• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2016.02a
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• pp.117-117
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• 2016

일반적인 박막 성장용 CVD는 막 성장 시간이 짧게는 수분에서 수시간 정도 소요하기 때문에 장비에 문제가 발생 할 시 조치를 취하고 다음 현상을 개선하기에 용이 하였다. 그리고 대분분의 장비가 국산화되어 있을 만큼 많은 경험치가 축척되어 있다. 그러나 2, 4 족 화합물 성장용 CVD는 고아학 렌즈 생산용 장비로 국내에서는 아직 생소하고 공정 경험이 없는 새로운 장비이다. 2,4 족 화합물의 특징은 다음과 같다. 2,4 족 화합물은 M, N 이라는 두가 물질이 결합하여 형성한다. 2,4 족 화합물은 높은 융점과 낮은 증기압을 갖니다. 이런 물질들은 고온에서 아래와 같이 평형적으로 반응한다. $$nMN_{(s)}=nM_{(g)}+Nn_{(g)}$$ 화합물인 $MN_{(g)}$의 상태로 존재할 수 있으나 일바적으로 n=2인 4족 원소의 2원자 분자로된 기체가 지배적이다. 증기상을 이용한 성장 공정에서는 구성 원자나 분자를 만들어내는 단계, 이들을 공급원에서 기판까지 수송하는 단계, 기판 위에 흡착하는 단계, 핵의 생성과 단결정을 생성하는 단계, 필요치 않는 구성물을 제거하는 단계를 거쳐 공정이 진행 된다. 각 공정은 성장 물질에 충분한 자유도를 주어야하고 자유도를 주기 위해서는 많은 열에너지가 공급 되어야 한다. 따라서 기존의 박막 성장 공정 보다 성장 속도가 느리고 증착하는 양보다는 버리는 양이 많으며 버려지는 성장물질들은 급격한 온도 변화가 생기는 곳에서 급격히 증착하기 시작한다. 본 성장 공정이 진행되는 압력은 30 torr 부근이며 공정 온도는 $1000^{\circ}C$ 부근이다. 30 torr 영역에서는 열전달이 대기압과 같은 속도로 진행되기 때문에 지속적으로 온도에의해 손상을 받는 부위가 있을 수 있다. 높은 공정 온도와 높은 공정 압력은 내부 구조물로 발생된 열을 빠르게 장비 표면으로 수송하게 되고 그 결과 장비의 연결 부분에 장착된 오링에 손상을 주게 된다. 오링 손상을 방지 하기위해 냉각수 라인을 형성하여 오링을 보호하게 되면 열역학적 기울기가 급격히 발생하는 부분이므로 CVD의 반응 부산물들이 빠른 시간동안 증착하게 되고 막히는 현상이 발생하게 된다. 목표한 두게까지 박막을 성장시키기 위해서는 장시간 공정이 필수이며 장시간 공정을 안정적으로 가져가지 위해서는 배기 라인의 막힘 현상을 해결하여야 한다. 본 논문에서는 막힘 현상의 진행을 시간에 따라 해석하였으며 장시간 공정을 진행하기위해 필요한 요소와 기구적으로 조치가 가능한 방법에 대해 작성하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2016.02a
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• pp.283.2-283.2
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• 2016

