• 제목/요약/키워드: 교란법

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광 센서를 이용한 공정 진단법

  • 이창석;박창희;김동희;최성원
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2015년도 제49회 하계 정기학술대회 초록집
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    • pp.71-71
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    • 2015
  • 반도체 및 디스플레이 소자 제조를 위한 진공 플라즈마는 다양한 공정 조건하에서 다양한 공정 가스의 물리화학적 반응에 의한 박막의 형석 및 식각 반응을 유도한다. 실 공정 하에서 기체 성분의 환경 조건에 의하여 박막층 및 식각 구조 형성에 심각한 영향이 발생할 수 있으며, 공정 조건에서 기체 압력을 완벽하게 컨트롤 하는 것은 현실상 불가능하므로 기체 부분압력이 실시간으로 반드시 모니터링 되고 이를 피드백으로 하여 압력 변수가 조정되어야 완벽하게 공정을 제어할 수 있다. 이를 위하여 현장에서 플라즈마 공정을 실시간 in-situ 모니터링 할 수 있는 다양한 진단 방법이 도입되고 있으며 접촉신 진단 방법은 플라즈마와 섭동으로 인한 교란을 유발하고, 이온에너지 측정의 한계가 존재하며 비접촉식 방법 중의 하나인 유도형광법(LIF)은 측정 물질의 제한으로 인하여 플라즈마 내에 존재하는 다양한 가스 종의 거동을 살필 수 없는 등 현실 적용 측면에서 실 공정에 적용하는데 단점이 존재한다. 공정 상태 및 RF에 의한 영향을 주고받지 않고, 민감한 공정 변화의 감지 및 혼합가스를 사용하는 실시간 공정 진단을 위하여 비접촉 광학 측정 방식인 발광 분광 분석법(optical emission spectroscopy, OES)이 각광받고 있으며, 본 강습에서는 분광학의 기본 개념 및 OES를 이용한 진공 플라즈마 진단 방법에 관한 전반적인 개요를 설명하도록 한다

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철근콘크리트 파일캡의 해석 및 설계를 위한 개선 3차원 스트럿-타이 모델 (Refined 3-Dimensional Strut-Tie Models for Analysis and Design of Reinforced Concrete Pile Caps)

  • 김병헌;채현수;윤영묵
    • 대한토목학회논문집
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    • 제33권1호
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    • pp.115-130
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    • 2013
  • 철근콘크리트 파일캡의 설계 시 사용되고 있는 현행 설계기준의 단면법 및 스트럿-타이 모델 방법은 각각 B-영역으로 이루어진 철근콘크리트 구조부재의 거동과 2차원 응력교란영역을 갖는 철근콘크리트 구조부재의 거동에 기초한 것으로, 이를 응력교란영역(D-영역)을 갖고 3차원 거동이 지배적인 철근콘크리트 파일캡의 설계에 적용하는 것은 적절하지 않다. 이 연구에서는 3축 응력을 받는 콘크리트 스트럿 및 절점영역의 강도특성과 철근이 배치되지 않은 인장영역에서의 콘크리트 타이의 하중저항능력 등을 반영하여 철근콘크리트 파일캡을 합리적으로 설계할 수 있는 개선 3차원 스트럿-타이 모델을 제안하였다. 파괴실험이 수행된 78개 철근콘크리트 파일캡 시험체의 극한강도를 현행 설계기준의 단면법 및 스트럿-타이 모델 방법, 그리고 이 연구의 개선 3차원 스트럿-타이 모델을 이용하여 평가하였으며, 그 결과의 비교분석을 통해 스트럿-타이 모델 방법 적용 시의 3차원 거동 및 하중전달 메커니즘을 묘사하기 위한 적절한 구성요소의 필요성과 이 연구에서 제안한 개선 3차원 스트럿-타이 모델의 타당성을 검증하였다.

