hav-ing two-dimensionally interconnected agglomerates whereas microwave-induced heating produced a fine and non-agglomerated powders. The specific surface area(BET) of the combustion products using microwave-in-non-agglomerated powders. The specific surface area(BET) of the combustion products using microwave-in-duced heating method were larger(25~32m2/g) than that of hot plate heating method(10-14m2/g)

• 한국연소학회:학술대회논문집
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• 2014.11a
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• pp.13-14
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• 2014

• Proceedings of the Korean Nuclear Society Conference
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• 1999.05a
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• pp.165-165
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• 1999

• Proceedings of the Korean Nuclear Society Conference
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• 1999.05a
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• pp.166-166
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• 1999

• Proceedings of the Korean Nuclear Society Conference
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• 2002.05a
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• pp.116-116
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• 2002