• Title/Summary/Keyword: 균일형 유로

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유도 결합 플라즈마를 이용한 스퍼터-승화 증착 시스템의 공정 분석

  • Yu, Yeong-Gun;Choe, Ji-Seong;Ju, Jeong-Hun
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2013.08a
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    • pp.186-186
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    • 2013
  • 종래의 흑연 위주 연료전지 분리판 개발되어 최근 고분자 전해질 막 연료전지가 높은 전력, 낮은 배기 가스 배출, 낮은 작동 온도로 자동차 산업에서 상당한 주목을 받고 있다. 요구사항은 높은 전기 전도도, 높은 내식성, 낮은 가스 투과성, 낮은 무게, 쉬운 가공, 낮은 제조비용이다. Thin film Cr 장비로 저항가열 furnace, sputter 등이 사용된다. 연료전지 분리판의 고전도도, 내부식성 보호막의 고속 증착을 위한 새로운 증착원으로 스퍼터 - 승화형 소스의 가능성을 유도 결합 플라즈마에 금속 봉을 직류 바이어스 함으로써 시도하였다. 유도 결합 플라즈마를 이용하여 승화증착 시스템을 사용하여 OES (SQ-2000)와 QMS (CPM-300)를 사용하여 $N_2$ flow에 따른 유도 결합 플라즈마를 이용한 스퍼터-승화증착 시스템을 사용 하여도 균일한 공정을 하는 것을 확인 하였다. 5 mTorr의 Ar 유도 결합 플라즈마를 2.4 MHz, 500 W로 유지하면서 직류 바이어스 전력을 30 W (900 V, 0.02 A) 인가하고, $N_2$의 유량을 0.5, 1.0, 1.5 SCCM로 변화를 주어 특성을 분석하였다. MID (Multiple Ion Detection) mode에서 유도결합 플라즈마를 이용한 스퍼터-승화 증착 장비를 사용하여 CrN thin flim 성장시켰고, deposition rate은 44.8 nm/min으로 얻을 수 있었다. 또한 $N_2$의 유량이 증가할 수록 bias voltage가 증가하는 것을 확인 할 수 있었다. OES time acquisition을 이용한 공정 분석에서는 $N_2$ 유량을 off 하였을 때 Ar, Cr의 중성 intensity peak이 상승하였고, 시간 경과에 따라 sublimation에 의한 영향이 없는 것을 확인 할 수가 있었다. XRD data에서는 질소 유량이 증가함에 따라 $Cr_2N$이 감소하고, CrN이 증가하는 것을 확인할 수가 있었다. 결정배향성과 Morphology는 다결정 재료의 경도에 영향을 주는 인자이다. CrN 결정 구조의 경우는 (200)면이 경도가 제일 높은데 (200)면에서 성장한 것을 확인 할 수 있었다. 잔류가스 분석 결과로는 일정한 Ar의 유량을 흘렸을 때 $N_2$의 변화량이 비례적인 경향이 보이는 것을 확인 할수 있었다. 또한 $N_2$가 흐르면서도 유도 결합 플라즈마를 이용한 스퍼터-승화 증착 시스템을 사용하면 일정한 공정을 하는 것을 확인 할 수 있었다. 질소의 분압이 유량에 따라서 $3.0{\times}10^{-10}$ Torr에서 $1.65{\times}10^{-9} $Torr까지 일정한 비율로 증가한다. 즉, 이 시스템으로 양산장비 설계를 하여도 가능 하다는 것을 말해준다.