화성운석에 대한(U-Th)/He 연령 측정: 기존 연구 및 전망 ((U-Th)/He Dating on Martian Meteorites: Reviews and Perspectives)

  • 민경원;이승렬
    • 암석학회지
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    • 제19권4호
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    • pp.255-267
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    • 2010
  • 최근 많은 발전을 이룬 (U-Th)/He 온도-연령 측정법은 광물내의 빠른 He 확산 특성을 이용해 지각 천부의 열역사 혹은 매우 짧은 열적 교란 등을 규명하는데 널리 쓰이고 있다. 이번 논평에서는 이 방법이 어떻게 화성운석의 열역사, 특히 화성(Mars)에서 방출시의 열적교란을 규명하는데 이용될수 있는지에 대한 기존 연구 및 전망에 대해 기술하였다. 모든 화성운석은 화성에서 방출될 당시 충격변성작용을 겪은 것으로 알려져 있는데, 이러한 작용의 온도조건을 규명하기 위해 충격실험을 통한 암석 조직 비교, 고지자기학적 연구, $^{40}Ar/^{39}Ar$ 및 (U-Th)/He 온도-연령측정법 등이 이용되었다. 각각의 방법은 장단점이 있으며 열역사를 밝히는데 단편적인 정보만을 제공하지만, 이러한 다양한 방법들이 동시에 적용되었을때 보다 신빙성있는 열역사를 알아낼 수 있다. ALH84001 화성운석의 경우 화성에서 방출될 당시의 조건에 대해 논란이 많은데 이는 위에 언급한 방법들로부터 서로 상반된 결론이 도출되었기 때문이다. 최근 단입자 (U-Th)/He 및 $^{40}Ar/^{39}Ar$ 결과를 동시에 만족하는 열역사를 규명한 연구가 ALH84001 화성운석에 대해 이루어 졌는데, 이는 앞으로의 운석 연구에 좋은 방법론을 제시할 수 있으리라 본다.

곡관후단의 직관거리와 센서위치에 따른 초음파유량계의 오차특성 (Error Characteristics of Clamp-on Ultrasonic Flowmeters Depending on Location of Sensors and Downstream Straight Run of Bent Pipe)

  • 이동근;조용
    • 대한기계학회논문집B
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    • 제35권8호
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    • pp.861-868
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    • 2011
  • 관로를 통과하는 유체의 양을 측정하기 위해 설치된 유량계는 주기적인 교정과 비교측정을 통하여 측정의 정확도와 신뢰성을 확보하고 있다. 이때 사용되는 기준기는 휴대용 즉 센서가 관로의 외벽에 부착되는 건식 초음파유량계이며 사용되는 측정센서의 수량에 따라 1회선, 2회선, 4회선으로 구분된다. 본 연구의 대상은 K-water에서 주로 사용하고 있는 유량계를 선정한 후 직관거리가 충분히 확보된 상태에서 실험대상 유량계가 갖는 고유오차와 유동교란인자인 2중 곡관 후단에서의 직관거리별 오차에 대한 특성실험을 실시하였다. 실험결과를 기준으로 허용오차를 만족하는 센서위치 즉, 관로외부에 부착하는 각도와 곡관 후단으로부터의 이격거리 및 최적의 회선수를 제시하여 유량측정기술 향상을 통한 수처리 공정관리 및 유수율 제고기반을 마련하였다.

하수처리장 유입수 전처리 방식에 따른 미세플라스틱 검출 비교 (A comparative study of micro plastic detection among different pretreatment method)