최근 ZnO는 무독성, 저가격, 수소 플라즈마에 대한 내구성 및 열적 안정성 등의 활발히 연구되고 있으며, III족 원소(Al, Ga, In) 불순물을 도핑하여 전기적 성질의 열적 불안정성을 해결하고 전기적 성질을 향상 시키고 또한 밴드갭 에너지가 3.3 eV 이상으로 증가하여 가시광선 영역에서 광투과율이 높은 투명도 전성 재료를 제공할 수 있다. 본 연구에서는 RF Magnetron Sputtering을 이용하여 내열성과 광학적 측면에서 우수한 성능을 가지는 PES 기판에 표면 에너지를 높이고 치밀한 구조의 박막을 증착하기 위해서 $O_2$ 플라즈마 처리를 하여 ZnO계 투명 전도막을 제작함으로써 투명전극에서 요구하는 $10^{-3}{\Omega}{\cdot}cm$ 이하의 낮은 비저항과 80% 이상의 광투과율을 가지는 방안에 대하여 연구하였다. PES 기판 위에 고밀도 $O_2$ 플라즈마를 이용하여 전 처리를 실시한 후 4인치의 Al-doped ZnO(ZnO 98 wt% : $Al_2O_3$ 2 wt%), AZO의 타겟을 이용하여 상온에서 RF Magnetron Sputtering 법으로 AZO 박막을 증착하였다. PES 기판상의 AZO 박막 두께가(100~400nm) 증가함에 따라 캐리어 농도와 홀 이동도가 점차 증가하는 경향을 보였다. 이는 박막 두께가 증가할수록 면저항과 비저항은 감소하며 결정립 크기가 커지고 결정입계에서 산란이 줄어들기 때문에 전기적 특성이 개선된 것으로 판단된다. 고밀도 $O_2$ 플라즈마 표면처리 시간이 증가함에 따라 플라스틱 기판의 결합에너지와 부착력이 증가하여 AZO 박막의 결정립 크기를 증가시키며, 접촉각은 감소하였다. 또한 급속열처리 온도가 증가함에 따라 전기적 특성과 광학적 특성이 향상됨을 확인할 수 있었다. 제작된 AZO 박막은 급속열처리 시간 10분에서 온도 $200^{\circ}C$일 때, 캐리어 농도 $2.32{\times}10^{21}cm^{-3}$, 홀 이동도 $4.3cm^{-2}/V$로 가장 높은 것을 확인할 수 있었고, 가장 낮은 비저항 $1.07{\times}10^{-3}{\Omega}{\cdot}cm$과 가시광 영역(300 nm ~ 1100 nm)에서의 AZO 박막의 광 투과율은 약 86%를 얻을 수 있었다.

• Journal of Educational Research in Mathematics
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• v.20 no.3
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• pp.221-239
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• 2010

Attention to Korean perspective mathematics education has been increasingly paid m international academic meetings or international comparative studies. Personal or intuitive, vague explanation has been given based on limited literature or observations. This increasing attention and Jack of studies warrant the necessity of systematic researches on it. This article aims at clarifying the research issues in searching for Korean perspective on mathematics education and finding the starting point through discussion on mathematical modeling by teacher on researchers and researchers. Firstly, hypothetical perspective will be described. Secondly, Fourteen teacher educators' and seven researchers' opinion on it will be discussed. Findings imply that strong responsibility for Korean mathematics teachers to reveal theoretical aspects of mathematical knowledge, i.e., structure or essence, as well as to pursue efficiency and effectiveness in mathematics teaching and learning is the main aspect of Korean perspective on mathematics education.

• Journal of Korea Multimedia Society
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• v.9 no.8
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• pp.939-949
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• 2006

With the development of industry, product data management system is becoming more and more important. An expanded view of product definition function that include a bill of material and routing database, current and historical engineering data and specifications and engineering changes order history. PDM (Product Data Management) systems hold and manage such material as product specifications, plans, geometric models, CAD drawings and images. Furthermore, PDM enables companies producing complex products to spread product data in to the entire launch process. Especially, PDTnet XML Schema is an international standard for exchanging of PDM data. But PDTnet XML Schema differs from existing XML Schema in the way that its property of IDREF/IDREFS is irregular. Therefore it is important factor that. what do we use storage devices and storage techniques. We developed storage techniques and application supporting various query types and preserving PDTnet XML Schema using a relational database that guaranteeing the performance nowadays. In this paper, we will show that our storage techniques minimize repeated data and optimize query processing by using application comparison with storage techniques of existing XML Schema data.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.02a
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• pp.438-439
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• 2013

