• Journal of the Korean Ceramic Society
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• v.34 no.1
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• pp.13-22
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• 1997

Water-soluble phosphate glasses containing Ag and Cu ion were prepared through melting process. Dis-solution characteristics, bactericidal effect and cytotoxicity were investigated with composition and time in D. I. water using the powdered sample. Surface change were observed with increasing dissolution time us-ing the bulk specimen. Dissolution amount was maximum at the molar Ag:Cu ratio of 1 and increased with increasing time. The behavior of dissolution was total dissolution from the early stage. But no new layer was observed at the glass surface during dissolution. The bactericidal effect for pseudomonas sp, e. coli, sta-phylococcus aureus, and salmonella increased with increasing dissolution amount and therefore great bac-tericidal effect appeared. The result of cytotoxicity experiment to L929 showed that solution with more than 10 ppm of Ag ion had strong cytotoxicity.

• Resources Recycling
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• v.17 no.5
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• pp.60-65
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• 2008

A study on the removal of silver(Ag) in copper electrolyte was carried out to produce high purity copper by using various method such as ion exchange resin, activated carbon adsorption, copper cementation with powder and wire, CuS precipitation. Parameters, such as reaction time, reaction temperature, addition amount etc. were investigated to determine the effective condition of silver removal. CuS precipitation and ion exchange using Lewatit TP214 was found to be effective. Especially, silver content in copper electrolyte was reduced from 10 ppm to less than 0.1 ppm by ion exchange with Lewatit TP214.

• Korean Journal of Fisheries and Aquatic Sciences
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• v.27 no.5
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• pp.529-534
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• 1994

The lethal concentration(LC50) of several micropollutants for three species of the fish Paralichthys olivaceus, Mugil cephalus and Sebastes schlegeli were determined by acute toxicity tests. For the determination of definitive test concentrations, the fish were exposed to three test material concentrations spaced at order-of-magnitude intervals based on a logarithmic ratio in range finding tests. LC50 was determined by five concentrations of test material in a geometric progression by means of range finding tests. The 96hr-LC50 values(mg/l) were estimated by the graphical interpolation of probability-logarithm transformations. These indicated that the order of sensitivities to three kind of micropollutants was Mugil cephalus > Paralichthys olivaceus > Sebastes schlegeli.

• Journal of Korean Society of Environmental Engineers
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• v.28 no.2
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• pp.178-182
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• 2006

The purpose of this research is to remove the bromate that is a disinfection by-poduct of water purification by ozone. I achieved a high rate of removal with iron, copper, or silver impregnated activated carbon by using both the adsorbing power of granular activated carbon and the oxidizing power of metal ions as deoxidizing agents. In the removal test of bromate with the quantity of activated carbon input I injected each activated carbon by 0.1, 0.3, 0.1, and 1.0 g and let them react for 240 minutes. I found the quantity of removed bromate was in proportion to the amount of input. The removal rate of bromate increased about 20% when I used acid treated activated carbon. The metal impregnated activated carbon had a higher removal rate of bromate than that of general activated carbon by about $30{\sim}50%$. Iron impregnated activated carbon showed a 92% removal rate of bromate. Iron, copper, or silver impregnated activated carbon removed about $0.9{\sim}1.5mg\;{BrO_3}^-/g$ while general activated carbon removed about $0.02{\sim}0.45mg\;{BrO_3}^-/g$. In the continuous column reaction, there were breakthrough phenomena at 96, 180, and 252 hours when I tested EBCT by 1, 2 and 3 minutes while I was changing the flux rate of bromate from 15.6 to 46.8 mL/min.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.08a
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• pp.179-179
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• 2010

다양한 분야에서 확산 방지막은 소자의 신뢰성 향상에 중요한 역할을 하고 있다. 최근 반도체에 적용되기 시작한 구리 배선 형성 공정에서도 실리콘이나 실리콘 산화막으로 구리가 확산하는 것을 방지하는 기술이 중요한 부분을 차지하고 있다. 기존 physical vapor deposition (PVD)법을 이용한 $TaN_x$ 확산 방지막 형성 기술이 성공적으로 적용되고 있으나 반도체의 최소선폭이 지속적으로 감소함에 따라 한계에 다다르고 있다. 20 nm 급과 그 이하의 구리 배선을 위해서는 5 nm 이하의 매우 얇고 높은 피복 단차율을 가진 확산 방지막 형성 기술이 요구된다. 또한, 요구 두께의 감소에 따라 더 우수한 확산 방지 특성이 요구된다. Atomic layer deposition (ALD)은 박막의 정교한 두께 조절이 가능하며 높은 종횡비를 가지는 구조에서도 균일한 박막 형성이 가능하다. 이번 연구에서는 다른 질소 함량을 가진 $TaN_x$ 박막을 Tertiarybutylimido tris (ethylamethlamino) tantalum (TBITEMAT) 전구체와 $H_2+N_2$ 반응성 플라즈마를 사용하여 plasma enhanced atomic layer deposition (PEALD) 법으로 형성하였다. 박막 내질소 함량에 따라 $TaN_x$의 상 (phase)과 미세구조 변화가 관찰되었고, 이러한 물성의 변화는 확산 방지 특성에 영향을 주었다. TEM (Transmission electron microscopy)과 SEM (scanning electron microscope), XPS (x-ray photoelectron spectroscopy)를 통해 $TaN_x$의 물성을 분석하였고, 300 도에서 700 도까지 열처리 후 XRD (x-ray deffraction)와 I-V test를 통해 확산 방지막의 열적 안정성이 평가되었다. PEALD를 통해 24 nm 크기의 trench 기판 위에 약 4 nm의 $TaN_x$ 확산 방지막이 매우 균일하게 형성할 수 있었으며 향후 구리 배선에 효과적으로 적용될 것으로 예상된다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.02a
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• pp.145-145
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• 2012