  • 길경익;김성렬;이지원
    • 한국수자원학회:학술대회논문집
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    • 한국수자원학회 2021년도 학술발표회
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    • pp.422-422
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    • 2021
  • 현대사회에서 플라스틱의 요구량은 꾸준히 증가하고 있으며 이에따라 생산량 역시 맞춰 증가하고 있다. 이에 따라 전세계적으로 플라스틱으로 인해 발생하는 폐기물의 양 역시 증가하고 있으며 이로 인해 플라스틱 재질의 폐기물이 많아지고 있다. 이 중 가장 문제가 되는 폐기물이 바로 미세플라스틱이다. 미세플라스틱은 1㎛ ~ 5mm 미만의 플라스틱으로 그 물리 화학적인 특성으로 인해 회수가 어려우며 외부 환경에 잔류시 독성을 유발할 수 있다. 플라스틱의 약한강도와 열악한 내열성 그리고 유기용매에 취약하다는 단점을 보완하기 위해 첨가하는 화학물질로 인해 내분비계교란물질을 발생시켜 생명체의 내분비계를 교란시켜 최종적으로 성기능장애를 유발한다. 또한 미세플라스틱의 표면은 유기염류성 살충제와 같은 잔류성오염물질(POPs persistent organic pollutants)사이의 흡착성이 크기 때문에 미세플라스틱은 POPs 농도를 주변보다 최대 백만배 높게 만들 수 있다. 미세플라스틱의 분석은 표준화된 방식이 없어서 제각각이지만 대체로 미세플라스틱 표면에 응집된 유기물을 처리하는 전처리, 미세플라스틱의 농도를 분석하는 정량분석, 그리고 미세플라스틱의 성분을 분석하는 정성분석의 과정을 거쳐서 진행된다. 이러한 미세플라스틱의 분석법을 기반으로 하수처리장에 유입되는 하수의 미세플라스틱 분석방법을 제안하면 다음과 같다. 우선 유입수로부터 미세플라스틱을 따로 분리하기 위해 체거름을 진행했다. 이후 유입하수의 성상에 맞는 적정 전처리 방법을 알아내기 위해 유기물을 제거하기 위한 산화방식으롷서 과산화수소수, 80℃의 과산화수소수, 그리고 펜톤산화의 서로 다른 3가지 방식을 사용했다. 이후 이어지는 정량분석과 정성분석결과를 비교하여 유입하수에 가장 최적인 미세플라스틱 측정방법을 알아보고자 한다.

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실내모형실험을 통한 인홀형 탄성파콘 시험의 적용성 분석 (A Pilot Study of Inhole Type CPTu from Model Tests)

  • 장인성;정민재;권오순;목영진
    • 대한토목학회논문집
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    • 제28권2C호
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    • pp.95-103
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    • 2008
  • 탄성파 피에조콘 관입시험(Seismic piezocone penetration test, SCPTu)은 콘 관입 저항값과 간극수압 거동 특성 외에도 지반의 동적 특성을 측정할 수 있는 시험법이지만, 해상 조사의 경우 탄성파를 일으키는 발진(Source) 장치를 설치하기가 상당히 힘들기 때문에 SCPTu를 이용하여 해양 지반에 대한 동적 물성치를 파악하는데 어려움이 있다. 따라서 해양 지반의 동적 물성치 파악을 위하여 벤더 엘리먼트를 이용한 인홀형 탄성파 탐사콘(Inhole type CPTu)을 개발하였는데, 이는 콘 롯드(rod) 내부에 발진기(Source)와 수진기(Receiver)를 내재하고 있기 때문에 외부의 부가적인 발진기가 필요 없어 육상 뿐만 아니라 해상에서도 충분히 활용할 수 있다. 이번 연구에서는 인홀형 탄성파콘의 적용성을 분석하기 위해 카올리나이트를 활용한 실내 모형 토조실험을 수행하였는데, 카올리나이트 지반의 전단파 속도를 시간에 따라 측정하였고, 또한 발진부와 수진부 사이의 거리를 다양하게 바꿔가면서 발진기와 수진기가 설치될 때 발생하는 지반 교란의 영향을 검토하였다.

관입식 복합 통수능 시험기의 개발과 적용성 (Development and Applicability of Discharge Capacity Testing Apparatus Using Penetration Method)

  • 유남재;김동건;박병수;전상현
    • 대한토목학회논문집
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    • 제28권5C호
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    • pp.313-320
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    • 2008
  • 본 연구에서는 Plastic Board Drain(PBD)이 타설된 지반의 압밀거동 특성을 파악하고, 배수재 통수능력을 알아보기 위하여 현장의 타설조건을 실험실에서 모사할 수 있는 관입식 복합 통수능 시험기를 개발하였다. 개발된 시험기는 배수재를 타설하고 교란된 시료를 투기하는 기존 방법과 달리, 예비압밀로 시료를 조성한 후 mandrel과 관입장치를 이용하여 PBD를 지반에 타설하도록 고안하였다. 개발된 관입식 복합 통수능 시험기의 적용성을 평가하기 위하여 기존 복합 통수능 시험을 함께 실시하여 결과를 분석하였다. 실험 결과, 기존 방법은 시료 전체의 교란에 의해 압밀이 지연되는 현상으로 나타났으며, 시료의 불균질성 등에 의해 배수재 변형도 국부적으로 발생하였다. 이로 인하여 기존 시험법에 의한 통수능력은 예상치 보다 다소 크게 산정되는 경향을 보였으며, 관입식 방법에 의해 현장조건과 유사하게 통수능력을 분석할 수 있을 것으로 판단되었다.