Microelectronic devices의 접촉저항의 향상을 위해 Metal silicides의 형성 mechanism과 전기적 특성에 대한 연구가 많이 이루어지고 있다. 지난 수십년에 걸쳐, Ti silicide, Co silicide, Ni silicide 등에 대한 개발이 이루어져 왔으나, 계속적인 저저항 접촉 소재에 대한 요구에 의해 최근에는 Rare earth silicide에 관한 연구가 시작되고 있다. Rare-earth silicide는 저온에서 silicides를 형성하고, n-type Si과 낮은 schottky barrier contact (~0.3 eV)를 이룬다. 또한, 비교적 낮은 resistivity와 hexagonal AlB2 crystal structure에 의해 Si과 좋은 lattice match를 가져 Si wafer에서 high quality silicide thin film을 성장시킬 수 있다. Rare earth silicides 중에서 ytterbium silicide는 가장 낮은 electric work function을 갖고 있어 낮은 schottky barrier 응용에서 쓰이고 있다. 이로 인해, n-channel schottky barrier MOSFETs의 source/drain으로써 주목받고 있다. 특히 ytterbium과 molybdenum co-deposition을 하여 증착할 경우 thin film 형성에 있어 안정적인 morphology를 나타낸다. 또한, ytterbium silicide와 마찬가지로 낮은 면저항과 electric work function을 갖는다. 그러나 ytterbium silicide에 molybdenum을 화합물로써 높은 농도로 포함할 경우 높은 schottky barrier를 형성하고 epitaxial growth를 방해하여 silicide film의 quality 저하를 야기할 수 있다. 본 연구에서는 ytterbium과 molybdenum의 co-deposition에 따른 silicide 형성과 전기적 특성 변화에 대한 자세한 분석을 TEM, 4-probe point 등의 다양한 분석 도구를 이용하여 진행하였다. Ytterbium과 molybdenum을 co-deposition하기 위하여 기판으로 $1{\sim}0{\Omega}{\cdot}cm$의 비저항을 갖는 low doped n-type Si (100) bulk wafer를 사용하였다. Native oxide layer를 제거하기 위해 1%의 hydrofluoric (HF) acid solution에 wafer를 세정하였다. 그리고 고진공에서 RF sputtering 법을 이용하여 Ytterbium과 molybdenum을 동시에 증착하였다. RE metal의 경우 oxygen과 높은 반응성을 가지므로 oxidation을 막기 위해 그 위에 capping layer로 100 nm 두께의 TiN을 증착하였다. 증착 후, 진공 분위기에서 rapid thermal anneal(RTA)을 이용하여 $300{\sim}700^{\circ}C$에서 각각 1분간 열처리하여 ytterbium silicides를 형성하였다. 전기적 특성 평가를 위한 sheet resistance 측정은 4-point probe를 사용하였고, Mo doped ytterbium silicide와 Si interface의 atomic scale의 미세 구조를 통한 Mo doped ytterbium silicide의 형성 mechanism 분석을 위하여 trasmission electron microscopy (JEM-2100F)를 이용하였다.

• Journal of the Society of Cosmetic Scientists of Korea
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• v.22 no.1
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• pp.60-69
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• 1996