반도체 집적회로의 집적도가 증가함에 따라 RC delay가 증가하며, 금속 배선의 spiking, electromigration 등의 문제로 인해 기존의 알루미늄 금속을 대체하기 위하여 구리를 배선재료로 사용하게 되었다. 하지만 구리는 실리콘 및 산화물 내에서 매우 빠른 확산도를 가지고 있으므로, 구리의 확산을 막아 줄 확산방지막이 필요로 하다. 이러한 확산방지막의 증착은, 소자의 크기가 작아짐에 따라 via/contact과 같은 고단차 구조에도 적용이 가능하도록 기존의 sputtering 증착 방법에서 이를 개선한 collimated sputter, long-throw sputter, ion-metal plasma 등의 방법으로 물리적인 증착법이 지속되어 왔지만, 근본적인 증착방법을 바꾸지 않는 한 한계에 도달하게 될 것이다. 원자층 증착법(ALD)은 CVD 증착법의 하나로, 소스와 반응물질을 주입하는 시간을 분리함으로써 증착하고자 하는 표면에서의 반응을 유도하여 원자층 단위로 원하는 박막을 얻을 수 있는 증착방법이다. 이를 이용하여 물리적 증기 증착법(PVD)보다 우수한 단차피복성과 함께 정교하게 증착두께를 컨트롤을 할 수 있다. 본 연구에서는 이러한 원자층 증착법을 이용하여 구리 배선을 위한 확산방지막으로 텅스텐질화막을 형성하였다. 텅스텐 질화막을 형성하기 위하여 금속-유기물 전구체와 함께 할라이드 계열인 WF6를 텅스텐 소스로 이용하였으며, 이에 대한 원자층 증착방법으로 이루어진 박막의 물성을 비교 평가하여 분석하였다.

• Korean Journal of Environmental Biology
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• v.30 no.3
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• pp.231-237
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• 2012

Toxicity of $Ni^{2+}$ and Tebuconazole were investigated via FETAX (Frog Embryo Teratogenesis Assay-Xenopus) protocol using domestic frog embryos. Embryos of Black-spotted pond frog, Rana nigromaculata, were incubated and toxic effects of $Ni^{2+}$ and Tebuconazole were investigated by probit analysis. As a result, mortality and malformation rates were increased and larval body length was decreased in a dose dependant manner of $Ni^{2+}$ and Tebuconazole. The half maximal effective concentration ($EC_{50}$) of $Ni^{2+}$ and Tebuconazole were 0.07, $12.7mg\;L^{-1}$, respectively and the half maximal lethal concentration ($LC_{50}$) of $Ni^{2+}$ and Tebuconazole were 4.2, 39.1, respectively. The teratogenic index (TI) were 61.4 in $Ni^{2+}$ and 3.1 in Tebuconazole, respectively. These results reveals that $Ni^{2+}$ and Tebuconazole suppress the development of Black-spotted pond frog embryos at the low concentration as showing teratogenic effects in other assay system. Therefore, teratogen assay system using the Rana nigromaculata embryos could be useful as a tool to evaluate the toxicity of the pollutants in environment.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.08a
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• pp.351-352
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• 2011