압밀침하 계측분석기법의 개발에 관한 연구 (A Development of Practical Analysis Method for the Consolidation Settlements)

  • 김준석;김주용
    • 한국지반공학회논문집
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    • 제21권3호
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    • pp.141-148
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    • 2005
  • 연약지반의 불균질성, 시료의 교란, 토질상수의 입력오차, 압밀이촌의 단점 등으로 예측된 압밀침하량 및 시간은 대부분 실측치와 잘 일치하지 않고 있다. 따라서 압밀기간동안 계측자료를 활용한 침하량 예측기법은 실무에서 매우 유용한 수단이라 할 수 있다. 본 논문에서는 예측기법으로 많이 활용되는 방곡선법, 아사오카범, 호시노법을 비롯한 최근에 제안된 4법의 이론적 공통점을 바탕으로 아사오카법을 제외한 나머지 분석기법들에 대하여 일반화된 쌍곡선 형태의 수식화 작업으로 새로운 분석 기법을 제안하였으며, 사례를 통하여 유용한 계측분석기법으로 적용성을 확인하였다.

진폭변조에 의한 메탈핼라이드 램프의 음향공명 감소 (Acoustic-Resonance Reduction of Metal Halide Lamps Using Amplitude Modulation)

  • 이치환
    • 조명전기설비학회논문지
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    • 제14권5호
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    • pp.43-49
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    • 2000
  • MH 랭프의 전자식 안정기에서 발생하는 음향공명의 감소를 위한 새로운 제어 방법올 제시한다. 주파수 가변 공전 인버터를 해석하고 전달함수를 구한다. 안정기의 전류제어기로 적분길를 채용한다. 램프전력 교란 및 주파수 확산을 이용하며 음향공명올 감소시키 위해 전류제어기 입력에 200[Hz] 정현파를 부가하여 램프 전류를 진폭 변조시킨다.MH 250[W] 램프를 대상으로 변조도에 따른 램프의 아크 안정성을 조사하고 제안된 진폭변조에 의한 음향공명 감소법 및 전류 제어기 설계법의 타당성을 확인하였다.

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감천 부항댐 건설에 따른 수문환경 및 하천환경유량 변화 분석 (Assessment of hydrological alteration and environmental flow for Buhang dam construction on Gam River)

  • 조연화;나종문;박서연;이주헌
    • 한국수자원학회:학술대회논문집
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    • 한국수자원학회 2019년도 학술발표회
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    • pp.142-142
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    • 2019
  • 하천 생태환경은 토지이용, 댐건설 및 기후변화 등 외부의 압력에 따른 변화로 인해 오염물 유입, 녹조 발생, 어패류 떼죽음 등 생태계 교란 및 환경변화가 발생한다. 이러한 생태환경 문제를 해결하기 위해 전 세계적으로 하천생태환경시스템 복원이 논의되고 있으며 환경적 측면을 강조한 자연친화적 하천을 목표로 개발 방향이 바뀌고 있다. 이처럼 하천생태환경의 중요성이 커지고 있지만 보다 객관적이고 정량적인 평가를 위한 연구는 부족한 실정이다. 본 연구에서는 낙동강 감천유역을 대상으로 하였으며, 김천부항댐 건설로 인한 생태환경시스템의 변화를 정량적으로 평가하고자 수문변화지표법(Indicators of Hydrologic Alteration, IHA)을 활용하여 33개의 수문변화지표군(IHA Parameters)과 34개 환경유량지표군(Environmental Flow Components Parameters)을 산정하였다. 분석을 위하여 감천유역 선산관측소의 2007년 ~ 2018년까지의 일 유량 자료를 활용하였으며, 댐이 건설된 2014년 1월 1일을 기점으로 댐 건설 전(2007 ~ 2013)과 댐 건설 후(2014 ~ 2018)가 하천생태환경 및 환경유량에 미치는 영향을 평가하였다. 본 연구를 토대로 지속가능한 하천생태계 보전을 위한 명확한 목표와 효율적인 평가과정을 수립하는 데 도움이 될 것으로 보인다.

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