3-APPA는 생체내 물질 Υ-amino butyric acid와 유사한 구조를 갖는 물질로서 human fibroblasts 3-dimensional culture system 등의 in vitro 시험에서 collagen 합성촉진 효과, 세포증식 효과를 나타내며, hairless mouse를 이용한 동물시험에서도 collagen 합성이 증가되는 것으로 보고된 바 있다. 또한 피부 안정성에서도 우수한 결과를 보여줌으로서 화장품 분야에서 새로운 노화억제 물질로서 주목을 받게 되었다. 본 시험에서는 180명의 피검자를 대상으로 3개월간의 임상시험을 통하여 새로운 노화억제 물질인 3-APPA의 효능을 기존의 GABA 유사물질, aminopropane sulfonic acid와 비교하였다. 본 시험은 double-blind, randomized, vehicle-controlled clinical study로서 180명의 피검자를 APSA군, 3-APPA군, vehicle군으로 분류한 후 3개월간 매일 저녁 취침 전, 안면에 시험제품을 사용하도록 하였으며, 사용 전, 사용 1주후, 2주후, 6주후, 12주후 5회 설문지를 통하여 피부상태를 조사하였다. 각 설문내용은 피부 건조도, 피부 탄력도, 피부 주름량, 피부 윤기도, 피부 거칠기 정도에 대한 5개 질문으로 구성된 효능에 관한 질문과 흡수정도, 끈적임, 매끄러움, 보습력, 보습지속성, 전체적인 사용감에 대한 6개 질문으로 구성된 사용성에 관한 것이었다. 각 질문에 대하여는 매우 좋음 1점, 좋은 2점, 보통임 3점, 나쁨 4점, 매우 나쁨 5점 사이에서 답할 수 있도록 하였다. 시험 결과 APSA군은 6주와 12주후 피부 건조도, 피부 거칠기 항목에서 사용전에 비하여 유의한 차이를 나타내었다. 3-APPA군은 6주후 피부 건조도, 피부 거칠기, 피부 탄력도 항목에서 시료사용전에 비해 유의한 차이를 나타내었으며 12주후에는 피부 건조도, 피부 탄력도, 피부 윤기도, 피부 거칠기 항목에서 유의한 차이를 나타내었다. 12주후 APSA군은 피부 주름, 피부 탄력도 항목에서 vehicle 사용 피검자군에 비하여 유의적인 차이를 나타내었으나 3-APPA군은 피부 탄력도, 피부 주름량, 피부 윤기 항목에서 vehicle군에 비하여 유의적인 차이를 나타내었다. 결론적으로 3-APPA와 APSA 사이에 유의적인 차이가 있지는 않았으나 3-APPA군은 APSA군에 비하여 6주, 12주에서 사용전과 유의한 차이를 나타내는 항목이 많았으며 12주에서 vehicle과 유의적인 차이를 나타내는 항목도 많으므로 3-APPA가 APSA 보다 광범위한 피부노화 억제 효과를 갖는 물질이라고 할 수 있다.

• Journal of the Korean Society of Surveying, Geodesy, Photogrammetry and Cartography
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• v.29 no.6
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• pp.641-650
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• 2011

Airborne LIDAR system, utilized in various forest studies, provides efficiently spatial information about vertical structures of forest areas. The tree height is one of the most essential measurements to derive forest information such as biomass, which can be estimated from the forest terrain model. As the terrain model is generated by the interpolation of ground points extracted from LIDAR data, filtering methods with high reliability to classify reliably the ground points are required. In this paper, we applied three representative filtering methods to forest LIDAR data with diverse characteristics, measured the errors and performance of these methods, and analyzed the causes of the errors. Based on their complementary characteristics derived from the analysis results, we have attempted to combine the results and checked the performance improvement. In most test areas, the convergence method showed the satisfactory results, where the filtering performance were improved more than 10% in maximum. Also, we have generated DTM using the classified ground points and compared with the verification data. The DTM retains about 17cm RMSE, which can be sufficiently utilized for the derivation of forest information.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2000.02a
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• pp.31-31
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• 2000