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Study on Methanol Conversion Efficiency of Steam-Methanol Reforming on Pipe Shape and Flow Rate Variation in Curved Channel (수증기-메탄올 개질기의 곡유로 채널형 관 형태 변화에 따른 메탄올 전환율 및 유동 특성에 관한 수치해석적 연구)

  • Seong, Hong Seok;Lee, Chung Ho;Suh, Jeong Se
    • Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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    • v.40 no.3
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    • pp.173-179
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    • 2016
  • This is a numerical study on the curved channel type of hydrogen reformer using the commercial code of fluid dynamics. We numerically compared the numerical model in a previous study model and the modelling of a tube type curved channel. In the result of numerical analysis on 4 types of curved channel reformers, the methanol conversion efficiency of type 1~4 were 45.0%, 45.3%, 45.6%, 45.6% respectively, and there was hardly any difference by ${\pm}0.6%$. In light of flow characteristics, the rectangle type tube and the type 2 with $45^{\circ}$ turn showed most uniform flow characteristics and concentration distribution of methanol, and the circular type tube and the type 3 with $90^{\circ}$ turn had most un-uniform flow characteristics and concentration distribution of methanol. We concluded that the design for curved channel reformer has to have rectangle type tube with curve of almost $45^{\circ}$ as in the type of curved pipe with $45^{\circ}$ turn.

Development of the Novel Cosmetics Impregnation Material and Study on Makeup W/O Emulsions using It (새로운 화장료 함침재의 개발과 이를 활용한 메이크업 유중수형 에멀전에 관한 연구)

  • Kang, Sungsoo;Kim, Hyeon Jeong;Oh, Se Woong;Park, Sang Wook;Kim, Kyung Seob
    • Journal of the Society of Cosmetic Scientists of Korea
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    • v.43 no.1
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    • pp.27-33
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    • 2017
  • Up to now, better convenience and portability were important factors in the development of the cosmetics and achieved by immersing low viscosity makeup water-in-oil (W/O) emulsion into the impregnation material. Conventionally, polyurethane sponges having porous network structures and hard textures have been dominantly used. It has an advantage of easy to manufacture because of its good impregnation property due to its structural characteristics. However, it releases emulsion too much at first use, and shows unexpected dramatic decline during the period of usage. In this study, we studied on makeup W/O emulsion with various features and developed the new foaming sponge, which showed excellent formability and proper absorption and discharge ability of cosmetic composition through the combination of natural rubber (NR) and styrene butadiene rubber (SBR). This impregnation material is characterized by the softness of elasticity like a rubber, high elongation and uniform output. We confirmed that this material can be used to develop makeup products using various oils depending on polarity and controlling the viscosity of the makeup W/O emulsion. Thus, it is concluded that these results provide valuable information in developing new cosmetics impregnation materials.

Numerical Study on Urea Spraying and Mixing Characteristics with Application of Static Mixer in Marine SCR System (박용 탈질 시스템의 혼합기 적용에 따른 요소수용액 분무 및 혼합특성 수치적 연구)

  • Jang, Jaehwan;Park, Hyunchul
    • Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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    • v.40 no.7
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    • pp.429-434
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    • 2016
  • Among various De-NOx technologies, Urea-based Selective Catalytic Reduction (SCR) systems are known to be the most effective in marine diesel applications. The spraying and mixing behavior of the urea-water solution has a decisive effect on the system's net efficiency. Therefore, in this study, the spray behavior and ammonia uniformity with and without a static mixer were analyzed by CFD in order to optimize the SCR system. The results showed that the static mixer significantly affected the uniformity of velocity and ammonia concentration. Static mixers may be especially suited for marine SCR systems with space constraints.

평판형 직사각 유도결합 플라즈마 표면 처리 시스템의 수치 모델링

  • Ju, Jeong-Hun
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2014.02a
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    • pp.249-249
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    • 2014
  • 대면적 사각형 기판의 플라즈마 표면처리를 위한 유도 결합 플라즈마 발생 시스템의 수치 계산을 유체 모델을 이용하여 진행하였다. 연산 자원이 많이 요구되는 3차원 모델임을 감안하여 준중성 조건을 이용한 간략화 알고리즘을 사용하였다. Poisson 방정식을 풀지 않고 준중성 조건에 의한 양극성 전기장을 계산하여 이용한다. 쉬스는 모델을 이용하여 처리하였다. 1차적으로 사각 spiral 형태의 안테나를 가정하여 LCD 3세대 급의 기판을 대상으로 작성하였다. 다중 분할을 하지 않고 4개의 가지를 갖는 single spiral을 적용하였고 1.125 turn의 low impedance 구조에 대해서 계산하였다. Ar을 이용한 sputter etching 공정을 타겟으로 하여 기판에서의 Ar 이온 밀도 분포의 균일도가 어떤 설계 변수에 의해서 영향을 받는지를 중점적으로 계산하였다.