그래핀(Graphene)은 2차원 평면구조의 $sp^2$ 탄소 결합으로 이루어진 물질이다. 일반적으로 그래핀은 탄소 원자 한층 정도의 얇은 두께를 가지면서 강철의 100배 이상 높은 강도, 다이아몬드보다 2배 이상 뛰어난 열 전도성, 그리고 규소보다 100배 이상 빠른 전자이동도 등의 매우 우수한 특성을 지닌다. 그래핀을 합성하거나 얻는 방법에는, 기계적 박리법(Micro mechanical exfoliation), 산화흑연(graphite oxide)을 이용한 reduced graphene oxide(RGO)방법과 탄화 규소(SiC)를 이용한 epitaxial growth 방법 등이 있지만, 대 면적화가 어렵거나 구조적 결함이 큰 문제점이 있다. 반면, 탄화수소(hydrocarbon)를 탄소 공급원으로 하는 열화학 기상 증착법(Thermal chemical vapor deposition, TCVD)은 구조적 결함이 상대적으로 적으면서 대 면적화가 가능하다는 이점 때문에 최근 가장 많이 이용되고 있는 방법이다. TCVD를 이용, 니켈, 몰리브덴, 금, 코발트 등의 금속에서 그래핀 합성연구가 보고되었지만, 대부분 수 층(fewlayer)의 그래핀이 합성되었다. 하지만, 구리 촉매를 이용하는 것이 단층 그래핀 합성에 매우 효율적이라는 연구결과가 보고되었다. 구리의 경우, 낮은 탄소융해도(solubility of carbon) 때문에 표면에서 self limiting 과정을 통하여 단층 그래핀이 합성된다. 그러나 단층 그래핀 일지라도 면저항(sheet resistance)이 매우 높고, 이론적 계산값에 비해 전자이동도(electron mobility)가 낮게 측정된다. 이러한 원인은 구조적 결함에서 기인된 것으로써 산업으로의 응용을 어렵게 만들기 때문에 양질의 단층 그래핀 합성연구는 필수적이다[1,2]. 본 연구에서는 TCVD를 이용하여 구리 포일(25 ${\mu}m$, Alfa Aeser) 위에 메탄가스를 탄소공급원으로 하여 수소를 함께 주입하고, 메탄가스의 양과 합성시간, 열처리 시간을 조절하면서 균일한 단층 그래핀을 합성하였다. 합성된 그래핀을 $SiO_2$ (300 nm)기판위에 전사(transfer)후 라만 분광법(raman spectroscopy)과 광학 현미경(optical microscope)을 통하여 분석하였다. 그 결과, 열처리 시간이 증가할수록 촉매로 사용된 구리 포일의 grain size가 커짐을 확인하였으며, 구리 포일 위에 합성된 그래핀의 grain size는, 구리 포일의 grain size에 의존하여 커짐을 확인하였다. 또한 동일한 grain 내의 그래핀은 균일한 층으로 합성되었다. 이는 기계적 박리법, RGO 방법, epitaxial growth 방법으로 얻은 그래핀과 비교하여 매우 뛰어난 결정성을 지님이 확인되었다. 본 연구를 통하여 면적이 넓으면서도 결정성이 매우 뛰어난 양질의 단층 그래핀 합성 방법을 확립하였다.

• Applied Biological Chemistry
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• v.28 no.2
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• pp.76-81
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• 1985

Miscible displacement techniques were used to investigate the influence of the organic matter treatment on the mobility of Cd, Zn, and Cu through soil columns. The heavy metals moved most readily through the Bonryang soil (Typic Udifluvents) of relatively low in CEC, pH, and organic matter content. Most parts of Cd and Zn eluted within 7 pore volumes, but Cu eluted between 5 and 15 pore volumes. Although the Gangseo soil (Aquatic Eutrochrepts) had lower in CEC and organic matter content than the Gyorae soil (Typic Distrandepts), the heavy metals moved faster through the Gyorae soil than through the Gangseo soil. Cu eluted more slowly and in smaller quantities than Cd and Zn from the Bonryang soil, but did not eluted from the Gangseo and the Gyorae soils at all during the experimental period. The motility of the heavy metals from the Bonryang and the Gangseo soils was in the order of Cd>Zn>Cu, but that of the Gyorae soil was in the order of Zn>Cd>Cu. Cd and Zn eluted after 5 and 20 pore volumes respectively, from the Bonryang soil treated with 3% compost but Cu did not elute even after 30 pore volumes were collected. By 7% compost treatment only small amountssof Cd eluted after 20 pore volumes. The liming of the Bonryang soil retarded the mobility of Cd, Zn, and Cu. Humic acid treatment did not reduce the motility of the Cd and Zn to the extent observed in the Bonryang soil with compost, but reduced a little motility of Cu.

• Journal of Nuclear Fuel Cycle and Waste Technology(JNFCWT)
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• v.13 no.3
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• pp.235-242
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• 2015

A commercially available copper mesh was investigated as an iodine off-gas capturing medium for pyroprocessing, with an aim to replace costly silver based adsorbents. Theoretical calculation results suggested that the reaction between metallic copper and gaseous iodine will occur spontaneously to produce copper iodide in the temperature range of 100 ~ 500℃. The effect of the reaction temperature on iodine capturing efficiency was investigated by experimentation, and it was found that 5 and 6 wt% of iodine (initial mass 2.0 g) was captured by a single copper mesh (0.26 g) at 300 and 400℃, respectively. The repeated experimental results also suggested that copper utilization can be increased with the help of the spontaneous detachment of the reaction product (CuI) from a copper mesh. The formation of the CuI phase was confirmed using the X-ray diffraction technique, and the surface morphology of the reaction product was observed using scanning electron microscopy.