Al2O3는 높은 화학적, 열적 안정성으로 인하여 미세전자 산업에서 절연막이나 광전자소자의 재료로써 널리 이용되고 있다. 특히, 사파이어는 고위도의 LED, 청색 LD의 재료인 GaN 계열의 III-Nitride 물질을 성장시킬 때 필요한 기판으로 보편적으로 사용되고 있다. 이러한 GaN계열의 광소자 제조에서 사파이어 기판을 적용시 지적되는 문제점들 중의 하나는 소자제조 후 사파이어의 결정 구조 및 높은 경도에 의해 나타나는 cutting 및 backside의 기계적 연마가 어렵다는 것이다. 최근에는 이온빔 식각이나 이온 주입 후 화학적 습식 시각, reactive ion etching을 통한 사파이어의 건식 식각이 소자 분리 및 backside 공정을 우해 연구되고 있다. 그러나 이러한 방법을 이용한 사파이어의 식각속도는 일반적으로 15nm/min 보다 작다. 높은 식각율과 식각후 표면의 작은 거칠기를 수반한 사파이어의 플라즈마 식각은 소자 제조 공정시 소자의 isolation 및 lapping 후 연마 공정에 이용할 수 있다. 본 연구에서는 평판 유도결합형 플라즈마를 이용하여 Cl2/BCL3/Ar 의 가스조합, inductive power, bias voltage, 압력, 기판온도의 다양한 공정 변수를 통하여 (0001) 사파이어의 식각특성을 연구하였다. 사파이어의 식각속도는 inductive power, bias voltage, 그리고 기판 온도가 증가할수록 증가하였으며 Cl2에 BCl3를 50%이하로 첨가할 때 BCl3 첨가량이 증가할수록 식각속도 및 식각마스크(photoresist)와의 식각선택비가 증가하는 것을 관찰하였다. 또한, Cl3:BCl3=1:1의 조건에 따라 Ar 첨가에 따른 식각속도 및 표면 거칠기를 관찰하였다. 본 연구의 최적 식각조건인 40%Cl2/40%BCl3/20%Ar, 600W의 inductive power, -300V의 bias voltage, 30mTorr의 압력, 기판온도 7$0^{\circ}C$에서 270nm/min의 사파이어 식각속도를 얻을수 있었다. 그리고 이러한 식각조건에서 표면의 거치기를 줄일수 있었다. 사파이어 식각은 보편적인 사파이어 lapping 공정시 수반되어 형성된 표면의 거치기를 줄이기 위한 마지막 공정에 응용될수 있다. 사파이어의 식각시 나타나는 식각 부산물은 플라즈마 진단방비인 optical emission spectroscopy (OES)를 통하여 관찰하였고, 식각시 사파이어의 표면성분비 변화 및 표면의 화학적 결합은 X-ray photoelectron spectroscopy(XPS)를 사용하여 측정하였다. 시각 전, 후의 표면의 거칠기를 scanning electron microscopy(SEM)을 통하여 관찰하였다.

• Journal of the Korean Association of Geographic Information Studies
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• v.6 no.3
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• pp.11-20
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• 2003

Many-sided approach methods are being demanded to solve environmental problems in urban areas. One of these methods will be to manage forests scattered in urban areas efficiently. This paper is to grasp the change of land use and landscape indices in Mt. Ap, Daegu, and to analyze the change of landscape structure. Mt. Ap is near Daegu Metropolitan, so under unnatural interferences of human activity persistently. The results of above analysis run as follows: First, the north of the case area is connected to forest, and keeps stable equilibrium ecologically, while the other parts of it suffer from rural exodus and side effects of urbanization which has been completed since 1980. Second, according to the area-rate change of each landscape element, a cultivated areas has been converted into urban one, especially Pinus densiflora forests and paddy fields into mixed forests and urban areas. Finally, most of plantations have been converted into deciduous forests and mixed forests in failure of adaption of plants in burned areas rather than owing to factitious interference.

• Smart Media Journal
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• v.5 no.1
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• pp.95-103
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• 2016

This study aims to consider the action plans to make the industry of Korean design consultancies accomplish qualitative growth by comparing the operation characteristics of design consulting firms between Korean design firms and American ones. For this, questionnaire survey and comparison analysis was performed for the operation characteristics of 109 Korean design firms and 97 American ones. The analysis results shows that operation characteristics of Korean design firms comparing to those of American ones keep low in all 7 areas of building long-term partnership relationship, building multi- disciplinary organization, utilizing result-based compensation system, developing design at the strategic business level of clients, executing active design business, making convergent networking with other industry and performing specialized design services. In order to accomplish stable industry infrastructure of design consulting industry with qualitative growth, it requires continuous effort to execute 7 operation characteristics of Korean design firms.