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The Metallurgy of Induction Surface Hardening (유도 표면 경화의 야금학적 고찰)

  • Jang, W.Y.
    • Journal of the Korean Society for Heat Treatment
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    • v.14 no.4
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    • pp.235-239
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    • 2001
  • 급속 표면가열과 기존의 전기로 열처리에서 얻어지는 경화의 가장 중요한 차이점은 전자가 불균질한 오스테나이트를 생성할 수도 있다는 것이다. 즉, 오스테나이트에 미용해 탄화물이 존재할 수도 있고 탄소와 합금원소의 농도 구배가 존재할 수도 있다. 합금강에서, 이러한 탄화물은 합금성분이 비교적 높기 때문에 철 탄화물에 비해서는 좀 더 천천히 기지에 용해된다. 또한 망간, 크롬, 니켈 및 몰리브덴과 같은 치환형 합금원소는 천천히 확산한다. 따라서, 균일한 오스테나이트를 생성하기 위해서는 더 많은 시간과 더 높은 온도가 요구된다. 그러나 표면 구역의 낮은 경화능에도 불구하고 냉각속도가 마르텐사이트의 체적분율이 큰 미세조직을 확보할 만큼 충분히 크기 때문에 경도는 높게 된다.

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In-situ Monitoring for hybridization between GPS and Alumina Nano Sols (알루미나 나노 졸과 GPS와의 하이브리드화 과정 분석)

  • 황영영;김재홍;석상일
    • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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    • 2003.03a
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    • pp.243-243
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    • 2003
  • 무기 나노 입자와 유기물간의 균일한 화학적 결합으로 제조된 나노 구조형 재료는 수많은 용도에 부응할 수 있는 기계적, 전기적 및 광학적 특성을 설계, 제조하는데 유용한 방법으로 사용되고 있다. 이중 화학적 습식 졸-겔 공정은 나노 구조형 유/무기 하이브리드 재료 제조에 매우 효과적인 방법으로 알려져 있으며 내부식성 금속 코팅막, 내 스크래치 코팅막 제조에 활용되고 있다. 그러나 무기 나노 졸 입자와 유기물과의 매개로 작용하는 커플링제와의 하이브리드 과정에 대한 정보는 극히 조금 알려져 있다. 본 연구에서는 알루미나 나노 졸과 GPS((3-glycidoxypropyl-triethoxysilane)와의 하이브리드 생성 과정을 이온 전도도 측정으로 관찰한 결과를 보고하고자 한다. 알루미나 나노 졸은 Al(NO$_3$)$_3$.9$H_2O$ 수용액에 NH$_4$OH를 가하여 침전물을 얻고 여과 및 수세하여 졸 입자의 함량이 약 5 wt%가 되게 이온교환수와 해교제인 초산을 소량 가하여 10$0^{\circ}C$에서 약 50시간 열처리하는 방법으로 제조하였다. 알루미나 졸 입자와 GPS와의 결합 과정을 reactor FT-IR로 시간에 파라 연속적으로 분석하여 그 반응 경로를 이온 전기전도와 비교하여 논의 될 것이다. 아래 그림 1은 알루미나 나노 졸에 GPS를 첨가한 후 시간에 따라 얻어진 이온 전기전도도를 나타낸 그림이다.

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RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착된 CdS박막의 기판 온도와 열처리 온도 변화에 따른 구조적 및 광학적 특성

  • Im, Jeong-U;Kim, Myeong-Seop;Yu, Jae-Su
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2012.02a
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    • pp.399-399
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    • 2012
  • II-V 족 화합물 반도체인 황화카드뮴(CdS)은 상온에서 2.42 eV의 밴드갭을 갖는 직접 천이형 물질로서 CdTe 또는 $CuInSe_2$와 같은 박막형 태양전지의 투과층(window layer)으로 널리 사용되고 있다. CdS 박막은 전자빔 증착법(e-beam evaporation), 화학용액증착법(chemical bath deposition), 열분해법(spray pyrolysis), 스퍼터링법(sputtering) 등으로 제작되고 있다. 이 중 스퍼터링법의 경우, 다른 증착법에 비해 조작이 간단하고 넓은 면적에서 균일한 박막을 증착할 수 있을 뿐만 아니라, 박막두께 조절이 용이하다. 따라서 본 실험에서는 RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착된 CdS 박막의 기판온도 및 열처리 온도변화에 따른 구조적 및 광학적 특성을 조사하였다. 기판은 RCA 기법으로 세정된 Corning Eagle 2000 유리 기판을 사용하였다. 박막 공정은 초기 진공 $1{\times}10^{-6}Torr$ 상태에서 20 sccm의 Ar 가스를 주입하고 100 W의 RF 파워, 7 mTorr의 공정 압력에서 기판 온도를 $200^{\circ}C$부터 $500^{\circ}C$까지 변화시키면서 수행하였다. 증착된 CdS 박막은 질소 분위기의 가열로(furnace)를 이용해 $300-500^{\circ}C$ 온도에서 30분간 열처리되었다. 시료들의 표면 형상은 scanning electron microscope를 사용하여 관찰하였으며, UV-vis-NIR spectrophotometer를 사용하여 400-1,000 nm 파장영역에서의 투과율을 측정하였다. 그리고 X-선 회절분석(X-Ray Diffraction)으로 결정구조를 조사하고 결정립 크기를 산출하였다.

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Performance Analysis of PEMFC Using Computational Flow Dynamics (CFD) (전산유체역학 (CFD)을 이용한 PEMFC의 성능분석)

  • Kim, Sunhoe
    • Journal of Digital Convergence
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    • v.11 no.8
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    • pp.199-204
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    • 2013
  • Computational fluid dynamics (CFD) is used to reduce number of experiments. The CFD tools are widely used for engine design and flow pattern analysis to reduce experiments. In this study the performance of a PEMFC single cell was analyzed by using STAR-CD, product of CD-ADAPCO. The effect of cell design and flow pattern on the performance of a PEMFC was analyzed with the 3-D simulation. As a result the performance of rectangular cell was the higher than that of square cell, while the flow direction scarcely affected on the performance of a PEMFC. Also the current density according to different excess ratio of air flow rate was compared and analyzed. The difference between maximum and minimum current density of flip-flow was lower than that of co-flow.

Tubular Type Direct Methanol Fuel Cell for in situ NMR Diagnosis (In Situ NMR 진단용 원통형 직접 메탄올 연료전지)

  • Joh, Han-Ik;Um, Myung-Sup;Han, Kee-Sung;Han, Oc-Hee;Ha, Heung-Yong;Kim, Soo-Kil
    • Journal of the Korean Electrochemical Society
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    • v.12 no.4
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    • pp.329-334
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    • 2009
  • This study is to develop a fuel cell system applicable to an in situ NMR (Nuclear magnetic resonance) diagnosis. The in situ NMR can be used in real time monitoring of various reactions occurring in the fuel cell, such as oxidation of fuel, reduction of oxygen, transport phenomena, and component degradation. The fuel cell for this purpose is, however, to be operated in a specifically designed tubular shape toroid cavity detector (TCD), which constrains the fuel cell to have a tubular shape. This may cause difficulties in effective mass transport of reactants/products and uniform distribution of assembly pressure. Therefore, a new flow field designed in a particular way is necessary to enhance the mass transport in the tubular fuel cell. In this study, a tubular-shaped close-type flow field made of non-magnetic material is developed. With this flow field, oxygen is effectively delivered to the cathode surface and the produced water is readily removed from the membrane-electrode assembly to prevent flooding. The resulting DMFC (direct methanol fuel cell) outperforms the open-type flow field and exhibits $36\;mW/cm^2$ even at room temperature.